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公开(公告)号：CN103493182A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280014588.5
申请日：2012-03-23
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 穆翰莫德·E·阿尔帕伊 , 松本久 , 马克·A·昂瑞斯 , 李光宇
IPC: H01L21/301 , H01L21/28
CPC classification number: B23K26/0648 , B23K26/0622 , B23K26/0652 , B23K26/082 , B23K26/0861 , B23K26/364 , B23K2101/42 , B23K2103/42 , B23K2103/50
Abstract: 激光直接烧蚀（LDA）产生切割到介电层中的图案以形成具有受控信号传播特性的导电迹线。LDA处理包括选择用于沿着工件表面上的刻划线移除期望深度的材料的剂量通量；选择一系列激光脉冲中每个激光脉冲的时间脉冲宽度；以及选择所述一系列激光脉冲的脉冲重复频率。所述脉冲重复频率至少部分基于所选择的时间脉冲宽度，以维持沿着所述刻划线的所选择的剂量通量。所选择的脉冲重复频率提供沿着所述刻划线的激光光斑的预定的最小重叠。所述LDA过程还包括根据所选择的剂量通量、时间脉冲宽度和脉冲重复频率生成包括所述一系列激光脉冲的激光束。
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公开(公告)号：CN103415370A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201180069168.2
申请日：2011-03-10
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 张海滨
CPC classification number: B23K26/009 , B23K26/046 , B23K26/0622 , B23K26/082 , B23K26/0853 , B23K26/18 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2101/35 , B23K2103/08 , B23K2103/10 , B41M5/262
Abstract: 所揭示是一种用以在经过阳极氧化处理的样品150上建立具有预定性质的标记152的方法，以及该标记152本身。该方法包含提供具有可控制激光脉冲参数的激光标记系统10、12、14、16、18、20、22、决定与预定性质相关联的激光脉冲参数、以及导控激光标记系统10、12、14、16、18、20、22以利用所选定的激光脉冲参数标记物品18。如此制做出来的激光标记162具有范围从透明到不透明的光学密度、白色的颜色、难以与周围物品区别的纹路、以及耐久且大致完整无损的阳极氧化区160。阳极氧化区120同时也可以被染色且被选择性地脱色以产生其他颜色136、144。
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公开(公告)号：CN102066038B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN200880005473.3
申请日：2008-02-15
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC: B23K26/08 , H01L21/68 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/68785 , B23K26/02 , B23K26/082 , B23K26/083 , B23K26/0869 , B23K2101/40 , H01L21/68
Abstract: 一种分轴级台结构被实施成多级式定位系统(10)，其能够在高速与加速度下以振动方式且热稳定地运送材质。分轴设计能够解耦沿着两条位于分开、平行平面中的垂直轴线的级台运动。具有花岗石、石板、陶瓷材料或铸铁材料板片的尺寸稳定的基材(12)被用作为下方级台与上方级台的底座。刚性支撑结构允许可轴向调整的光学元件能更加快速且精确地定位于激光加工系统中。当光学组件(30)被覆盖于一个安装于多级式定位系统的样本级台(26)上方的支架结构(236、240)的坚硬空气轴承套筒(214)内时，可增进振动与热稳定性。
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公开(公告)号：CN103260811A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180059734.1
申请日：2011-12-14
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC classification number: B23K26/066 , H01S3/0064
Abstract: 减少或防止激光处理系统中的背向反射的系统和方法。一种系统包括激光源，用以产生入射激光束；激光束输出，用以将所述入射激光束沿着光束路径朝工作表面导向；和空间滤波器。所述系统还包括扩束器，用以扩大通过所述空间滤波器接收的所述入射激光束的直径；和扫描透镜，用以将所述扩大的入射激光束聚焦于工作表面上的目标位置。反射激光束从所述工作表面通过所述扫描透镜返回到所述扩束器，其减小所述反射光束的直径并增加所述反射激光束的发散角。所述空间滤波器阻止发散的反射激光束的一部分经过光圈并返回到所述激光束输出。
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公开(公告)号：CN101981687B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200980111743.3
申请日：2009-03-25
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 布莱恩·W.·拜尔德 , 凯利·J.·布鲁兰德 , 柯林特·R.·凡德吉亚森 , 马克·A.·昂瑞斯 , 布莱迪·尼尔森 , 史帝夫·史华伦杰
CPC classification number: H01S3/0007 , B23K26/042 , B23K26/0622 , B23K26/0853
