原子束源
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106664790A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201680002242.1

    申请日:2016-08-18

    CPC classification number: G21K5/00 G21K5/02 H05H1/46 H05H3/02

    Abstract: 原子束源(10)具备:筒状的阴极(20),其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30);设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40;以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50);通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成,从而抑制溅射粒子的射出,该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。

    蜂窝结构的检查方法
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101846505A

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN201010149493.7

    申请日:2010-03-23

    CPC classification number: G01B11/26 G01N21/94 G01N21/95692

    Abstract: 一种蜂窝结构的检查方法,包括以下步骤:通过光源(1)照射作为检查对象的蜂窝结构(11)的一个端面(15);通过具有视角的透镜(2)汇聚从光源(1)发射到一个端面(15)、经过蜂窝结构(11)的单元格并从另一个端面(16)辐射出的光;通过相机(3)接收聚光透镜(2)汇聚的光;通过图像处理器(4)将由相机(3)接收的光进行图像处理,从而确定另一个端面(16)上的光的射出位置;并且根据另一个端面(16)上的光的射出位置计算蜂窝结构(11)的单元格(14)的倾斜和倾斜的方向。所公开的蜂窝结构的检查方法能够高效地测量蜂窝结构的单元格的倾斜和倾斜的方向。

    封堵蜂窝结构的检查装置和封堵蜂窝结构的检查方法

    公开(公告)号:CN101846502A

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN201010145574.X

    申请日:2010-03-23

    CPC classification number: G01B11/22 G01N21/94 G01N21/95692

    Abstract: 本发明公开一种封堵蜂窝结构的检查装置100。其中,封堵蜂窝结构31作为检查对象,而且,检查装置包含:光源1,该光源1照亮作为检查对象的封堵蜂窝结构31的一端面35;相机侧透镜2,该相机侧透镜2汇聚从光源1发出到一端面35、通过封堵蜂窝结构31的封堵部分传输并且从另一端面36射出的光;相机3,该相机3接收由相机侧透镜2聚焦的光;和图像处理器4,该图像处理器4处理由相机3接收的光的图像,以显示传输通过封堵蜂窝结构31的封堵部分的光的对比度(亮度)。提供一种封堵蜂窝结构的检查装置,其能够在短时间内以无接触方式同时检查封堵部分的深度和缺陷。

    电子发射元件
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1879184A

    公开(公告)日:2006-12-13

    申请号:CN200580000709.0

    申请日:2005-01-17

    CPC classification number: B82Y10/00 H01J1/312

    Abstract: 电子发射元件(10A)具有由电介质构成的发射极部(12)、施加用于电子发射的驱动电压(Va)的上部电极(14)以及下部电极(16),上部电极(14)形成在发射极部(12)的上表面,下部电极(16)形成在发射极部(12)的下表面,上部电极(14)具有露出发射极部(12)的多个贯通部(20),上部电极(14)中贯通部(20)的周部(26)的与发射极部(12)相对的面与发射极部o(12)分离开。

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