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    用于降低装载锁中的压力的方法和相关设备
    13.
    发明公开
    用于降低装载锁中的压力的方法和相关设备 无效

    公开(公告)号：CN102282663A

    公开(公告)日：2011-12-14

    申请号：CN200980154661.7

    申请日：2009-12-18

    申请人： 阿迪森真空产品公司

    发明人： J·布努阿尔 ,  J-M·福雷

    IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  C23C14/00

    CPC分类号： H01L21/67201 ,  F04D19/04 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/86171

    摘要： 本发明涉及一种用于将设备装载锁中的压力从大气压降低至低于大气压的传送压力的方法，所述锁包括其中以大气压放置了至少一个基板的室，所述方法包括：第一步骤(101)，其中，利用泵送速度受限的主泵执行从大气压至第一特征阈值的第一主泵送，同时将涡轮分子泵送与所述室隔离开；第一步骤(101)之后的第二步骤(102)，其中，执行比所述第一步骤中更快的至第二特征阈值的第二主泵送，同时维持涡轮分子泵送的隔离；所述第二步骤(102)之后的第三步骤(103)，其中，借助于位于所述第一泵送上游的所述涡轮分子泵送来执行次级泵送，并且所述室与所述主泵隔离开。本发明还涉及一种用于实现所述方法的设备。

    阻尼力可变阀以及包括阻尼力可变阀的减震器
    14.
    发明授权
    阻尼力可变阀以及包括阻尼力可变阀的减震器 有权 转让

    公开(公告)号：CN101625019B

    公开(公告)日：2011-07-06

    申请号：CN200910151755.0

    申请日：2009-07-13

    申请人： 株式会社万都

    发明人： 池永焕 ,  朴圭植

    IPC分类号： F16F9/44 ,  F16F9/02

    CPC分类号： F16F9/325 ,  Y10T137/86171 ,  Y10T137/86622

    摘要： 本发明涉及阻尼力可变阀和包括阻尼力可变阀的减震器。阻尼力可变阀包括改进的滑阀杆以最小化内部扭曲，内部通道简化以在低速下获得可靠的阻尼力，总体结构简化及部件数量减少以提高生产率。该阀安装在减震器上，减震器包括气缸、与气缸相通的储存腔室、连接至气缸的回弹腔室的高压部件以及连接至储存腔室的低压部件。该阀包括：保持件，包括在其中间部分处连接至高压部件且具有向外扩大的外径的主体，及从主体中间部分一体延伸且在中心处形成有插入滑阀的空心部分的滑阀杆；布置于保持件下面的主盘；螺线管单元，设置于滑阀杆下面且包括在施加电压时移动滑阀的推杆；以及操作区块，安装于螺线管单元顶部上且包括延伸为结合至主体外径的扩大部分。

    低压循环阀
    15.
    发明授权
    低压循环阀 失效

    公开(公告)号：CN1020943C

    公开(公告)日：1993-05-26

    申请号：CN90104049.5

    申请日：1990-05-31

    申请人： 基斯通国际集团公司

    发明人： 乔治·卢斯 ,  霍勒·J·马克斯韦尔

    IPC分类号： F04D15/00 ,  G05D7/01

    CPC分类号： F04D15/0011 ,  F16K17/0473 ,  Y10T137/2584 ,  Y10T137/2587 ,  Y10T137/2617 ,  Y10T137/86171

    摘要： 一种用于冷却离心泵的低压循环阀。它包括一个分隔成第一阀室和第二阀室的整体阀壳，该阀壳具有第一孔口和第二孔口。第一阀室具有一个使液体改道返回上述离心泵的循环孔口；一个位于第一阀室和第二阀室之间的多片止回阀元件；一个与上述止回阀元件耦合并通过第一阀室延伸的可滑动阀杆；一个耦合在上述阀杆上将滑动阀杆和止回阀装置朝着其关闭位置施加偏压的装置；一个与上述阀杆耦合以打开和关闭上述循环孔口的循环阀装置。

    抽吸喷射泵
    16.
    发明授权
    抽吸喷射泵 失效

    公开(公告)号：CN101932820B

    公开(公告)日：2013-08-21

    申请号：CN200880125935.5

    申请日：2008-12-09

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： P·施密德 ,  R·马莱茨 ,  K·肖尔茨 ,  J·卡德莱茨

    IPC分类号： F02M37/02

    CPC分类号： F02M37/025 ,  F02M37/106 ,  F04F5/44 ,  F04F5/46 ,  Y10T137/86043 ,  Y10T137/86075 ,  Y10T137/86171 ,  Y10T137/87643

