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公开(公告)号：CN104508561B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201380040503.5
申请日：2013-09-05
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20 , B08B1/04 , H01L21/027 , H01L21/304
CPC classification number: G03F7/70925
Abstract: 得到一种曝光装置的除尘装置和除尘方法，该曝光装置的除尘装置和除尘方法使得在除尘中暂时附着于除尘辊而被去除的灰尘、污物或异物等不会再次附着到除尘对象物上。一种曝光装置的除尘装置，所述曝光装置在感光性基板上曝光出图案，其特征在于，所述曝光装置的除尘装置具有：除尘辊，其能够通过周面与所述曝光装置内的除尘对象物的除尘表面接触/分离；以及移动机构，其以在使所述除尘辊的周面与所述除尘对象物的除尘表面接触的同时使所述除尘辊旋转的方式，使所述除尘辊与除尘对象物相对移动，所述除尘辊的周长被设定为比由所述移动机构控制的、所述除尘辊的周面与所述除尘对象物的除尘表面的接触移动距离长。
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公开(公告)号：CN105676596A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201510881762.1
申请日：2015-12-03
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20
Abstract: 曝光装置，在该曝光装置中，简单且精度良好地检测或确认对焦状态。一边使载台(12)移动，一边向形成有缝隙(ST1～ST6)的遮光部(40)投影由条形图案(PL1～PL4)构成的图案列(PT)，由此从光电传感器(PD)输出光量信号。然后，基于根据光量信号求出的振幅比(M)，判断是否维持在对焦状态。
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公开(公告)号：CN105412969A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510468021.0
申请日：2015-08-03
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 提供除臭装置。本发明的目的在于获得一种使用方便的除臭装置，该除臭装置不仅能够除臭，还能够对病毒或者细菌、霉菌进行杀菌去除。该除臭装置具备：装置主体，该装置主体具有框体，在该框体的内部以能够装拆的方式支承除臭杀菌机构；吸引臂，在该吸引臂的内部具有吸引路径，并在该吸引臂的末端部具有吸引口；以及强制供气机构，其从所述吸引臂的吸引口吸引外气，并将吸引而来的外气经由所述吸引路径引导至所述除臭杀菌机构，所述除臭杀菌机构至少包含臭氧发生机构、活性炭、UV灯、光催化剂以及臭氧去除机构。
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公开(公告)号：CN105388708A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510526534.2
申请日：2015-08-25
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 中泽朗
IPC: G03F7/20
Abstract: 投影曝光装置和方法、光掩模以及基板的制造方法。在投影曝光装置中，使掩模图案高精度地对准并转印到基板的投射区域上。在中间掩模上形成与多个投射区域变形对应的掩模图案，并按照步进和重复方式，将掩模图案转印到形成有多个投射区域的基板上。按照全局对准方式，计测样本用对准标记的位置坐标，根据全局对准区域的形状误差，检测投射区域的形状误差。进而，选择具有与该形状误差对应的、即变形情况处于相同的趋势的范围形状的掩模图案。
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公开(公告)号：CN104779133A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201410803369.6
申请日：2014-12-19
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 早川壮则
IPC: H01J61/073 , H01J61/30
Abstract: 本发明提供一种放电灯，在封入有传热体的电极中，即使在灯点亮中，也能够稳定地维持电极强度。在放电灯中，通过使主体部件(32)与盖部件(36)固相接合而使阳极(30)成形，其中，主体部件(32)形成有装有传热体(M)的凹部(33)，盖部件(36)设置有与凹部(33)嵌合的突出部(46)。而且，在密闭空间(50)中，以从电极前端部朝向后端部变细的方式形成有凹部(33)，突出部表面(46S)附近的直径(DM)小于中间部的直径(DN)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104418122A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410407693.6
申请日：2014-08-19
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。输送装置将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，输送装置设置有浮动辊，浮动辊位于供给卷轴与卷取卷轴之间，随着长条状工件的输送进行升降，并对长条状工件施加张力，浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，浮动辊在随着长条状工件的输送进行升降的同时，使异物去除单元与长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对长条状工件的一个面进行清扫。
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公开(公告)号：CN104185894A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201380013424.5
申请日：2013-03-28
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H05B37/02
CPC classification number: H05B41/288 , G03F7/70016 , G03F7/7005 , G03F7/70558
Abstract: 本发明的放电灯具有：多个放电灯；照度检测部，其检测从多个放电灯照射的照明光的照度；以及照度控制部，其根据检测出的放电灯的照度，调整针对多个放电灯的输入电力，照度控制部针对多个放电灯中的、具有超过了根据基准照度值而确定的允许阈值的照度值的放电灯，以使照度朝向在允许阈值与基准照度值之间确定的鲁棒阈值而变化的方式进行电力调整。
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公开(公告)号：CN101500368B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200810183789.3
申请日：2008-12-18
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 篠木晟
CPC classification number: H05B41/24
Abstract: 本发明提供微波激励放电灯的点亮方法，使利用直流驱动的磁控管而点亮的无电极放电灯刚刚开始点亮后的异常状态不会持续，同时从稳定状态期间的异常状态迅速恢复稳定动作。使无电极放电灯(24)以软起动开始点亮。缓慢增加供给磁控管(9)的电力，使点亮状态保持比发光介质吸收微波并充分气化的时间长的时间。在该期间，使直流电源的输出周期性地短时间断开，重设异常动作状态。然后，供给稳定的直流电力。在稳定状态期间，控制使磁控管(9)的阳极动作电流恒定。在检测到放电灯(24)的动作电压上升时，使直流电源的输出短时间断开，使其恢复为稳定状态。
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公开(公告)号：CN101290859B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200810091468.0
申请日：2008-04-17
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种放电灯，其利用IC标签严密地管理放电灯的个别信息，使得能安全点亮。在封入高压气体的灯(1)的发光管(2)的中心轴上且在导电性灯头(4)的端部，隔着绝缘性帽(41)安装IC标签(40)。IC标签(40)上包覆遮蔽部(47)，以防止点亮时损害IC标签(40)或噪声进入，但能向IC标签(40)读写信息。将灯(1)输送时受到异常冲击的履历、在异常温度下保管的履历或包装箱已开封的履历等输送信息记录到IC标签(40)中。光源装置参照写入IC标签(40)中的输送信息等判断可否点亮。能够在包括保管输送中或点亮中在内的从制造阶段起直到使用后的所有过程中对放电灯的个别信息进行管理，能始终安全地点亮。
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公开(公告)号：CN101399150B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN200810213347.9
申请日：2008-08-27
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01J61/073
Abstract: 一种读取放电灯信息并管理放电灯的使用状态和使用履历等的光源装置，该光源装置保护显示部和显示读取部不受放电灯的光、热和高电压的干扰。用于保持放电灯灯头(20)的灯座(40)由被调温介质强制冷却的金属制的屏蔽体(50)构成，以屏蔽来自放电灯的光、电磁波和热。在屏蔽体内设置有用于读取显示部(30)上显示的放电灯个别信息的显示读取部(60)。当把灯头放入灯座中而保持灯时，灯头前端的显示部进入屏蔽体中。显示读取部与灯头电绝缘，因此不受在放电灯点灯开始时的较强高电压的起动脉冲等的影响。利用屏蔽体，对显示部和显示读取部屏蔽以不受放电灯点灯时的光、热和高电压的干扰，因此在整个使用期间，能够可靠地读取放电灯信息。
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