公开(公告)号：CN101874209A

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN200880117774.5

申请日：2008-11-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 熊谷泰德 ,  小松茂和

IPC: G01R31/26 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R31/2893 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T156/1056

Abstract: 本发明提供检查用保持部件及检查用保持部件的制造方法。该检查用保持部件，具有能够载置形成有元器件的芯片的、由硅或玻璃形成的基台。在基台的表面，形成有由抗蚀剂片组成的定位部件。在基台的背面形成有抗蚀剂膜，在抗蚀剂膜形成有吸引槽(交叉部，连结部)以及支柱部件。在基台表面的载置有芯片的区域形成有吸引孔，吸引孔贯通基台而与吸引槽连通。

公开(公告)号：CN100442068C

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200480016119.2

申请日：2004-06-08

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  须贺唯知 ,  伊藤寿浩

Inventor： 须贺唯知 ,  伊藤寿浩 ,  小松茂和 ,  片冈宪一

IPC: G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07357 ,  G01R31/2887

Abstract: 本发明使形成在载物台(11)的承载面(11C)上的至少一对第三电极对(17)与形成在被测体的第一表面(31)上的导电层(Q)相接触，从而在两者之间利用熔融现象形成电路。

公开(公告)号：CN100395877C

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN200480002416.1

申请日：2004-01-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小松茂和 ,  百留孝宪 ,  茶谷博美 ,  林尚久 ,  茂野幸英

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R31/2887

Abstract: 本发明提供一种对晶片状基板(W)上形成的被检查体的电特性进行检查的、具备控制位置测量机构的探针装置(100)，该探针装置包括：探测器室(29)；在该探测器室内配置、用于载置被检查体的载置台(6)；使该载置台在X、Y、Z以及θ方向移动的移动机构(16)；具有多只探针(26)、与该载置台相对配置的探针板(14)；和第一光学测距仪(4a，4b)，该第一光学测距仪使光照射到在该载置台上载置的被检查体表面，根据其反射光测量被检查体在Z轴方向的位置，此外，可以具备第二光学测距仪(5a，5b)。

公开(公告)号：CN1726398A

公开(公告)日：2006-01-25

申请号：CN200380106057.X

申请日：2003-12-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 篠崎大 ,  小松茂和

IPC: G01R31/28

CPC classification number: G01R31/2886 ,  G01R31/2898 ,  G01R31/3161 ,  G01R31/31926

Abstract: 本发明的检验方法从测试器(20)的多个驱动器(21)经由与各测试器(20)连接的第一、第二探针(11A、11B)对中的一个第一探针(11A)向各电极(P)施加烧结用的电压。