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公开(公告)号：CN105500154B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201610036726.X
申请日：2008-12-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B24B21/002 , B24B9/065 , B24B21/004 , B24B21/008 , B24B21/20 , B24B27/0076 , B24B37/042 , B24B37/30 , B24B41/068 , B24B49/00 , Y10T428/24777
Abstract: 本发明提供一种用于抛光基片的外周的抛光装置。该抛光装置包括配置成水平地保持基片并转动基片的旋转保持机构、设置在基片周围的多个抛光头组件、配置成将抛光带供给到多个抛光头组件并从多个抛光头组件收回抛光带的多个带供给与收回机构、以及配置成沿旋转保持机构保持的基片的径向方向移动多个抛光头组件的多个移动机构。所述带供给与收回机构沿着基片径向方向设置在多个抛光头组件的外侧，且所述带供给与收回机构被固定在位。
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公开(公告)号：CN106794423A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580045853.X
申请日：2015-08-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及从海水中除去盐分而将海水淡化的海水淡化系统及适合用于海水淡化系统的能量回收装置。能量回收装置具有：将长度方向垂直地配置的圆筒形状的腔室(CH)；进行浓缩海水的给排水的浓缩海水端口(P1)；进行海水的给排水的海水端口(P2)；在腔室(CH)内配置在浓缩海水端口(P1)侧的液流阻力器(23)；和在腔室(CH)内配置在海水端口(P2)侧的液流阻力器(23)，配置在浓缩海水端口(P1)侧及海水端口(P2)侧的液流阻力器(23)为至少一张多孔圆板，在多孔圆板的比规定直径的圆靠外侧的外周区域中形成有孔。
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公开(公告)号：CN105050695B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201480017455.2
申请日：2014-03-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D61/06 , B01D61/025 , B01D61/10 , B01D2313/08 , B01D2313/246 , C02F1/441 , C02F2103/08 , C02F2303/10 , F15D1/025 , G01F1/42 , Y02A20/131 , Y02W10/30
Abstract: 本发明涉及从海水中除去盐分而淡化海水的海水淡化系统、以及适用于海水淡化系统(海水淡化设备)的能量回收装置。能量回收装置具备：圆筒形状的腔室(CH)，其在内部具有收容浓缩海水以及海水的空间，并将长度方向铅直地配置；浓缩海水端口(P1)，其设置于腔室(CH)的下部，并用于进行浓缩海水的供给、排出；海水端口(P2)，其设置于腔室(CH)的上部，并用于进行海水的供给、排出；在腔室内配置于浓缩海水端口侧的流阻器(23)；以及在腔室内配置于海水端口侧的流阻器(23)，在浓缩海水端口(P1)或者海水端口(P2)与流阻器(23)之间配置有在中央具备孔的圆板(30)。
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公开(公告)号：CN102941522B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210398644.1
申请日：2008-12-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B21/00 , B24B21/18 , B24B21/20 , H01L21/304
CPC classification number: B24B21/002 , B24B9/065 , B24B21/004 , B24B21/008 , B24B21/20 , B24B27/0076 , B24B37/042 , B24B37/30 , B24B41/068 , B24B49/00 , Y10T428/24777
Abstract: 本发明提供一种用于抛光基片的外周的抛光装置。该抛光装置包括配置成水平地保持基片并转动基片的旋转保持机构、设置在基片周围的多个抛光头组件、配置成将抛光带供给到多个抛光头组件并从多个抛光头组件收回抛光带的多个带供给与收回机构、以及配置成沿旋转保持机构保持的基片的径向方向移动多个抛光头组件的多个移动机构。所述带供给与收回机构沿着基片径向方向设置在多个抛光头组件的外侧，且所述带供给与收回机构被固定在位。
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公开(公告)号：CN101450457B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200810183331.8
申请日：2008-12-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B24B21/002 , B24B9/065 , B24B21/004 , B24B21/008 , B24B21/20 , B24B27/0076 , B24B37/042 , B24B37/30 , B24B41/068 , B24B49/00 , Y10T428/24777
