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公开(公告)号：CN110366774B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN201880015142.1
申请日：2018-11-26
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L21/677 , C23C14/34
摘要： 本发明提供基板不会破损且能够在短时间从真空气氛改变成大气压气氛的真空装置。在处理对象物（10）和供气排气口（9）之间配置第一整流板（5），使得从供气排气口（9）喷出的升压用气体不会与搬运对象物（10）碰撞。在盖部件（16）的壁面和搬运对象物（10）之间设置第二整流板（6），使升压用气体从比搬运对象物（10）中的基板（7）高的上侧贯通孔（13）、比该基板（7）低的下侧贯通孔（23）向基板（7）和第一整流板（5）之间、基板（7）和台（15）之间导入，基板（7）不会抬起。
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公开(公告)号：CN108884561A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780021217.2
申请日：2017-11-01
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/34 , C23C14/50 , H01L21/677
摘要： 提供一种设置面积较小的真空处理装置。在真空槽（12）的内部配置升降板（15），将基板保持装置（27）配置到升降板（15）上而使其能够升降移动。在位于升降板（15）升降移动的升降区域（12b）的侧方的处理区域（12a）内设置上方侧处理装置（40）和下方侧处理装置（50），借助上方侧移动装置（35）和下方侧移动装置（36），使基板保持装置（27）穿过处理区域（12a）内，借助交接装置（37），在上方侧移动装置（35）或下方侧移动装置（36）与升降板（15）之间进行基板保持装置（27）的交接。由于能够在上方侧和下方侧进行真空处理，所以真空处理装置（10）的设置面积较小。
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公开(公告)号：CN107852030A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680039186.9
申请日：2016-06-23
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H02J50/05 , B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC分类号： B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/05
摘要： 本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有：在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有：与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有：整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
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公开(公告)号：CN112589807B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202011049143.3
申请日：2020-09-29
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： B25J11/00 , B25J9/16 , H01L21/687
摘要： 本发明提供能够扩大设计自由度的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置具备：臂；末端执行器，与所述臂连结；驱动部，使所述臂上升来使所述末端执行器接收基板；以及控制部，对所述驱动部的输出进行控制来变更所述臂的上升速度，所述控制部构成为，一边通过使所述臂以第1速度上升来使所述末端执行器朝向所述基板上升，一边在所述末端执行器开始使所述基板的高度位置上升时，将所述上升速度改变为比所述第1速度低的第2速度。
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公开(公告)号：CN110223935A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910137650.3
申请日：2019-02-25
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 课题是提供一种即使将气体的导入速度或排气速度加快、基板也不浮起的真空处理装置。解决手段如下。在运入运出室（2）的盖部件（11）设置具有弹性的推压部（20a、20b），当盖部件（11）与处理对象物（4）接近时，推压部（20a、20b）将配置在处理对象物（4）的托盘（27）上的基板（10a、10b）向托盘（27）推压。当在此状态下向运入运出室（2）的内部导入气体或将运入运出室（2）的内部的气体排出时，即使由气体的流动或压力差对基板（10a、10b）朝上附加力，也不会有基板（10a、10b）浮起的情况。
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公开(公告)号：CN107431040A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680022120.9
申请日：2016-04-11
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L21/683 , B65G49/00 , H02N13/00
摘要： 【课题】提供吸附力不会变弱的吸附装置。【解决方案】将吸附装置19a的受电端子24配置于受电侧凹部23内，能够利用盖部25a盖上。在对基板51~53进行吸附时，将吸附装置19a载置于供电台18a上，使供电端子64与受电端子24接触，对基板51~53与吸附电极22之间的等效电容进行充电。在使吸附装置19a移动时，一边由于等效电容的残留电荷吸附基板51~53一边利用盖部25a盖上受电侧凹部23，真空槽中的残留气体不会与受电端子24接触。没有受电端子24腐蚀或者形成薄膜的情况，不会放出等效电容的残留电荷。
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公开(公告)号：CN114050667A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111330511.6
申请日：2016-06-23
申请人： 株式会社爱发科
摘要： 本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有：在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有：与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有：整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
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公开(公告)号：CN112589807A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011049143.3
申请日：2020-09-29
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： B25J11/00 , B25J9/16 , H01L21/687
摘要： 本发明提供能够扩大设计自由度的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置具备：臂；末端执行器，与所述臂连结；驱动部，使所述臂上升来使所述末端执行器接收基板；以及控制部，对所述驱动部的输出进行控制来变更所述臂的上升速度，所述控制部构成为，一边通过使所述臂以第1速度上升来使所述末端执行器朝向所述基板上升，一边在所述末端执行器开始使所述基板的高度位置上升时，将所述上升速度改变为比所述第1速度低的第2速度。
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公开(公告)号：CN107431040B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201680022120.9
申请日：2016-04-11
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L21/683 , B65G49/00 , H02N13/00
摘要： 【课题】提供吸附力不会变弱的吸附装置。【解决方案】将吸附装置19a的受电端子24配置于受电侧凹部23内，能够利用盖部25a盖上。在对基板51~53进行吸附时，将吸附装置19a载置于供电台18a上，使供电端子64与受电端子24接触，对基板51~53与吸附电极22之间的等效电容进行充电。在使吸附装置19a移动时，一边由于等效电容的残留电荷吸附基板51~53一边利用盖部25a盖上受电侧凹部23，真空槽中的残留气体不会与受电端子24接触。没有受电端子24腐蚀或者形成薄膜的情况，不会放出等效电容的残留电荷。
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公开(公告)号：CN107615472B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201680031508.5
申请日：2016-05-24
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07 , H02J50/90
摘要： 本发明可使具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件的带静电卡盘的运输机器人的控制系统构成为能使静电卡盘响应性良好地作业。本发明的运输机器人的控制系统具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置(Mc)通信自如地连接并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人(Tr)作业的机器人控制装置(Rc)；以及控制静电卡盘对工件(W)的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置(Cc)。静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。
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