-
公开(公告)号：CN115433520B
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202211041482.6
申请日：2022-08-29
申请人： 内蒙古广禾元纳米高科技有限公司 , 大连理工大学 , 内蒙古锦恒锐精密制造技术有限公司
-
公开(公告)号：CN116814170A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310905113.5
申请日：2023-07-21
IPC分类号： C09G1/02 , B24B37/04 , B24B37/005
摘要： 本发明提供一种原子级材料去除化学机械抛光液及抛光方法。本发明包括磨料、润滑磨粒、增稠剂及去离子水，所述磨料为柔性可变的带有金属的囊泡。本发明借助化学机械抛光工艺，采用悬浮式抛光方式，降低待抛样品承受的机械压力，避免材料去除量过高，给待抛样品带来严重的应力损伤。本发明抛光液的成分具有无毒、无污染、无腐蚀等特点，同时考虑抛光液的去除功效，本发明采用具有两亲分子、柔性、随着运动压力变化的囊泡作为抛光液中的运动粒子。通过柔性纳米微粒及多功能性二维材料与光学元件之间的范德华力、氢键、配位力实现单个或多层的原子层的可控去除、叠加去除次数，达到原子级大面积超光滑表面。
-
公开(公告)号：CN116814167A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310721027.9
申请日：2023-06-15
申请人： 大连理工大学 , 杭州电子科技大学 , 西南科技大学 , 海南大学 , 中建三局集团有限公司 , 中建三局集团(海南)有限公司
摘要： 本发明涉及一种化学机械抛光液，具体是一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用。本发明抛光液包括二氧化铈、海藻酸钠和蚕丝溶液，抛光液包括0.005wt％～0.05wt％二氧化铈、0.0005wt％～0.04wt％海藻酸钠、0.005wt％～0.05wt％蚕丝溶液，其余为水。本发明抛光液的成分来源于天然产物，绿色环保，抛光液制备简单，分散性好，抛光效率(MRR)高达28.222μm/h，同时极大的降低了表面粗糙度(Sa)，Sa值为0.098nm，抛光后的表面光滑平整，无缺陷。
-
公开(公告)号：CN116551555A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310516825.8
申请日：2023-05-09
申请人： 大连理工大学 , 杭州电子科技大学 , 西南科技大学 , 海南大学 , 中建三局集团有限公司 , 中建三局集团(海南)有限公司
摘要： 本发明提供一种硬脆材料复杂曲面元件光电化学机械抛光的柔性加工装置及方法，装置包括抛光机机箱、光源、抛光液池、电解装置和支撑头，光源用于在抛光过程中直接照射抛光液池；抛光液池内部盛有抛光液，内壁固定有多个抛光刷；电解装置与抛光液池连接，光源、抛光液和电解装置形成光电解池；支撑头连接有螺纹柱，螺纹柱的下方连接有配重盘和载物盘，配重盘置于载物盘之上，支撑头用于实现螺纹柱、载物盘和配重盘的回转运动；复杂曲面元件固定在载物盘下方，并置于抛光液中；抛光刷在光电解池中利用光电化学氧化和机械摩擦共同作用，对复杂曲面元件进行抛光。本发明可加工加工复杂曲面元件，具有抛光效率高、绿色环保、操作简便等优点。
-
公开(公告)号：CN116423351A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310367014.6
申请日：2023-04-07
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： B24B21/16 , B24B21/18 , B24B21/20 , B24B57/02 , B24B51/00 , B24B49/00 , B24B1/04 , B24B41/06 , B24B37/00
摘要： 本发明提供一种变曲率复杂曲面零件自适应多场辅助化学机械抛光装置及抛光方法。本发明包括机架、壳体、抛光带驱动模块、气动装夹吸盘模块、集液模块、超声施载模块、雾化喷液模块、紫外光照射模块、电控模块及控制面板。本发明基于化学机械抛光原理，通过超声振动提高化学机械抛光液中磨料的机械去除效率，并通过紫外光催化化学机械抛光液，使其中产生氧化活性自由基以提高抛光液与工件之间的化学腐蚀速率，实现零件的高效低损伤超精密抛光。本发明所述装备通过调节合适参数可以实现变曲率复杂曲面零件的高效低损伤化学机械抛光，且加工过程封闭，不会产生粉尘、噪音、有害气体等污染，对环境友好，对人体无伤害。
-