    摘要： 已公知了抽吸喷射泵，具有一个驱动管路(1)，该驱动管路通过一个射流输出口通入抽吸室(3)中，其中该抽吸室具有一个与一阀件(6)相互配合的抽吸孔(5)，流体通过该抽吸孔可被抽吸到所述抽吸室中。所述阀件与所述抽吸孔一起构成抽吸阀。所述抽吸喷射泵借助经由所述驱动管路流动的驱动流来驱动。该抽吸喷射泵被设置在一个储存容器(11)中及由一个燃料箱将燃料抽吸到储存容器中。在燃料箱中低液位的情况下可出现：部分地抽吸出空气及导入储存容器中，由此在储存容器中导致泡沫形成。而泡沫用其大容积排挤燃料，这可导致储存容器的局部排空。该效应被称为动态泄漏。描述抽吸容积流与驱动流的关系的特性曲线相对陡地变化。从抽吸喷射泵的抽吸区域中的一个临界负压区起才出现强泡沫的形成，这在下面被称为发泡界限。在根据本发明的抽吸喷射泵中，避免或至少减少了泡沫的形成。本发明提出，所述驱动管路具有一个通入所述抽吸室中的旁通孔(10)，该旁通孔这样地设置，以致其旁通流作用到所述阀件上。

    可变油泵
    17.
    发明公开
    可变油泵 有权

    公开(公告)号：CN103133845A

    公开(公告)日：2013-06-05

    申请号：CN201210129691.6

    申请日：2012-04-27

    申请人： 明和工业株式会社

    发明人： 权赫麟 ,  金镇勇

    IPC分类号： F16N13/04 ,  F01M1/02

    CPC分类号： F04C14/26 ,  F04C2/10 ,  F04C2210/206 ,  Y10T137/2663 ,  Y10T137/86171

    摘要： 本发明的目的在于提供一种可变油泵，不仅结构简单，而且能够利用随着发动机的转速而产生的工作油的油压，迅速地只排出需要的油量，能够在提高润滑效果的同时，提高发动机的效率。特别地，本发明的另一个目的在于提供一种可变油泵，在结构上，柱塞与油缸之间设置间隙，利用从油泵输出的油压使柱塞容易地工作，从而能够利用随着发动机的旋转速度的变化而变化的油压，按照所需的油量更迅速地进行供应。另外，本发明的再一个目的在于提供一种可变油泵，使得所述柱塞相对于工作油的流动方向竖直地工作，从而使柱塞沿工作油的压力施加的方向工作，能够更迅速、准确地工作。

    抽吸喷射泵
    19.
    发明公开
    抽吸喷射泵 失效

    公开(公告)号：CN101932820A

    公开(公告)日：2010-12-29

    申请号：CN200880125935.5

    申请日：2008-12-09

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： P·施密德 ,  R·马莱茨 ,  K·肖尔茨 ,  J·卡德莱茨

    IPC分类号： F02M37/02

    CPC分类号： F02M37/025 ,  F02M37/106 ,  F04F5/44 ,  F04F5/46 ,  Y10T137/86043 ,  Y10T137/86075 ,  Y10T137/86171 ,  Y10T137/87643

    摘要： 已公知了抽吸喷射泵，具有一个驱动管路(1)，该驱动管路通过一个射流输出口通入抽吸室(3)中，其中该抽吸室具有一个与一阀件(6)相互配合的抽吸孔(5)，流体通过该抽吸孔可被抽吸到所述抽吸室中。所述阀件与所述抽吸孔一起构成抽吸阀。所述抽吸喷射泵借助经由所述驱动管路流动的驱动流来驱动。该抽吸喷射泵被设置在一个储存容器(11)中及由一个燃料箱将燃料抽吸到储存容器中。在燃料箱中低液位的情况下可出现：部分地抽吸出空气及导入储存容器中，由此在储存容器中导致泡沫形成。而泡沫用其大容积排挤燃料，这可导致储存容器的局部排空。该效应被称为动态泄漏。描述抽吸容积流与驱动流的关系的特性曲线相对陡地变化。从抽吸喷射泵的抽吸区域中的一个临界负压区起才出现强泡沫的形成，这在下面被称为发泡界限。在根据本发明的抽吸喷射泵中，避免或至少减少了泡沫的形成。本发明提出，所述驱动管路具有一个通入所述抽吸室中的旁通孔(10)，该旁通孔这样地设置，以致其旁通流作用到所述阀件上。