公开(公告)号：CN112670229B

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202011078916.0

申请日：2020-10-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  铃木杰之

IPC: H01L21/687 ,  B25J11/00

Abstract: 本发明提供能够保持基板的位置精度且提高基板的输送效率的基板输送装置和基板输送方法。具备：驱动部(20)，使臂(11)上升而使末端执行器(12)接收基板(S)；以及控制装置(30)，对驱动部(20)的输出进行控制来设定臂(11)的上升速度，末端执行器(12)与臂(11)之间的高度差为位置差分，从末端执行器(12)碰到基板(S)时起到末端执行器(12)完成基板(S)的接收为止的期间为过渡期间，控制装置(30)将使位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在过渡期间比过渡期间之前小的上升速度的上限值，作为过渡期间中的上升速度的上限值。

公开(公告)号：CN112670229A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN202011078916.0

申请日：2020-10-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  铃木杰之

IPC: H01L21/687 ,  B25J11/00

Abstract: 本发明提供能够保持基板的位置精度且提高基板的输送效率的基板输送装置和基板输送方法。具备：驱动部(20)，使臂(11)上升而使末端执行器(12)接收基板(S)；以及控制装置(30)，对驱动部(20)的输出进行控制来设定臂(11)的上升速度，末端执行器(12)与臂(11)之间的高度差为位置差分，从末端执行器(12)碰到基板(S)时起到末端执行器(12)完成基板(S)的接收为止的期间为过渡期间，控制装置(30)将使位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在过渡期间比过渡期间之前小的上升速度的上限值，作为过渡期间中的上升速度的上限值。

公开(公告)号：CN110366774A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201880015142.1

申请日：2018-11-26

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 铃木杰之 ,  武者和博 ,  松崎淳介 ,  田宫慎太郎 ,  南展史 ,  中尾裕利

IPC: H01L21/677 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供基板不会破损且能够在短时间从真空气氛改变成大气压气氛的真空装置。在处理对象物（10）和供气排气口（9）之间配置第一整流板（5），使得从供气排气口（9）喷出的升压用气体不会与搬运对象物（10）碰撞。在盖部件（16）的壁面和搬运对象物（10）之间设置第二整流板（6），使升压用气体从比搬运对象物（10）中的基板（7）高的上侧贯通孔（13）、比该基板（7）低的下侧贯通孔（23）向基板（7）和第一整流板（5）之间、基板（7）和台（15）之间导入，基板（7）不会抬起。

公开(公告)号：CN108884561B

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201780021217.2

申请日：2017-11-01

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史 ,  铃木杰之 ,  武者和博 ,  中尾裕利 ,  佐藤诚一

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  H01L21/677

Abstract: 提供一种设置面积较小的真空处理装置。在真空槽（12）的内部配置升降板（15），将基板保持装置（27）配置到升降板（15）上而使其能够升降移动。在位于升降板（15）升降移动的升降区域（12b）的侧方的处理区域（12a）内设置上方侧处理装置（40）和下方侧处理装置（50），借助上方侧移动装置（35）和下方侧移动装置（36），使基板保持装置（27）穿过处理区域（12a）内，借助交接装置（37），在上方侧移动装置（35）或下方侧移动装置（36）与升降板（15）之间进行基板保持装置（27）的交接。由于能够在上方侧和下方侧进行真空处理，所以真空处理装置（10）的设置面积较小。

公开(公告)号：CN107615472A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680031508.5

申请日：2016-05-24

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 铃木杰之 ,  川久保大辅 ,  南展史 ,  武者和博

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00 ,  B65G49/07 ,  H02J50/90

Abstract: 本发明可使具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件的带静电卡盘的运输机器人的控制系统构成为能使静电卡盘响应性良好地作业。本发明的运输机器人的控制系统具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置(Mc)通信自如地连接并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人(Tr)作业的机器人控制装置(Rc)；以及控制静电卡盘对工件(W)的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置(Cc)。静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。

公开(公告)号：CN308662536S

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202230825992.7

申请日：2022-12-09

Applicant: 株式会社爱发科

Designer： 铃木杰之 ,  吉田雄一 ,  关原将行 ,  武者和博

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：基板搬运用托盘夹具主体。
2.本外观设计产品的用途：关于整体用途，本外观设计产品是在用于制造显示器等的基板上进行成膜的基板处理装置中使用的基板搬运用托盘的夹具，将基板的周缘固定于基板搬运用托盘；局部用途与整体用途相同，省略记载。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.其他需要说明的情形其他说明：参考图是将正面侧盖和背面侧盖拆下状态的俯视参考图。
本外观设计申请请求保护产品的局部的外观设计，以实线表示的部分为请求外观设计专利保护的部分。