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公开(公告)号：CN106458576A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580030617.0
申请日：2015-05-29
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C3/00
CPC分类号： B81C1/00801 , B81B7/0025 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , B81C3/001 , B81C2201/014 , B81C2203/0145 , G02B26/0833
摘要： 一种微机械层组件(100)，其具有：-至少两个彼此无关地构造的机械的活性的功能层(10、20)，所述功能层(10、20)垂直相叠地布置并且在功能上彼此耦合。
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公开(公告)号：CN106458569A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580032509.7
申请日：2015-05-29
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81C1/00658
摘要： 本发明公开了一种微镜组件，其具有镜膜片；具有至少一个第一承载元件；针对每个第一承载元件具有一个第一耦合元件，其布置在镜膜片和相应第一承载元件之间并且构造用于使相应第一承载元件与镜膜片机械地耦合；具有至少一个第二承载元件，其与至少一个第一承载元件机械地耦合；和针对每个第二承载元件具有一个第二耦合元件，其构造用于机械式接触。此外，本发明公开了一种用于制造按照本发明微镜组件的方法。
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公开(公告)号：CN109843787B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201780064777.6
申请日：2017-09-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
发明人： R·施特劳布 , A·芬恩 , F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , J·穆霍 , H·格鲁茨埃克
摘要： 本发明涉及一种微机械构件，具有夹持装置(10)，借助至少一个线圈支架(12)保持的并且包括由至少一种导电材料制成的印制导线(22)的至少一个线圈绕组(14)，其中，所述至少一个线圈绕组(14)的至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上，和能变换位置的部件(16)，其中，所述至少一个线圈支架(12)和所述能变换位置的部件(16)相互连接并且通过至少一个弹簧元件(18)与所述夹持装置(10)连接，使得所述能变换位置的部件(16)相对于所述夹持装置(10)围绕至少一个旋转轴线(20)能变换位置，并且其中，所述至少一个线圈绕组(14)的所述至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上，而同一所述线圈绕组(14)的至少一个第二部分区段(14b)作为悬置的部分区段(14b)跨越在配属的线圈支架(12)中构造的至少一个中间空隙(24)。
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公开(公告)号：CN109799606A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201811365018.6
申请日：2018-11-16
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种微机械构件，其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a，14b)，其中，所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a，14b)这样与所述保持装置(12)连接，使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整，其中，所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上，并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外，本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
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公开(公告)号：CN104843634B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201510079465.5
申请日：2015-02-13
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于通过以下方式结构化由两个半导体层与位于两个半导体层之间的绝缘层和/或蚀刻停止层组成的层结构的方法：在两个半导体层中的第一半导体层的第一侧上构造第一蚀刻掩膜；实施从第一外侧出发的用于结构化第一半导体层的第一蚀刻步骤，在两个半导体层中的第二半导体层的第二侧上构造第二蚀刻掩膜；实施从第二外侧出发的用于结构化第二半导体层的第二蚀刻步骤，其中，在实施第一蚀刻步骤之后并且在实施第二蚀刻步骤之前，在至少一个在第一蚀刻步骤中蚀刻的第一沟槽的至少一个沟槽壁上沉积至少一种蚀刻保护材料。本发明同样涉及一种用于微机械部件的制造方法。此外，本发明涉及一种微机械部件。
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公开(公告)号：CN107835788A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201680041349.7
申请日：2016-05-24
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00103 , B81B7/0058 , B81B2201/042 , B81B2203/0384 , B81C1/00317 , B81C2201/0133 , B81C2201/0143 , B81C2201/0154 , B81C2203/0136 , G02B1/14 , G02B26/0833
摘要： 本发明涉及一种用于微机械窗结构的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：提供衬底(1)，其中，所述衬底(1)具有正面(4)和背面(5)；在所述正面(4)上形成第一凹部(6)；在所述正面(4)和所述第一凹部(6)上构造覆层(8；8‘、8“)；并且在所述背面(5)上形成第二凹部(7)，使得所述覆层(8)至少局部地露出，由此通过所述覆层的露出区域形成窗(F)。
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公开(公告)号：CN104843629A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510079599.7
申请日：2015-02-13
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B7/007 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81C2203/0109
摘要： 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括：密封封闭的壳体(10)；第一功能构件(12)，所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内；经结构化的第一导电层(14)，所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内；和经结构化的第二导电层(24)，其中，所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通，并且，其中，所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18-i，26-i)电接通。
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公开(公告)号：CN110997555B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201880051381.2
申请日：2018-07-30
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81B7/00
摘要： 本发明实现一种微机械装置和一种相应的制造方法。微机械装置包括具有前侧(V)和后侧(R)的基础衬底(2)；罩衬底(2a)，其中，在所述基础衬底(2)的所述前侧(V)中构造具有不平整的侧壁(3a)的至少一个环绕的沟槽(3)；其中，所述基础衬底(2)的所述前侧(V)和所述沟槽(3)涂覆有至少一个金属层(4、4a)；其中，所述沟槽(3)的所述不平整的侧壁(3a)不一致地被金属(4、4a)覆盖，使得所述不平整的侧壁在垂直于所述前侧(V)走向的方向上不形成电流路径；并且，其中，在所述沟槽(3)的区域中在所述基础衬底(2)和所述罩衬底(2a)之间构造有封闭介质、尤其是密封玻璃封闭部(5)。
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公开(公告)号：CN115428158A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029849.X
申请日：2021-03-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H01L27/20 , H01L41/311 , B81B7/02
摘要： 提出一种用于制造微电子设备(10)、尤其是MEMS芯片设备的方法，所述微电子设备具有至少一个载体衬底(12)，其中，在至少一个方法步骤中，将由金属导体制成的至少一个电动力学致动器(14)施加到所述载体衬底(12)上，所述金属导体至少大部分由铜构造，其中，在至少一个另外的方法步骤中，将至少一个压电致动器(16)施加到所述载体衬底(12)上。
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公开(公告)号：CN109799606B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201811365018.6
申请日：2018-11-16
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种微机械构件，其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a，14b)，其中，所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a，14b)这样与所述保持装置(12)连接，使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整，其中，所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上，并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外，本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
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