用于钟控式运行的UV辐照设备

    公开(公告)号:CN105050733A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201380067452.5

    申请日:2013-10-22

    CPC classification number: B05D3/067 F26B3/28 G02B5/208 G02B5/283

    Abstract: 本发明涉及一种辐照设备,其具有至少一个辐射源,其发出UV辐射以及W辐射,即可见光和/或IR辐射,以及具有运输设备,其用于递送要辐照的衬底,以及至少一个以45°角反射UV辐射以及传送W辐射的选择波长的滤波器,-具有用于吸收IR辐射的装置,该装置在传播方向上布置在未由选择波长的滤波器偏转的W辐射的辐射路径中排列在光学的滤波器之后,其中用于吸收IR辐射的装置也被构造为用于吸收可见光和UV辐射的装置,以及辐照设备包括移动装置,以便将选择波长的滤波器引导到辐射源的辐射路径中以及从该辐射路径中引导出该选择波长的滤波器。

    PICVD涂覆系统中的弧束位置监测和位置控制

    公开(公告)号:CN117280438A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202280015213.4

    申请日:2022-02-09

    Inventor: O·祖格尔

    Abstract: 本发明涉及一种用来稳定在阴极和阳极之间建立的等离子体束的位置和形状的方法,其中在阴极和阳极之间建立电场,并且其中阴极和阳极之间的最短电场线限定参考线,其中提供至少一个定向电磁线圈,并且该至少一个定向电磁线圈的线圈轴以与参考线非共线的方式定向,使得与线圈开口中的两个线圈开口相交并且平行于线圈轴的直线中的至少一条与参考线相交,并且其中电流被发送通过该至少一个定向电磁线圈,以便建立用于偏转或吸引等离子体束的磁场。

    选择性沉积金刚石涂层的方法
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116583622A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202180084996.7

    申请日:2021-12-14

    Abstract: 本发明涉及用于生产选择性金刚石涂覆的基材的方法,其中所述选择性金刚石涂覆的基材包含:基材(1),其具有包含硬质合金材料的表面并具有被选定进行涂覆的基材表面区域(10)和未被选定进行涂覆的基材表面区域(20);和沉积在被选定进行涂覆的所述基材表面区域(10)上的一个或多个金刚石涂层(30),其中,所述方法包括以下步骤:第一掩蔽步骤,其在实施所述一个或多个化学预处理步骤之前实施,其中在所述第一掩蔽步骤中,通过施加胶乳掩模(50)来掩蔽未被选定进行涂覆但可能在所述一个或多个化学预处理步骤的实施期间受到化学侵蚀的所述基材表面区域(20),所述胶乳掩模(50)覆盖这些区域(20)以避免这些区域(20)中的基材材料受到任何化学侵蚀;掩模移除步骤,其在实施所述一个或多个化学预处理步骤之后和在实施所述一个或多个涂覆步骤之前进行,其中完全移除所述胶乳掩模(50),第二掩蔽步骤,其在实施所述一个或多个涂覆步骤之前实施,其中在所述第二掩蔽步骤中,用一个或多个掩蔽罩(60)覆盖从其上移除所述胶乳掩模(50)并且未被选定进行涂覆但可能在所述一个或多个涂覆步骤的实施期间被一个或多个金刚石涂层(30)涂覆的所述基材表面区域(20),以避免任何金刚石涂层(30)沉积在这些区域上。

    用于执行真空辅助的涂层方法的涂层腔,隔热板以及涂层方法

    公开(公告)号:CN107406974B

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN201680016515.8

    申请日:2016-01-15

    Abstract: 本发明涉及一种用于执行真空辅助的涂层方法的涂层腔(1),尤其PVD或CVD或电弧涂层腔或混合涂层腔。涂层腔(1)包括布置在涂层腔(1)的可调温的腔壁(2)处的隔热板(3,31,32,33)以用于调整在隔热板(3,31,32,33)与可调温的腔壁(2)之间能规定量的热辐射的交换。根据本发明,隔热板(3,31,32,33)包括至少一个直接相邻于腔壁(2)的内侧(21)的可交换的辐射板(31),其中,辐射板(31)的在朝腔壁(2)的方向上指向的第一辐射面(311)具有可规定的第一热交换系数(ɛD1),且辐射板(31)的背对腔壁(2)的第二辐射面(312)具有可规定的第二热交换系数(ɛD2),其中,第一热交换系数(ɛD1)大于第二热交换系数(ɛD2)。此外,本发明涉及一种用于涂层腔的隔热板以及涂层方法。

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