Abstract: 本发明提供一种用于抛光基片的外周的抛光装置。该抛光装置包括配置成水平地保持基片并转动基片的旋转保持机构、设置在基片周围的多个抛光头组件、配置成将抛光带供给到多个抛光头组件并从多个抛光头组件收回抛光带的多个带供给与收回机构、以及配置成沿旋转保持机构保持的基片的径向方向移动多个抛光头组件的多个移动机构。所述带供给与收回机构沿着基片径向方向设置在多个抛光头组件的外侧，且所述带供给与收回机构被固定在位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101522368B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200780037179.6
申请日：2007-10-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B21/20 , B24B21/18 , H01L21/304
CPC classification number: B24B21/20 , B24B21/004 , B24B21/04
Abstract: 本发明提供一种能够在研磨前通过简单的操作算出研磨带供给卷轴和研磨带回收卷轴的研磨带卷绕体的外径，能够根据该外径算出研磨带的剩余量、使用量等的研磨装置及研磨方法。研磨装置具有研磨带供给卷轴(46)、研磨头(44)和研磨带拉出机构(G1)，并且具有经过研磨头(44)从研磨带供给卷轴(46)回收研磨带(43)的研磨带供给/回收机构(45)。研磨带供给/回收机构(45)具有给研磨带供给卷轴(46)施加旋转转矩、给经过研磨头(44)的研磨带(43)施加预定张力的马达(Mb)，以及检测该研磨带供给卷轴(46)的旋转角度的旋转角度检测器(REa)。
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公开(公告)号：CN101687305A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880023985.2
申请日：2008-07-08
IPC: B24B21/08 , B24B9/00 , B24B21/16 , H01L21/304
CPC classification number: B24B21/002 , B24B9/065 , H01L21/02021
Abstract: 本发明的研磨装置具有：基板保持部(32)，保持基板(W)并使其旋转；加压垫(50)，将研磨带(41)的研磨面按压到基板保持部所保持的基板的坡口部上；以及进给机构(45)，使研磨带在其长度方向行进。加压垫(50)具有：硬质部件(51)，具有隔着研磨带按压基板的坡口部的按压面(51a)；和至少1个弹性部件(53)，将硬质部件隔着研磨带而向基板的坡口部按压。
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公开(公告)号：CN101450457A
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200810183331.8
申请日：2008-12-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B24B21/002 , B24B9/065 , B24B21/004 , B24B21/008 , B24B21/20 , B24B27/0076 , B24B37/042 , B24B37/30 , B24B41/068 , B24B49/00 , Y10T428/24777
Abstract: 本发明提供一种用于抛光基片的外周的抛光装置。该抛光装置包括配置成水平地保持基片并转动基片的旋转保持机构、设置在基片周围的多个抛光头组件、配置成将抛光带供给到多个抛光头组件并从多个抛光头组件收回抛光带的多个带供给与收回机构、以及配置成沿旋转保持机构保持的基片的径向方向移动多个抛光头组件的多个移动机构。所述带供给与收回机构沿着基片径向方向设置在多个抛光头组件的外侧，且所述带供给与收回机构被固定在位。
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公开(公告)号：CN106794423B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201580045853.X
申请日：2015-08-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及从海水中除去盐分而将海水淡化的海水淡化系统及适合用于海水淡化系统的能量回收装置。能量回收装置具有：将长度方向垂直地配置的圆筒形状的腔室(CH)；进行浓缩海水的给排水的浓缩海水端口(P1)；进行海水的给排水的海水端口(P2)；在腔室(CH)内配置在浓缩海水端口(P1)侧的液流阻力器(23)；和在腔室(CH)内配置在海水端口(P2)侧的液流阻力器(23)，配置在浓缩海水端口(P1)侧及海水端口(P2)侧的液流阻力器(23)为至少一张多孔圆板，在多孔圆板的比规定直径的圆靠外侧的外周区域中形成有孔。
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公开(公告)号：CN105073231B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201480016545.X
申请日：2014-03-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D61/06 , B01D61/025 , B01D2313/08 , C02F1/441 , C02F2103/08 , C02F2303/10 , F15B21/14 , Y02A20/131 , Y02W10/30
Abstract: 本发明涉及从海水中除去盐分从而将海水淡化的海水淡化系统以及适用于海水淡化系统(海水淡化厂)的能量回收装置。具备：将长边方向铅垂配置的圆筒形状的腔室(CH)、进行浓缩海水的给排水的浓缩海水端口(P1)、进行海水的给排水的海水端口(P2)、在腔室(CH)内配置在浓缩海水端口(P1)侧的阻流器(23)、以及在腔室(CH)内配置在水端口(P2)侧的阻流器(23)，在浓缩海水端口(P1)侧以及海水端口(P2)侧配置的阻流器(23)为至少1张的多孔圆板，在圆板的相比规定的直径靠外侧的外周区域形成孔。
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