公开(公告)号：CN112461266B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202011316752.0
申请日：2020-11-20
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明属于难加工材料超精密加工领域，提供一种金刚石陀螺谐振子纳米制造装备。激光装置的激光脉冲频率在1‑500kHz可调，脉冲宽度在5‑300ps可调，激光斑点直径在5‑40μm可调，功率在0‑100W可调，可同时实现粗加工和精加工；纳米移动平台装置，能够实现X，Y，Z三坐标轴的移动和绕Z轴的转动，移动精度小于10nm，转动精度小于0.02°；原位在线检测装置利用激光干涉仪对加工质量进行原位检测；镀膜装置采用离子镀；聚焦离子束装置，加速电压在2‑30kV可调，电流在20pA‑50nA可调；本发明提供一种金刚石超硬材料复杂结构的纳米制造装备，实现金刚石陀螺谐振子纳米级精度制造。
-
公开(公告)号：CN114029850B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202111396028.8
申请日：2021-11-23
申请人： 大连理工大学 , 中国兵器科学研究院宁波分院
摘要： 本发明提供一种多磁场复杂曲面化学机械抛光装备，包括主轴系统，磁场系统，抛光槽和数控系统。抛光时，抛光槽内填充化学抛光液和磁性磨料，抛光过程中可以通过改变各个转盘的速度，改变两侧转盘与抛光槽的间距来改变抛光槽内的磁场强度，进一步改变抛光槽内磁性磨料的运动轨迹与运动形态，结合主轴的转速和偏转角度的变化以及主轴的轴向超声振动作用，使得磁性磨料能到达曲面零件的任何表面，并以较强的均匀的机械磨削作用力去除复杂曲面零件表面由化学抛光液形成的软化膜，该装备能适用于抛光不同类型、不同材质的复杂曲面零件，通用性强，抛光后复杂曲面零件表面一致性好，表面质量高。
-
公开(公告)号：CN115741446A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211486159.X
申请日：2022-11-24
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明提供一种石英零件细小内孔剪切增稠抛光液及抛光装置和抛光方法。石英零件细小内孔剪切增稠抛光液为具有剪切增稠效应的非牛顿流体抛光液，该抛光液为含有直径在0.1‑3μm的氧化铝和/或氧化铈磨粒的剪切增稠抛光液。抛光装置包括抛光搅拌盘、抛光池、零件工作台和升降工作台。本发明剪切增稠抛光液具有绿色环保、无毒无害、成本低、容易制备的优点。
-
公开(公告)号：CN115650478A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211229311.6
申请日：2022-10-09
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明提供一种复合型化学机械抛光和抛光液循环处理一体化的设备及处理方法，设备包括：复合型化学机械抛光装置，包括抛光盘、抛光垫、载物台、施压器、抛光液滴加器、液体存放盘、光源、直流电源、红外测温仪和废液出水管；废液循环处理系统，包括沉淀室、化合室、生曝室、光化室、固废室及磨粒回收机构。本发明加装光电催化装置，协助材料去除。在复合型化学机械抛光装置上连接抛光废液及清洗液的循环处理系统，实现磨粒的循环使用及零排放的目标。绿色抛光废液的处理循环系统，由沉淀装置、磨粒收集、生化装置及光化学催化装置等连接组成，采用物理沉降法、化学絮凝法、生物分解法及光能转化法对抛光废液进行循环收集处理。
-
公开(公告)号：CN115533728A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211262347.4
申请日：2022-10-14
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明提供一种柔性薄壁弯管内壁化学机械抛光装备与方法，包括执行部和驱动箱。执行部包括万向节，精抛轮，粗抛轮和保持架，执行部用于伸入管道内壁进行抛光。驱动箱包括控制系统、主轴、主轴电机、抛光液输出系统和用于调节主轴行程的主轴电机移动装置，驱动箱用于提供抛光动力，存储和泵送化学机械抛光液，设置抛光参数。执行部通过万向节柔性连接，顺应弯管曲线，避免折弯处过抛。通过设置保持架确保抛光轴线与弯管轴线重合，确保抛光的均匀性和一致性，避免薄壁管破损。通过主轴电机和丝杠电机联动驱动粗抛轮和精抛轮在管道内旋转和往复运动以及结合化学机械抛光液的作用，大幅提高了抛光后管道内壁的质量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
230 条记录 (耗时 0.093 秒)