Abstract: 以一激光处理一工件包含按第一脉冲重复频率产生激光脉冲。该第一脉冲重复频率提供一射束定位系统与一或更多协同射束位置补偿构件的协调的参考计时，借此相对于该工件校齐射束递送坐标。该方法也包含，按一低于该第一脉冲重复频率的第二脉冲重复频率对该等激光脉冲的一子集合进行选择性放大。该等包含在该子集合内的激光脉冲的选择是基于该第一脉冲重复频率以及自该射束定位系统所接收的位置数据。该方法进一步包含利用该一或更多协同射束位置补偿构件来调整该等射束递送坐标，借此将该等经放大激光脉冲导引至该工件上的选定目标。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101981767B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200980110447.1
申请日：2009-03-20
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC classification number: H01S3/0941 , H01S3/042 , H01S3/094076 , H01S3/10046 , H01S3/10069 , H01S3/1024 , H01S3/1068 , H01S3/117 , H01S3/1306
Abstract: 一种于不同脉冲重复频率(PRF)提供激光脉冲等化的系统及方法。在起始时将激光介质自第一激发位准激发至峰值激发位准之后，控制器依据脉冲等化激发曲线使激发源继续激发激光介质。等化激发曲线可以依据在不同PRF的激光脉冲测试参数而决定以达成脉冲参数的最佳等化效果。用以评估各种等化激发曲线的最佳化标准可以包含脉冲能量位准、峰值功率位准、和/或不同PRF下的激光脉冲宽度的一致性。等化激发曲线可以是自峰值激发位准下降至第一激发位准的下降曲线。等化激发曲线可以是线性下降曲线、大致呈指数型的下降曲线、参数式下降曲线、或任何其它曲线类型。
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公开(公告)号：CN101682165B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200880012242.5
申请日：2008-03-13
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC: H01S3/10
CPC classification number: B23K26/0648 , B23K26/034 , B23K26/0344 , B23K26/04 , B23K26/0622 , B23K26/0643 , B23K26/08 , B23K26/40 , B23K2101/40 , B23K2103/50
Abstract: 本发明提供一种预测性脉冲触发方法，其在一链处理系统中促成精确触发一激光射束(100)。该预测性脉冲触发方法需要依据目标(106)和激光射束轴(108)的经估计的相对运动参数来触发该激光射束。相较于现有完全以测量为主的方法，预测性脉冲触发方法在定位准确度方面可达到六倍的改善效果。
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公开(公告)号：CN101983330B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN200980110490.8
申请日：2009-03-23
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC: G01N21/88 , G01N21/956 , G01B11/30 , G06T7/00
CPC classification number: G01N21/8806 , G01B11/245 , G01B11/25 , G01N2021/887 , G06T7/0006 , G06T2207/10012 , G06T2207/30164
Abstract: 呈现使用结构化光线用于检测关于所制造物品的符合度与完整度的问题的经改良的方法与装置。使用自相反方向获取的两个或两个以上结构化光线影像来量测配合表面的符合度，同时避免由接缝附近的小缺陷引起的误报。
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公开(公告)号：CN101981766B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN200980111017.1
申请日：2009-03-19
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC classification number: H01S3/094 , H01S3/0606 , H01S3/10092 , H01S3/1603 , H01S3/1671
Abstract: 高功率、二极管激发固态(DPSS)脉冲激光较佳地是用于诸如微机械加工、集成电路的通孔钻孔、及紫外线(UV)转换的应用。Nd:YVO4(钒酸盐；vanadate)激光是用于高功率应用的良好的候选者，因为其特征在于宽带宽的激发波长的高能量吸收系数。然而，钒酸盐具有不良的热机械性质，其中该种材料为坚硬且当受到热应力时为容易破裂。通过最佳化激光参数且选择激发波长及掺杂增益介质(240)的浓度以控制吸收系数为小于2cm-1(诸如：在约910奈米与约920奈米之间的激发波长(241))，掺杂的钒酸盐激光(237，240)是可增强以产生如同100瓦之多的输出功率(236)而未使得晶体材料破裂，而且实现了于热透镜化的40％的降低。
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公开(公告)号：CN101496320B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200780028076.3
申请日：2007-07-25
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 布莱恩·W.·拜尔德 , 大卫·M.·海明威 , 彭晓源 , 任文升
CPC classification number: H01S3/2316 , B23K26/0622 , H01S3/0064 , H01S3/0085 , H01S3/06758 , H01S3/09408 , H01S3/0941 , H01S3/09415 , H01S3/10038 , H01S3/2333
Abstract: 本发明的激光系统实施例的优点为使用脉冲式光纤型激光源(12)输出，其时间脉冲轮廓可被程序化以采用一脉冲形状范围。脉冲式光纤激光具有尖峰功率限制，以避免发生非所希望的非线性效应；所以，该装置的激光输出功率接着会在一二极管泵激固态光功率放大器(DPSS-PA)(16)中被放大。该DPSS-PA会将一脉冲式光纤主振荡器功率放大器(14)所欲求的低尖峰功率输出放大至更高的尖峰功率位准处，并且从而还会有效地提高一指定脉冲重复频率处每道脉冲的可用能量。该脉冲式光纤主振荡器功率放大器与该二极管泵激固态功率放大器的结合便称为串接固态光放大器(10)。
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