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公开(公告)号：CN104107623A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410152775.0
申请日：2014-04-16
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: Y02C20/30
Abstract: 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够更顺利地进行用于干式除去酸成分的药剂的更换的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并利用催化剂水解过氟化物，生成分解气体；配置在加热单元的前段以及后段的热交换单元；和干式除去分解气体中的酸成分的酸成分除去单元，酸成分除去单元在装置底部具备：能够开闭，且在成为打开了的状态时取出反应后的药剂的闸门（251a～251e）（闸门（251））；和狭缝部（252），其配置于闸门（251）之间，具有从上方朝向闸门（251）的斜面（S1、S2），并且在斜面（S1、S2）上具有使分解气体通过而不使药剂通过的大小的狭缝（252a）。
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公开(公告)号：CN104056536A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410102944.X
申请日：2014-03-19
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: Y02C20/30 , Y02P20/155 , Y02P70/605
Abstract: 本发明提供作为预处理能够避免大量的水的使用和排水处理，并且能够除去含有过氟化物的气体中的固体成分，过滤器等难以堵塞的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置（2），其特征在于，具备：对装置入口排气进行预处理的预处理装置（21）；对装置入口排气以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体的加热单元（第1加热器（221）、第2加热器（222））；配置于加热单元的前段以及后段，在装置入口排气以及水与分解气体之间进行热交换的热交换器（231）；和将酸成分干式除去的酸成分除去装置（232），预处理装置（21）具备：对装置入口排气进行加热，使装置入口排气中所含有的液体的水蒸发的入口加热器（211）；和从装置入口排气除去固体成分的过滤器（212、212a）。
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公开(公告)号：CN103889553A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280050982.4
申请日：2012-10-15
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: B01D53/75 , B01D53/70 , B01D53/8662 , B01D2251/404 , B01D2255/2065 , B01D2255/20707 , B01D2255/20746 , B01D2255/20753 , B01D2255/20784 , B01D2255/20792 , B01D2255/2094 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216 , Y02C20/30
Abstract: 本发明的课题在于提供如下过氟化物的处理方法以及过氟化物处理装置：其能够能效良好地防止热交换器的配管的腐蚀，除此之外，能够削减废水量，效率良好地回收高纯度的氟化钙。进而，提供设备以及设置场所小、效率良好的过氟化物处理装置。本发明将包含过氟化物的废气和水或水蒸气向热交换器（2）供给，通过与高温的分解气体热交换来预热，并进一步加热，利用催化剂（12）分解。在将包含氟化氢气体的分解气体用热交换器（2）冷却后，在酸性气体除去装置（31）内使氟化氢气体与钙盐反应，能够得到高纯度的氟化钙。基于来自酸性气体除去装置的排气中的氟化钙浓度或者该装置内的钙盐的温度，控制钙盐的供给以及排出。
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