公开(公告)号：CN112218975A

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：CN201980038073.0

申请日：2019-06-06

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 戈鲁恩·布泰尔 ,  约瑟亚·科林斯 ,  格里芬·约翰·肯尼迪 ,  汉娜·班诺克尔

IPC分类号： C23C16/02 ,  C23C16/14 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/04 ,  C23C16/54 ,  H01L21/02

摘要： 提供了处理衬底表面以减少可能在后续操作中产生或提供的物质扩散的方法。根据多种实施方案，衬底表面可以是例如氧化物表面或金属或金属化合物膜，并且可以是在形貌特征中的覆盖膜或衬里膜的表面。处理表面的示例可包括暴露于一种或多种化学物质和/或热退火。在一些实施方案中，该处理增大了膜表面的晶界的粗糙度。这可以减小可用于扩散的空间，并增大穿过膜的扩散路径的曲折度。在一些实施方案中，处理可涉及形成化合物分子，例如，氧化含有金属的薄膜而形成氧化物。经处理的表面不易于让物质(例如卤素物质)扩散。