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公开(公告)号：CN108235218B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201711397828.5
申请日：2017-12-21
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出了一种半导体装置。该半导体装置包括具有开口的膜片结构。此外，该半导体装置包括布置在膜片结构的第一侧上的第一背板结构以及布置在膜片结构的第二侧上的第二背板结构。该半导体装置还包括连接第一背板结构与第二背板结构的垂直连接结构。在此，垂直连接结构延伸穿过开口。
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公开(公告)号：CN111698624A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010150488.1
申请日：2020-03-06
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开涉及MEMS器件以及用于制造MEMS器件的方法。MEMS器件包括形成电容性感测布置的第一电极结构和第二电极结构。MEMS器件包括被布置在第一电极结构和第二电极结构之间对应的多个位置处的多个抗静摩擦凸块。投影到第二电极结构的主表面中的多个位置被分布为以便包括在主表面的第一主表面区域中的第一分布密度，并且以便包括在主表面的第二主表面区域中的不同的第二分布密度，第二主表面区域与第一主表面区域划界。
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公开(公告)号：CN108235218A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711397828.5
申请日：2017-12-21
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出了一种半导体装置。该半导体装置包括具有开口的膜片结构。此外，该半导体装置包括布置在膜片结构的第一侧上的第一背板结构以及布置在膜片结构的第二侧上的第二背板结构。该半导体装置还包括连接第一背板结构与第二背板结构的垂直连接结构。在此，垂直连接结构延伸穿过开口。
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公开(公告)号：CN105430583A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510580611.2
申请日：2015-09-11
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R29/004 , H04R2201/003
Abstract: 依据一实施例，换能器系统包括：换能元件和耦接至所述换能元件的差分输出的对称检测电路。该换能元件包括信号板、第一感测板以及第二感测板。该对称检测电路被配置为基于差分输出中的非对称而输出误差信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102082988A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010569198.7
申请日：2010-11-30
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R31/00 , H01L2224/48091 , H01L2924/10253 , H01L2924/1461 , H04R19/005 , H04R19/04 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及MEMS麦克风封装以及MEMS麦克风模块。具体地，提供了一种用于制作麦克风模块的方法，包括：将MEMS麦克风结构件布置于第一基底的第一表面上，第一基底还包括与第一表面相反的第二表面。另外，罩被布置于第一基底的第一表面上使得罩和第一表面围封MEMS麦克风结构件。MEMS麦克风结构件的读出装置布置于第二基底的第一表面上，第二基底还包括与第一表面相反的第二表面。第一基底的第二表面与第二基底的第二表面附接。
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公开(公告)号：CN109319727B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201810865573.9
申请日：2018-08-01
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: MEMS传感器包括具有可移动电极和定子电极的MEMS装置，定子电极与可移动电极相对地布置。MEMS传感器包括连接到定子电极的第一偏置电压源，第一偏置电压源被配置为将第一偏置电压施加到定子电极。MEMS传感器还包括通过电容耦合连接到定子电极的共模读出电路，共模读出电路包括第二偏置电压源，第二偏置电压源被选择为将第二偏置电压施加到电容耦合的背离定子电极的一侧。
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公开(公告)号：CN114644318A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202111547509.4
申请日：2021-12-16
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及三膜MEMS器件。一种系统包括彼此间隔开的第一膜、第二膜和第三膜，其中第二膜在第一膜与第三膜之间，并且第二膜包括多个开口，该系统还包括在第一膜与第三膜之间的密封低压力室和在密封低压力室中的多个电极。
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公开(公告)号：CN112399311A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202010794187.2
申请日：2020-08-10
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R7/10
Abstract: 公开了一种用于双背板换能器的膜支撑件。一种微加工结构，包括：可偏转膜、在可偏转膜的第一表面的第一夹持层、在可偏转膜的第二表面的第二夹持层、在第一夹持层上的第一穿孔背板以及在第二夹持层上的第二穿孔背板，其中，第一夹持层包括第一锥形边缘部分，该第一锥形边缘部分在第一穿孔背板与可偏转膜之间具有负斜率。
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公开(公告)号：CN105744453B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201510981861.7
申请日：2015-12-23
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本申请涉及具有绝缘的导电板的电容式麦克风。电容式麦克风可包括壳体、薄膜以及第一背板，其中第一绝缘层可以布置在第一背板的朝向薄膜的第一侧上，第二绝缘层可以布置在与第一背板的第一侧相反的第一背板的第二侧上。另外的绝缘层可以布置在第一背板中的多个冲孔中的至少一个冲孔的侧壁上。第一背板的每个导电表面可以由绝缘材料覆盖。
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