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公开(公告)号：CN104662475B
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201380049169.X
申请日：2013-09-11
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物经250℃以下的低温烧成，可以获得低翘曲、且高灵敏度和高分辨率的优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有(a)具有通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂、和(b)醌二叠氮感光剂，所述具有通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂的酰亚胺化率为85％以上，并且，通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的比为30：70～90：10。(通式(1)中，X1表示具有1～4个芳香族环的四羧酸残基，Y1表示具有1～4个芳香族环的芳香族二胺残基。通式(2)中，X2表示具有1～4个芳香族环的四羧酸残基，Y2表示在主链上至少具有2个以上的亚烷基二醇单元的二胺残基。)
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公开(公告)号：CN108027557A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052638.7
申请日：2016-09-20
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0387 , C08G69/02 , C08G69/40 , G03F7/0226 , G03F7/023 , G03F7/0233 , G03F7/16 , G03F7/161 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L23/293 , H01L23/3192 , H01L23/562 , H01L24/02 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L2224/02331 , H01L2224/024 , H01L2224/03462 , H01L2224/03515 , H01L2224/0362 , H01L2224/0401 , H01L2224/05008 , H01L2224/13022 , H01L2224/13024 , H01L2224/13026 , H01L2224/131 , H01L2924/0695 , H01L2924/3511 , H01L2924/014
Abstract: 本发明提供高伸长性、低应力性、金属铜高密合性的固化膜。本发明的固化膜是将感光性树脂组合物固化而得到的固化膜，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有聚羟基酰胺，所述固化膜中的所述聚羟基酰胺的闭环率为10％以下。
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公开(公告)号：CN104641291B
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201280075939.3
申请日：2012-09-24
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物，其含有(a)碱溶性聚酰亚胺、(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物、和(c)光酸产生剂，并且相对于100重量份的(a)碱溶性聚酰亚胺，(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物的含量为5～50重量份。本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其在200℃以下的低温加热处理时，可以获得低翘曲、并且不产生由回流导致的图案掩埋、高分辨率的固化膜。
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公开(公告)号：CN107407876A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013754.8
申请日：2016-02-29
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供一种树脂，所述树脂用于感光性树脂组合物时具有高伸长率、低应力性、高敏感度、高残膜率。本发明为一种感光性树脂组合物，其含有树脂，所述树脂的特征在于，具有通式(1)及/或(2)表示的结构，并且，(a)含有10～80摩尔％具有脂环结构的碳原子数为4～40的有机基团作为通式(1)及(2)的R1，(b)含有10～80摩尔％具有聚醚结构的碳原子数为20～100的有机基团作为通式(1)及(2)的R2。(通式(1)及(2)中，R1表示具有单环式或稠合多环式的脂环结构的碳原子数为4～40的四价有机基团。R2表示具有聚醚结构的碳原子数为20～100的二价有机基团。R3表示氢或碳原子数为1～20的有机基团。n1、n2各自表示10～100,000的范围，p、q表示满足0≤p+q≤6的整数。)
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107407869A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680012940.X
申请日：2016-02-09
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物，其含有碱溶性树脂和感光剂，所述碱溶性树脂为选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及从它们中选择的2种以上的聚合物的共聚物中的1种以上，所述感光性树脂组合物还含有下述通式(1)表示的化合物。本发明提供感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物即使在低温下烧成时，得到的固化膜与金属材料(特别是铜)的密合性也优异，且呈现高耐化学药品性。
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公开(公告)号：CN109906217B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201780068576.3
申请日：2017-08-28
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C07C237/04 , C07C235/24 , C08G69/26 , C08G73/08 , C08G73/10 , H01L21/336 , H01L23/12 , H01L23/29 , H01L23/31 , H01L27/32 , H01L29/786 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 本发明涉及新型二胺化合物、以及使用其的耐热性树脂及使用所述耐热性树脂的树脂组合物，通过本发明，即使为200℃以下的低温的加热处理，也能够得到耐化学药品性和膜特性优异的固化膜。该新型二胺由下述通式(1)表示。本发明的耐热性树脂或树脂组合物能够合适地用于半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜、有机场致发光元件(有机EL)的绝缘层、平坦层等。
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公开(公告)号：CN109153841B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201780031559.2
申请日：2017-05-22
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供即使为低温条件下的加热处理、也能够得到具有耐化学药品性、低应力性、高伸长率性的固化膜的树脂组合物。树脂组合物，其特征在于，含有(a)碱溶性树脂，所述(a)碱溶性树脂包含具有交联性基团的酚骨架和不具有交联性基团的酚骨架，并且重均分子量在1,000～50,000的范围内，其中，在上述具有交联性基团的酚骨架和上述不具有交联性基团的酚骨架的结构单元的合计100摩尔％中，上述具有交联性基团的酚骨架所占的含有比率在5～90摩尔％的范围内。
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公开(公告)号：CN109642028B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201780053902.3
申请日：2017-08-30
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08G73/14 , C08G69/26 , C08G73/06 , C08G73/10 , C08J5/18 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/16 , G03F7/40
Abstract: 树脂组合物，其特征在于，含有(a)树脂、(b)抗氧化剂、(d)交联剂，其中，上述(a)树脂包含选自聚酰亚胺前体、聚酰胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、及它们的共聚物中的一种以上的树脂，上述(d)交联剂是在一分子中具有酚式羟基、并且在上述酚式羟基的两个邻位具有分子量为40以上的取代基的交联剂。提供树脂组合物，其可得到微细图案，且能够实现250℃以下的低温固化，同时可得到图案的面内均匀性优异、在可靠性评价(即实际使用的加速试验)后也具有高伸长率及与金属布线的高密合性的图案固化膜。
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公开(公告)号：CN109563342B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201780047630.6
申请日：2017-09-25
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 树脂组合物，其包含(A)选自聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体、其他聚酰胺、及它们的共聚物中的一种以上的树脂、(D)环氧基数为3以上的热交联剂，所述树脂组合物还包含(E)分子量为60以上且1000以下的具有叔酰胺结构的化合物。提供下述树脂组合物：其保存稳定性、放置稳定性优异，能够利用低温下的加热处理而固化，并且能够得到耐化学药品性高的固化膜，此外，能够抑制应用该固化膜的器件在可靠性试验后器件特性的降低。
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