-
公开(公告)号：CN106233448B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201580019846.2
申请日：2015-04-15
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/10
Abstract: 本发明提供用于检测晶片上的缺陷的方法及系统。一种系统包含照明子系统，其经配置以将光引导到晶片上的至少一个光点。所述系统还包含至少一个元件，其经配置以阻挡从所述至少一个光点散射的光的第一部分到达检测器，同时允许由所述检测器检测从所述至少一个光点散射的所述光的第二部分。从所述晶片上的逻辑区中的一或多个图案化特征散射所述光的所述第一部分。不从所述一或多个图案化特征散射所述光的所述第二部分。所述检测器并非成像检测器。所述系统进一步包含计算机子系统，其经配置以基于所述检测器的输出而检测所述晶片上的缺陷。
-
公开(公告)号：CN104020148B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410281804.3
申请日：2010-07-19
Applicant: BT成像股份有限公司
Inventor： 托斯顿·特鲁普克
CPC classification number: G01N21/6489 , G01N2201/06113 , G01N2201/10 , H01L22/12
Abstract: 本发明涉及光致发光测量中掺杂浓度和少数载流子寿命分离。具体来说，本发明涉及分离由掺杂浓度和少数载流子寿命分别对半导体材料产生的光致发光(PL)的影响的方法。在一个实施方式中本底掺杂浓度以其他技术被测量，使得PL测量结果根据有效少数载流子寿命被分析。在另一个实施方式中有效寿命以其他技术被测量，使得PL测量结果根据本底掺杂浓度被分析。在又一个实施方式中，通过计算两次PL测量结果的强度比本底掺杂浓度的影响被消除，所述PL测量结果是在不同的光谱范围下被获得，或者在不同的激发波长下被产生。
-
公开(公告)号：CN106415807A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580026943.4
申请日：2015-05-11
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·V·库尔卡尼
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G01B21/16 , G01N21/8806 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N23/2251 , G01N2021/8825 , G01N2021/8887 , G01N2201/10 , G01N2201/12 , G01N2223/6116 , G06F17/5045 , G06T7/60 , G06T7/74 , G06T2207/30148 , H01L21/67288 , H01L22/12
Abstract: 本发明提供用于相对于所存储高分辨率裸片图像确定检验数据的位置的方法及系统。一种方法包含：使由检验系统针对晶片上的对准位点获取的数据与关于预定对准位点的数据对准。所述预定对准位点在所述晶片的所存储高分辨率裸片图像的裸片图像空间中具有预定位置。所述方法还包含：基于所述预定对准位点在所述裸片图像空间中的所述预定位置而确定所述对准位点在所述裸片图像空间中的位置。另外，所述方法包含：基于所述对准位点在所述裸片图像空间中的所述位置而确定由所述检验系统针对所述晶片获取的检验数据在所述裸片图像空间中的位置。
-
公开(公告)号：CN106233448A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201580019846.2
申请日：2015-04-15
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/10
Abstract: 本发明提供用于检测晶片上的缺陷的方法及系统。一种系统包含照明子系统，其经配置以将光引导到晶片上的至少一个光点。所述系统还包含至少一个元件，其经配置以阻挡从所述至少一个光点散射的光的第一部分到达检测器，同时允许由所述检测器检测从所述至少一个光点散射的所述光的第二部分。从所述晶片上的逻辑区中的一或多个图案化特征散射所述光的所述第一部分。不从所述一或多个图案化特征散射所述光的所述第二部分。所述检测器并非成像检测器。所述系统进一步包含计算机子系统，其经配置以基于所述检测器的输出而检测所述晶片上的缺陷。
-
公开(公告)号：CN106030287A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201480076127.X
申请日：2014-12-12
Applicant: 马克思-普朗克科学促进协会
Inventor： S·W.·黑尔
CPC classification number: G01N21/6458 , G01B11/14 , G01N2201/068 , G01N2201/10 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G02B21/16 , G02B21/367 , G02B27/58
Abstract: 为了确定物质的单个分子在试样中的地点(xM)，其中，所述物质的所述单个分子处于荧光状态下，在所述荧光状态下，能够用激励光激励所述单个分子发射荧光，其中，所述物质的所述单个分子在试样的目标区域中的间距遵循一最小值d＝λ/(2nsinα√(1+I/IS))，用所述激励光激励所述物质的单个分子发射荧光，其中，所述激励光的强度分布具有至少一个零部位。针对所述激励光的强度分布的至少一个零部位在所述试样的目标区域中的不同位置(xN)记录所述物质的被激励的单个分子的荧光。在此，所述激励光的强度分布的至少一个零部位的最邻近的位置(xN)之间的间距不大于所述最小值d的一半，在所述至少一个零部位的最邻近的位置上记录所述物质的被激励的单个分子的荧光。然后，由各分子的荧光强度(I)关于所述激励光的强度分布的所述至少一个零部位在所述试样的目标区域中的位置(xN)的变化曲线推导出所述物质的单个分子的地点(xM)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104020148A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410281804.3
