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公开(公告)号：CN115668516A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180039548.5
申请日：2021-05-17
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： H01L31/107 , H01L27/146
摘要： 本发明的光检测元件(10)具备：半导体基板(16)，其具有被检测光入射的主面(16a)、及背对主面(16a)的背面(16b)，在主面(16a)侧具有产生与被检测光的光强度相应的量的电荷的一个或多个光检测区域(11)；及光吸收膜(13)，其设置于半导体基板(16)的背面(16b)上。光吸收膜(13)包含：金属层即反射层(133)、设置于反射层(133)与半导体基板(16)之间的谐振层(132)、及设置于谐振层(132)与半导体基板(16)之间的光吸收层(131)。在被检测光的波长、及光检测区域(11)中所产生的自发光的波长中的至少一者，谐振层(132)的内部的透光率大于光吸收层(131)的内部的透光率，反射层(133)的表面的光反射率大于谐振层(132)的表面的光反射率。由此，实现一种可减少半导体基板的背面的光的反射的半导体光检测元件。
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公开(公告)号：CN105594114B
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201480054282.1
申请日：2014-09-08
申请人： 浜松光子学株式会社
发明人： 藁科祯久
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B2201/038 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , G01J3/26 , G02B6/29395 , G02B26/001 , G02B26/0841 , H02N1/008
摘要： 光学模块(1A)包括：半导体基板(2)；静电致动器(10)，其具有固定部(11)和可动部(12)，该固定部(11)固定在半导体基板(2)，该可动部(12)通过在与固定部(11)之间产生的静电力相对于固定部(11)移动；第一弹簧部(20)，其与可动部(12)连接，具有第一弹簧常数K1；第二弹簧部(30)，其连接至第一弹簧部(20)与半导体基板(2)之间，具有比第一弹簧常数K1大的第二弹簧常数K2；可动反射镜(5)，其是连接至第一弹簧部(20)与第二弹簧部(30)的连接部(13)的光学部件，由此实现能够使用静电致动器、稳定且高精度地使光学部件动作的光学模块。
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公开(公告)号：CN103459994B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201280015262.4
申请日：2012-03-09
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： H04N5/33 , G01J1/44 , G01J5/00 , G01J5/10 , G01J5/22 , G01J5/24 , G01J2001/444 , G01J2005/0048 , G01J2005/0077 , G01J2005/066 , G01J2005/202 , H04N5/217 , H04N5/357
摘要： 一种检测红外线的红外线图像传感器，具备具有排列了多个像素的像素区域以及至少一个参考像素的受光部（12）、取得作为包含于像素区域的一个像素的信号与参考像素的信号的差分信号的第1差分信号以及作为包含于像素区域的多个像素中的规定的两个像素的信号的差分信号的第2差分信号的差分电路、以及基于第1差分信号和第2差分信号算出像素的信号的像素信号算出部而构成。
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公开(公告)号：CN103018852A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210379676.7
申请日：2009-12-07
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G02B6/42 , H01L25/075
CPC分类号： H01L33/60 , G02B6/4214 , G02B6/423 , H01L25/075 , H01L31/02325 , H01L33/58 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供光元件模块及其制造方法。光元件模块（1）的制造方法构成为，光元件模块（1）在硅基板（2）的一个面上装载光元件（8）和半导体电路元件（9），在另一个面上形成大致倾斜45度的镜面（2a），与镜面相对的光纤（7）配置在沿另一个面形成的V槽中；该制造方法包括：相对于另一个面通过第1结晶各向异性蚀刻同时形成镜面（2a）和V槽的V状侧面的工序，通过与第1结晶各向异性蚀刻的结晶面方位不同的第2结晶各向异性蚀刻形成接触面（2b）的工序，接触面（2b）与一个面和另一个面大致垂直，形成在V槽前端侧而碰上光纤（7）前端。由此实现使光元件和光纤的光连接高功能化的光元件模块及其高效的制造方法。
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公开(公告)号：CN102460687A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080026802.X
申请日：2010-06-03
申请人： 浜松光子学株式会社
发明人： 藁科祯久
IPC分类号： H01L23/14 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18
CPC分类号： H01L23/147 , H01L23/13 , H01L23/49822 , H01L23/49827 , H01L23/49872 , H01L27/14636 , H01L2224/16225 , H01L2924/157 , H01L2924/3011
