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公开(公告)号：CN105027255B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201380069485.3
申请日：2013-10-29
Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 特吕巴赫
Inventor： D.伦迪
CPC classification number: H02J1/00 , C23C14/3464 , C23C14/3485 , C23C14/35 , H01J37/3444 , H01J37/3467
Abstract: 本发明涉及一种功率分配器，该功率分配器能够将DC发电机的高的功率连续地并且在不中断DC发电机的功率输出的情况下分配到多于两个的靶上。本发明此外涉及一种溅镀源，该溅镀源包括上述的功率振荡器。
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公开(公告)号：CN105027255A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201380069485.3
申请日：2013-10-29
Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 特吕巴赫
Inventor： D.伦迪
CPC classification number: H02J1/00 , C23C14/3464 , C23C14/3485 , C23C14/35 , H01J37/3444 , H01J37/3467
Abstract: 本发明涉及一种功率分配器，该功率分配器能够将DC发电机的高的功率连续地并且在不中断DC发电机的功率输出的情况下分配到多于两个的靶上。本发明此外涉及一种溅镀源，该溅镀源包括上述的功率振荡器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103765551B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201280043726.2
申请日：2012-08-29
Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 普费菲孔
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H05H1/24 , H01J27/022 , H01J37/32045 , H01J37/32064
Abstract: 本发明涉及一种等离子体源，所述等离子体源以漂游的方式布置在真空室处，其中，所述等离子体源包括源壳体并且在所述源壳体中设置有与所述源壳体绝缘地布置的细丝，其中，设置有用于测量源壳体与细丝之间的电位降的装置。所测量的电位降可以用于调节对细丝加热的电压。根据本发明设置相应的装置。
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公开(公告)号：CN103608893B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201280030387.4
申请日：2012-04-04
Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 普费菲孔
CPC classification number: C23C14/3485 , C23C14/3407 , C23C14/3492 , C23C14/352 , H01J37/3467
Abstract: 本发明涉及一种用于为PVD溅射阴极提供功率脉冲的方法，所述溅射阴极被细分为部分阴极，其中在所述部分阴极处有效的功率脉冲间隔被选择为使得其重叠，由此实现从提供功率的发生器的功率提取不必中断。
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公开(公告)号：CN103765551A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280043726.2
申请日：2012-08-29
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H05H1/24 , H01J27/022 , H01J37/32045 , H01J37/32064
Abstract: 本发明涉及一种等离子体源，所述等离子体源以漂游的方式布置在真空室处，其中，所述等离子体源包括源壳体并且在所述源壳体中设置有与所述源壳体绝缘地布置的细丝，其中，设置有用于测量源壳体与细丝之间的电位降的装置。所测量的电位降可以用于调节对细丝加热的电压。根据本发明设置相应的装置。
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公开(公告)号：CN104201082A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410309313.5
申请日：2006-03-01
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , F01D5/288 , F05D2230/313 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及运行脉冲式电弧源的方法。公开了一种用于沉积绝缘层的电弧方法以及用于低温涂层的电弧方法，其中引起或运行在电弧源的靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电。此外本发明还涉及一种电弧源，其中靶与供电单元连接，该供电单元或者是至少一个第一脉冲式高电流电源18，18’以及另一个电源13’，18”，或者是用开关网络分配技术实施的电源21，21’，22。
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公开(公告)号：CN103608893A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201280030387.4
申请日：2012-04-04
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C14/3485 , C23C14/3407 , C23C14/3492 , C23C14/352 , H01J37/3467
Abstract: 本发明涉及一种用于为PVD溅射阴极提供功率脉冲的方法，所述溅射阴极被细分为部分阴极，其中在所述部分阴极处有效的功率脉冲间隔被选择为使得其重叠，由此实现从提供功率的发生器的功率提取不必中断。
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