申请日：2010-07-19
Applicant: BT成像股份有限公司
Inventor： 托斯顿·特鲁普克
CPC classification number: G01N21/6489 , G01N2201/06113 , G01N2201/10 , H01L22/12
Abstract: 本发明涉及光致发光测量中掺杂浓度和少数载流子寿命分离。具体来说，本发明涉及分离由掺杂浓度和少数载流子寿命分别对半导体材料产生的光致发光(PL)的影响的方法。在一个实施方式中本底掺杂浓度以其他技术被测量，使得PL测量结果根据有效少数载流子寿命被分析。在另一个实施方式中有效寿命以其他技术被测量，使得PL测量结果根据本底掺杂浓度被分析。在又一个实施方式中，通过计算两次PL测量结果的强度比本底掺杂浓度的影响被消除，所述PL测量结果是在不同的光谱范围下被获得，或者在不同的激发波长下被产生。
-
公开(公告)号：CN102027416B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200980117044.X
申请日：2009-04-27
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： M·A·范德柯克霍夫
CPC classification number: G03F7/70633 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/06113 , G01N2201/10 , G03F7/70616
Abstract: 本发明涉及检测位于图案中的目标。本发明通过从所述周围图案滤出傅里叶变换而在光瞳平面中操作。具体地，所述方法包括在反射的辐射数据上进行傅里叶变换以形成傅里叶变换数据；移除傅里叶变换数据中对应于所述目标的部分，以形成简化的傅里叶变换数据；对被移除的所述简化的傅里叶变换数据的所述部分进行插值，以形成产品傅里叶变换数据；和从所述傅里叶变换数据减去所述产品傅里叶变换数据。
-
公开(公告)号：CN102027416A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200980117044.X
申请日：2009-04-27
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： M·A·范德柯克霍夫
CPC classification number: G03F7/70633 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/06113 , G01N2201/10 , G03F7/70616
Abstract: 本发明涉及检测位于图案中的目标。本发明通过从所述周围图案滤出傅里叶变换而在光瞳平面中操作。具体地，所述方法包括在反射的辐射数据上进行傅里叶变换以形成傅里叶变换数据；移除傅里叶变换数据中对应于所述目标的部分，以形成简化的傅里叶变换数据；对被移除的所述简化的傅里叶变换数据的所述部分进行插值，以形成产品傅里叶变换数据；和从所述傅里叶变换数据减去所述产品傅里叶变换数据。
-
公开(公告)号：CN104937401B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201380054608.6
申请日：2013-10-17
Applicant: 生物辐射实验室股份有限公司
IPC: G01N27/26 , G01N27/447 , G06K9/36
CPC classification number: G01N21/63 , G01N21/6452 , G01N27/44726 , G01N2021/6484 , G01N2201/0833 , G01N2201/10 , G01N2201/103 , G01N2201/127 , H04N5/2624 , H04N5/349 , H04N5/3572 , H04N5/361
Abstract: 通过形成整个阵列的子图像且通过基于计算机的拼接技术将所述子图像拼接在一起，或者通过利用与分析物阵列同延的薄膜光敏元件阵列形成阵列的单幅图像，对诸如电泳后厚板型凝胶中的溶质的分析物阵列并且尤其是超过3cm2且直到25cm2和更高的分析物阵列以5cm或更小的距离进行成像。
-
公开(公告)号：CN106645012A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611178088.1
申请日：2016-12-19
Applicant: 中国石油化工股份有限公司 , 中国石化销售有限公司北京石油分公司 , 北京化工大学
IPC: G01N21/3577
CPC classification number: G01N21/3577 , G01N2201/10
Abstract: 本发明公开了一种成品汽柴油中酯类化合物快速定量分析方法，其特征在于将具有代表性的含有酯类添加剂(如碳酸二甲酯或乙酸仲丁酯)的汽油和柴油样品组成校正集，采集样品的红外光谱，将样品的红外光谱经预处理后，再与相应的汽油和柴油中的酯类添加剂含量数据进行回归分析，建立多元校正模型；对未知的汽油或柴油样品的红外吸收光谱进行同样的数据预处理，由校正模型测定汽油或柴油中酯类添加剂含量。该方法具有不污染和损耗样品，速度快、准确，精密度好的特点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
59
records
(took 0.034 seconds)
