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公开(公告)号：CN115516597A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180032855.0
申请日：2021-03-09
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/244
摘要： 描述成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：发射一次带电粒子束105的束发射器150，带电粒子束装置适于沿光轴101将一次带电粒子束引导至样品以释放信号粒子；在撞击样品前阻滞一次带电粒子束的阻滞场装置100，阻滞场装置包括物镜110和代理电极130，其中代理电极包括允许一次带电粒子束和信号粒子通过的开口131；代理电极与物镜间的离轴背散射粒子的第一检测器120；以及放大第一检测器信号的前置放大器121，其中前置放大器为下列至少一者：(i)与第一检测器整合，(ii)在带电粒子束装置真空外壳102内侧邻近第一检测器布置，及(iii)固定安装在带电粒子束装置真空腔室中。也描述利用带电粒子束装置成像和/或检查样品的方法。
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公开(公告)号：CN114730683A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080079517.8
申请日：2020-11-03
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC分类号： H01J37/02
摘要： 一种次级带电粒子成像系统，包含：背向散射电子检测器模块，其中背向散射电子检测器模块可以环绕轴线而在第一角位置(5452)与第二角位置(5454)之间旋转。
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公开(公告)号：CN113412531A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202080013100.1
申请日：2020-01-22
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/28
摘要： 公开了一种操作带电粒子束装置的方法，所述方法包括使多个细束中的每个细束依序通过偏转器(6)和扫描仪(12)。用物镜将细束中的每个细束聚焦在样本上以形成多个焦斑，从而形成阵列。第一细束(4A)聚焦在第一光斑(40A)上，并且第二细束(4D)聚焦在第二光斑(40D)上。在装置的居中配置中，多个细束中的每个细束由偏转器引导朝向无彗差点(100)。在装置的细束移位的配置中，扫描仪被扫描，使得第一细束通过可接受的像差点(105)，第一细束扫描经移位的第一视场；并且第一光斑从规则的第一焦斑移位到经移位的第一焦斑(45A)。
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公开(公告)号：CN113412531B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202080013100.1
申请日：2020-01-22
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/28
摘要： 公开了一种操作带电粒子束装置的方法，所述方法包括使多个细束中的每个细束依序通过偏转器(6)和扫描仪(12)。用物镜将细束中的每个细束聚焦在样本上以形成多个焦斑，从而形成阵列。第一细束(4A)聚焦在第一光斑(40A)上，并且第二细束(4D)聚焦在第二光斑(40D)上。在装置的居中配置中，多个细束中的每个细束由偏转器引导朝向无彗差点(100)。在装置的细束移位的配置中，扫描仪被扫描，使得第一细束通过可接受的像差点(105)，第一细束扫描经移位的第一视场；并且第一光斑从规则的第一焦斑移位到经移位的第一焦斑(45A)。
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公开(公告)号：CN116897408B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202280015412.5
申请日：2022-01-17
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
发明人： P·阿达麦茨
摘要： 描述了一种带电粒子束设备(100)。带电粒子束设备包括：第一真空区域(121)，其中布置有用于沿光轴(A)发射带电粒子束(102)的带电粒子束发射器(105)；第二真空区域(122)，第二真空区域在第一真空区域下游并且通过具有第一差分泵送孔(131)的第一气体分隔壁(132)与第一真空区域隔开，其中第一差分泵送孔(131)被配置为用于带电粒子束(102)的第一射束限制孔；以及第三真空区域(123)，第三真空区域在第二真空区域下游并且通过具有第二差分泵送孔(133)的第二气体分隔壁(134)与第二真空区域隔开，其中第二差分泵送孔(133)被配置为用于带电粒子束(102)的第二射束限制孔。进一步描述的是扫描电子显微镜和操作带电粒子束设备的方法。
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公开(公告)号：CN116686062A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202180084393.7
申请日：2021-12-02
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC分类号： H01J37/244
摘要： 提供了用于测量带电粒子束装置的初级带电粒子束(123)的电流的电流测量模块(100)，电流测量模块(100)包括检测单元(160)，所述检测单元(160)经配置为用于检测在初级带电粒子束(123)撞击在带电粒子束装置的射束收集器(140)的导电表面(142)上时释放的次级带电粒子和/或背散射带电粒子(127)。
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公开(公告)号：CN115398590A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202180025073.4
申请日：2021-03-09
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/244
摘要： 描述了用于成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：束发射器150，用于发射一次带电粒子束105；阻滞场装置100，用于在撞击样品之前阻滞一次束，阻滞场装置100包括物镜110和代理电极130；以及第一检测器120，用于代理电极与物镜之间的离轴背散射粒子。带电粒子束装置适于沿着光轴101将一次束引导至样品以用于释放信号粒子。代理电极包括允许一次带电粒子束和信号粒子通过的一个开口131，其中一个开口经设置大小以允许从样品背散射的带电粒子相对于光轴以0°至20°或更高的角度通过。此外描述了用于利用带电粒子束装置成像和/或检查样品的方法。
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公开(公告)号：CN115223831A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210379610.1
申请日：2022-04-12
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/14 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/28
摘要： 描述了一种用于用多个子束检查样本的带电粒子束设备。所述带电粒子束设备包括：带电粒子束发射器(105)，所述带电粒子束发射器用于产生沿光轴(A)传播的带电粒子束(11)；以及多子束产生和校正组件(120)，所述多子束产生和校正组件包括：第一多孔隙电极(121)，所述第一多孔隙电极具有第一多个孔隙，以用于从所述带电粒子束产生所述多个子束；至少一个第二多孔隙电极(122)，所述至少一个第二多孔隙电极具有用于所述多个子束的不同直径的第二多个孔隙，以用于提供场曲率校正；以及多个多极子(123)，所述多个多极子用于单独地影响所述多个子束中的每一者，其中所述多子束产生和校正组件(120)被配置为将所述多个子束聚焦以提供多个中间子束交叉点。所述带电粒子束设备进一步包括：物镜(150)，所述物镜用于将所述多个子束中的每一者聚焦到所述样本上的分离位置；以及单个转移透镜(130)，所述单个转移透镜布置在所述多子束产生和校正组件与所述物镜之间用于子束准直。另外，描述了一种用带电粒子束设备检查样本的方法。
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公开(公告)号：CN114586128A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202080070186.1
申请日：2020-09-10
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
发明人： B·J·库克
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/28 , H01J37/02
摘要： 带电粒子束装置(100)包括带电粒子源(105)和子束形成多孔板(110)。所述装置还包括：预补偿器(120)，所述预补偿器(120)用于减小子束在目标处的像差；扫描器，所述扫描器用于扫描子束中的每个子束；物镜(109)，所述物镜(109)用于使每个子束聚焦到目标上；以及控制器，所述控制器配置为与预补偿器和扫描器同步。预补偿器包括：至少一个“径向可变的”多孔电极(121)，其中所述至少一个“径向可变的”多孔电极(121)的每个孔的直径随着孔距光轴z的距离而缩放；以及至少一个“笛卡尔可变的”多孔电极(122)，其中所述至少一个“笛卡尔可变的”多孔电极(122)的每个孔的直径随着孔的位置的x分量而缩放。
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