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公开(公告)号：CN101022075B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200610156779.1
申请日：2006-12-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/225 , G01N13/10
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J2237/0262 , H01J2237/12 , H01J2237/24592 , H01J2237/2817
Abstract: 一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样像。由此可提供具有获得试样表面的高分辨率且高对比度的凹凸像的特征的扫描型电子显微镜。
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公开(公告)号：CN101022075A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200610156779.1
申请日：2006-12-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/225 , G01N13/10
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J2237/0262 , H01J2237/12 , H01J2237/24592 , H01J2237/2817
Abstract: 一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样像。由此可提供具有获得试样表面的高分辨率且高对比度的凹凸像的特征的扫描型电子显微镜。
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公开(公告)号：CN105144337B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201480013221.0
申请日：2014-01-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC classification number: G01N23/2251 , G01N23/2204 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2003 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/24455 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的目的是解决在利用透射带电粒子的观察中试样的设置或取出费时的问题。带电粒子束装置(601)，其特征在于，具有：将一次带电粒子束向试样(6)照射的带电粒子光学镜筒；能够装拆地配置利用在上述试样(6)内部透射或散射而出的带电粒子发光的发光部件(500)或具有该发光部件(500)的试样台(600)的试样载台；以及检测上述发光部件的发光的检测器(503)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105359250B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN104094373B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380008021.1
申请日：2013-02-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
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公开(公告)号：CN104137219B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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公开(公告)号：CN105144337A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480013221.0
申请日：2014-01-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC classification number: G01N23/2251 , G01N23/2204 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2003 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/24455 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的目的是解决在利用透射带电粒子的观察中试样的设置或取出费时的问题。带电粒子束装置(601)，其特征在于，具有：将一次带电粒子束向试样(6)照射的带电粒子光学镜筒；能够装拆地配置利用在上述试样(6)内部透射或散射而出的带电粒子发光的发光部件(500)或具有该发光部件(500)的试样台(600)的试样载台；以及检测上述发光部件的发光的检测器(503)。
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公开(公告)号：CN104137219A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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