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公开(公告)号：CN113737129B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202111037978.1
申请日：2021-09-06
申请人： 常州高光半导体材料有限公司
摘要： 本发明提出的一种金属掩膜版的加工方法，涉及蒸镀掩膜领域。该加工方法在金属片上分三步依次蚀刻加工出第一凹槽、两个第二凹槽和第三凹槽；控制第一凹槽的宽度为d1、深度为h1；控制第二凹槽的宽度为d2′、深度为h2，两个第二凹槽相远端的距离为d2；第三凹槽蚀刻至与两个第二凹槽上下贯通形成一个呈整体的贯通孔，该贯通孔中，以所述的第三凹槽的侧壁与第二凹槽的侧壁的交界处为分界，形成宽度为d2、深度为h2′的上部孔体和宽度为d3、深度为h3的下部孔体。利用本发明的加工方法，能够有效控制所述的上部孔体和下部孔体的尺寸精度和一致性，大幅度提高了金属掩膜版的产出良率和一致性。
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公开(公告)号：CN116892023A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310813259.7
申请日：2023-07-05
申请人： 江西斯坦德电极科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种去除失效阳极表面涂层的方法，S1：将强碱、耐高温增稠剂、催化剂和蒸馏水混合搅拌配成均匀的糊状溶液，其中强碱的质量百分比为40%～70%，耐高温增稠剂的质量百分比为1%～6%，催化剂的质量百分比为5%～10%，蒸馏水的质量百分比为18%～54%；S2：将步骤S1中配好的糊状溶液均匀涂覆在失效钛阳极表面，然后放入高温炉中进行烧结，烧结温度为400℃～520℃，烧结时间为15 min～30 min；S3：将烧结后的失效钛阳极浸泡在酸溶液中5 min以上，使涂层自行脱落。本发明的方法适用于去除各种形状阳极表面的贵金属涂层，涂层去除时间快且去除非常彻底，钛基体也几乎没有损耗，可以同时回收钛材和贵金属涂层，提高资源利用率，产生良好的经济效益。
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公开(公告)号：CN109716506B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201880002930.7
申请日：2018-03-22
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L21/768 , C23F1/12 , C23F4/00 , C25D5/34 , H01L21/3065 , H01L21/3205 , H01L23/12 , H01L23/522
摘要： 本发明的一形态为一种电子部件的制造方法，在基板上形成第一金属层；在所述第一金属层上形成第二金属层；在所述第二金属层上形成由有机树脂层构成的掩模；使用含氟的反应气体经由所述掩模对所述第二金属层进行等离子蚀刻，从而在所述有机树脂层和所述第二金属层的层压膜上形成凹部；对所述凹部的内部表面进行氧灰化处理，并在进行了所述氧灰化处理后，通过电解电镀处理在所述凹部内形成第三金属层。
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公开(公告)号：CN116555747A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202211589212.9
申请日：2022-12-12
申请人： 湖北大学
摘要： 本发明提供一种基于3D打印和激光掩膜辐照的多生物启发水雾收集系统的制备方法。受大自然一些生物微结构的启发，以铜片为基底，利用3D打印技术和激光掩膜辐照技术，制备了具有特殊图案的亲疏水区域杂化表面。该图案化表面在拉普拉斯压力的作用下具有定向运输水滴的功能，能有效增强水收集效率。与原始铜片相比，带有特殊图案的亲疏水相间杂化表面的集水效率提高到136.7％。这种结合润湿性和表面图案化设计的方案有望应用于液滴操控和雾水收集等领域。
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公开(公告)号：CN116329597A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202111590384.3
申请日：2021-12-23
申请人： 东莞新科技术研究开发有限公司
发明人： 张俊群
摘要： 本发明公开了一种悬臂件的钻孔方法，包括：在待钻孔的悬臂件的表面上涂覆菲林；将掩模覆盖在悬臂件的表面，其中，所述掩模上的图形区域的大小与悬臂件表面上的通孔区域的大小相同，所述图形区域的位置与所述通孔区域的位置相对应；对所述通孔区域进行曝光和显影，以去除所述通孔区域内的菲林；将悬臂件放置在真空室内，对悬臂件的表面进行离子刻蚀，以在所述通孔区域形成通孔，其中，所述真空室内的压强为20mtorr～25mtorr，温度为20℃～25℃；去除刻蚀后的悬臂件表面的菲林。采用本发明的技术方案能够有效避免在钻孔过程中产生金属毛刺，并且有效防止悬臂件发生型变。
