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公开(公告)号:CN114341701B
公开(公告)日:2024-11-08
申请号:CN202080061878.X
申请日:2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统具备:反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据,来生成第一电流信号及第二电流信号,其中,第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化,第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方,第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。
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公开(公告)号:CN112731652B
公开(公告)日:2023-09-05
申请号:CN202011562410.7
申请日:2016-12-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/08
Abstract: 致动器装置(1)具备:支撑部(5);可动部(6);连结部(8),以可动部(6)能够在第二轴线(X2)周围摇动的方式在第二轴线(X2)上将可动部(6)连结于支撑部(5);第一配线(21),被设置于连结部(8)上;第二配线(31),被设置于支撑部(5)上;绝缘层(52),具有使第一配线(21)以及第二配线(31)的一方的配线中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)露出的第一开口(52a)并且覆盖第一连接部分(25)的角(25b)。构成第一配线(21)的第一金属材料其刚性高于构成第二配线(31)的第二金属材料。第一配线(21)以及第二配线(31)的另一方的配线在第一开口(52a)被连接于第一连接部分(25)的表面(25a)。
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公开(公告)号:CN116224573A
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202310226041.1
申请日:2018-08-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的镜装置具备支承部、可动部(4)、以及配置于第一轴线(X)上的可动部(4)的两侧的一对扭力杆(7、8)。可动部(4)具有连接有一对扭力杆(7、8)的框状的框架(42)和配置于框架(42)的内侧的镜部(41)。镜部(41)在位于与第二轴线(Y)平行的方向上的镜部(41)的两侧的一对连接区域(40a、40b)的各个与框架(42)连接。镜部(41)和框架(42)之间的区域中一对连接区域(40a、40b)以外的区域为空间。在从垂直于第一轴线(X)及第二轴线(Y)的方向观察的情况下,镜部(41)的外缘和框架(42)的内缘在一对连接区域(40a、40b)的各个以曲率连续的方式连接。
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公开(公告)号:CN115347110A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202210509890.3
申请日:2022-05-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/09
Abstract: 配置于金属基板的载置面的驱动用压电元件具有:驱动用压电体,其具有与载置面为相反侧的第1主面、载置面侧的第2主面和侧面;和配置于第1主面的第1电极。驱动用压电元件以载置面的一部分位于侧面的外侧的方式配置于载置面。具有导电性的第2粘接构件具有:配置在载置面与驱动用压电元件之间的第1部分;从第1部分连续,且配置于由载置面的一部分和侧面形成的角部的第2部分。第2部分没有到达第1电极。
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公开(公告)号:CN110799890B
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN201880042541.7
申请日:2018-06-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置具备:支撑部;可动部;第一连结部,其以可动部能够在第一轴线周围摇动的方式在第一轴线上将可动部连结于支撑部;以及第一配线,其被设置于第一连结部上。第一配线具有由维氏硬度为50HV以上的金属材料构成的第一主体部。第一主体部包括面对第一连结部的第一表面和第一表面以外的第二表面。第二表面在垂直于第一配线的延伸方向的截面上具有曲率在整个第二表面上连续的形状。
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公开(公告)号:CN111417884B
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN201880077358.0
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有:与第1外部端子连接的引出配线;和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽,跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号:CN112731652A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011562410.7
申请日:2016-12-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/08
Abstract: 致动器装置(1)具备:支撑部(5);可动部(6);连结部(8),以可动部(6)能够在第二轴线(X2)周围摇动的方式在第二轴线(X2)上将可动部(6)连结于支撑部(5);第一配线(21),被设置于连结部(8)上;第二配线(31),被设置于支撑部(5)上;绝缘层(52),具有使第一配线(21)以及第二配线(31)的一方的配线中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)露出的第一开口(52a)并且覆盖第一连接部分(25)的角(25b)。构成第一配线(21)的第一金属材料其刚性高于构成第二配线(31)的第二金属材料。第一配线(21)以及第二配线(31)的另一方的配线在第一开口(52a)被连接于第一连接部分(25)的表面(25a)。
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公开(公告)号:CN111417884A
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN201880077358.0
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有:与第1外部端子连接的引出配线;和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽,跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号:CN110809729A
公开(公告)日:2020-02-18
申请号:CN201880040391.6
申请日:2018-08-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供能够实现可靠性的提高和成本降低的光学组件和光学组件的制造方法。光学组件(100)包括具有可动反射镜部(10)的反射镜单元(40)、产生作用于上述可动反射镜部的磁场的磁体部(50)和收纳上述磁体部的封装件(60)。上述磁体部具有包含力沿第1方向作用的第1磁体(51)和力沿第2方向作用的第2磁体(52、53)的海尔贝克结构。上述封装件(60)具有底壁部(61)、侧壁部(62)和限制上述第2磁体向上述第2方向的移动的限制部(63)。上述可动反射镜部配置在由磁体部的上表面(50a)和上述限制部(63)形成的空间中。
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公开(公告)号:CN110337604A
公开(公告)日:2019-10-15
申请号:CN201780087497.7
申请日:2017-12-20
Applicant: 浜松光子学株式会社 , 一般财团法人日本自动车研究所
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够精度良好地取得关于镜的摆角的信息的光模块、及具备这样的光模块的测距装置。本发明的光模块具备:支承部(2);可动部(3、4),其在支承部(2)上以可在轴线(X1、X2)周围摇动的方式被支承;镜(7),其设置于可动部(3、4);驱动用线圈(11、12),其设置于可动部(3、4);温度监测用元件(14),其设置于支承部(2);磁铁(30),其产生作用于驱动用线圈(11、12)的磁场。支承部(2)与磁铁(30)热连接。
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