摘要： 层叠配线基板(1)中，具有规定的比电阻的低电阻硅基板(2)与具有比该规定的比电阻高的比电阻的高电阻硅基板(4)夹着绝缘层(3)而层叠。在低电阻硅基板(2)上，设置有由环状槽(5)包围的电气通路部(6)，在高电阻硅基板(4)的背面(4b)及凹部(11)的内面(11a)上，设置有经由绝缘层(3)的开口(8)而与电气通路部(6)电连接的配线膜(13)。这样，由于在高电阻硅基板(4)设置有配线膜(13)，因此，在层叠配线基板(1)的表面侧与背面侧，可将电极垫的数量或位置不同的光半导体元件(20)与电子电路元件(30)电连接。
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公开(公告)号：CN1751256A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200480004725.2
申请日：2004-02-19
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G02B6/423 , G02B6/4201 , G02B6/4214 , G02B6/4243 , G02B6/4249 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： 本发明的光模块是由具备有：在光元件设置面(16)上具有4个光电二极管(12)及2个导槽(10)的次基座(1)；在光纤固定面(26)上具有4个V槽(21)、4个凹面镜(22)、及2条导轨(20)的光纤固定构件(2)；及固定在光纤固定构件(2)上的4条光纤(3)所构成。并且，在该光模块中，次基座(1)及光纤固定构件(2)是利用导槽(10)与导轨(20)的嵌合而被定位固定。因此，可实现批量生产、低成本化成为可能、且使用被动对准方式的光模块。
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公开(公告)号：CN108474941B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201680079469.6
申请日：2016-12-22
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 致动器装置(1)包括：支撑部(5)；可动部(6)；以可动部(6)可在第二轴线(X2)周围摇动的方式将可动部(6)在第二轴线(X2)上与支撑部(5)连结的连结部(8)；设置于连结部(8)上的第一配线(21)；和设置于支撑部(5)上的第二配线(31)。构成第一配线(21)的第一金属材料与构成第二配线(31)的第二金属材料相比，刚性高。第二配线(31)与第一连接部分(25)中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)连接。
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公开(公告)号：CN110709750A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880033688.X
申请日：2018-05-14
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明的滤波器控制式导出方法具备：准备步骤，其准备通过静电力与弹性力平衡而控制固定镜部(35)与可动镜部(36)间的距离(x)的法布里-帕罗干涉滤波器；第1导出步骤，其通过实施规定的测量，而导出将可动镜部(36)的弹性指标(k)作为将可动镜部的挠曲量(m)设为变量的2次以上的多项式而记述的挠曲量(m)与弹性指标(k)的关系式；及第2导出步骤，其基于挠曲量(m)与弹性指标(k)的关系式、以及静电力与弹性力的关系式，将透过法布里-帕罗干涉滤波器的光的透过波长与电压(V)的关系式作为滤波器控制式导出；在第1导出步骤中，在作为电压施加互不相同的多个电压的各个的状态下，测量透过法布里-帕罗干涉滤波器的光的透过波长。
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公开(公告)号：CN108603747A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009338.5
申请日：2017-02-02
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明的光模块包括：具有沿着规定方向移动的可动部的致动器；具有第1可动镜、第1固定镜和第1分束器的第1干涉光学系统；和具有第2可动镜、第2固定镜和第2分束器的第2干涉光学系统。第1干涉光学系统构成为第1光在第1分束器与第1可动镜之间沿着规定方向往返m次，其中，m为自然数。第2干涉光学系统构成为第2光在第2分束器与第2可动镜之间沿着规定方向往返n次，其中，n为比m大的自然数。
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公开(公告)号：CN101786592B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201010103967.4
申请日：2010-01-26
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B81B7/02
CPC分类号： B81B7/0067 , B81B2201/042 , B81B2207/096 , G01B9/02051
摘要： 本发明涉及一种光模块(1A)，是由具有支撑基板(10)以及经由绝缘层(12)而被配置于支撑基板10的板面(10a)上的半导体层(14)的SOI基板制作而成的光模块；具备：可动镜(22)，其可以在Y轴方向上移动且在与Y轴方向相交的侧面上形成有镜面22a、光电二极管(32)，其被设置于支撑基板(10)的板面(10a)上并与可动镜(22)的镜面(22a)光互连、帽部件(34)，其被设置于支撑基板(10)的板面(10a)上并气密性地封闭可动镜(22)以及光电二极管(32)、元件用电极部(36)，其贯通支撑基板(10)以及绝缘层(12)且与光电二极管(32)电连接。由此，可以提高包含可动镜的光学系统的气密性并实现小型化。
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