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公开(公告)号：CN116005161A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211676273.9
申请日：2022-12-26
申请人： 东莞市八溢自动化设备有限公司
发明人： 谈真高
摘要： 本发明涉及金属抛光技术领域一种用于钛金属等离子抛光去毛刺装置，包括抛光池、零件挂架装置、PH值调节装置、抛光液过滤装置、抛光液失效报警系统、控制系统；PH值调节装置包括检测笔及伸缩气缸，可以自动检测抛光池内的PH值，并自动抽取添加液调整抛光池内的PH值。抛光液过滤装置可以自动过滤清洁抛光液。抛光液失效报警系统是在输入抛光时间、节拍时间、抛光盐重量后，自动生成换液建议值，可以先根据建议值设定换液设定值，在自动抛光的时候累积时间和换液累积值会慢慢增加，直到大于等于换液设定值时就会提示抛光液失效。本抛光装置采用逆变电源供电。
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公开(公告)号：CN116001256A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211686336.9
申请日：2022-12-27
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明涉及一种用异型电极实现二元光学元件制作的无掩模刻蚀加工方法，解决了在传统的二元光学元件刻蚀加工过程中图形转印、套刻所面临的复杂而繁琐的加工工艺问题。传统的二元光学元件制作方法中，普遍采用多掩模版套刻、激光直写或者灰阶掩模版图形转印等方法进行元件表面轮廓的加工，其制作成本高、与掩模版相关的工艺复杂且耗时。本发明提供的采用异型电极实现二元光学元件制作的无掩模刻蚀加工方法，可以根据异型电极的台阶式浮雕结构直接对元件表面上的刻蚀速率分布进行调控，无需掩模版的使用，灵活度高，能够快速高效地对二元光学元件进行加工制作。
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公开(公告)号：CN115948733A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211630097.5
申请日：2022-12-19
申请人： 湖北工业大学
发明人： 熊剑
IPC分类号： C23C22/78 , A61L27/06 , A61L27/54 , A61L27/30 , A61L27/32 , A61L27/34 , A61L27/50 , C23C22/54 , C23C22/83 , C23C28/00 , C23F4/00 , B23K26/362
摘要： 本发明公开了一种医用钛表面可缓释银离子生物活性涂层的激光刻蚀方法，方法包括：首先，采用光纤激光器以特定功率和激光间距将医用钛片进行表面周期化处理；其次，通过水热反应在钛片表面制备二氧化钛纳米棒阵列涂层，并通过超声处理剥离附着力较差涂层；随后，采用光化学还原法在所得阵列涂层表面负载银纳米颗粒；最后，通过旋涂法在前述涂层表面沉积壳聚糖‑羟基磷灰石复合涂层，得到高度有序的表面微阵列周期结构抗菌复合涂层。所得涂层制备方法简便，结构精度高，重复性好，有利于大规模量化生产。本发明制备的涂层同时具有一维和三维结构的优点，既能诱导骨形成，又能实现银离子释放速率的精准调控，兼具抑菌与生物活性。
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公开(公告)号：CN114635105B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202210392635.5
申请日：2022-04-14
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明提供一种双织构表面太阳能选择性吸收涂层的制备方法及该涂层，包括：准备磁控溅射设备，摆放好溅射靶材、弧电源、转盘、衬底，抽真空并加热；引入高纯Ar气，设置衬底负偏压，开启弧电源，Ar在弧电源的作用下在衬底表面刻蚀出所需的织构表面；沉积多层吸收涂层：关闭弧电源，并旋转转盘使得转盘上的衬底与溅射靶材平行，打开射频电源并设置参数，同时向腔室内通入高纯Ar气、氧气，依次设置不同的O2/Ar比，溅射出溅射靶材的物质并沉积至衬底上形成梯度多层吸收涂层；沉积合金氧化物或纯金属氧化物抗反射涂层；再次通过Ar+离子束在抗反射层表面刻蚀出二次织构化形貌；完成涂层的制备。本发明制备的涂层的吸收性能和高温稳定性得到极大提升。
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