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公开(公告)号：CN103268850B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201310159613.5
申请日：2013-05-03
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/317 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种太阳能电池片离子注入机，包括真空片库，还包括将电池片在标准片盒与真空片库之间循环输送的传片装置，该传片装置包括用于放置满载标准片盒和空载标准片盒的标准片盒传递机构、用于放置多片电池片的上料缓存片电梯和下料缓存片电梯、用于将标准片盒传递机构中满载标准片盒内的电池片输送至上料缓存片电梯内的上料输送带和将下料缓存片电梯内的电池片输送至标准片盒传递机构中空载标准片盒内的下料输送带，本发明为一种太阳能电池片离子注入机，通过设置传片装置，能独立完成电池片在标准片盒与真空片库间的自动传递，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN104157540A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410382427.2
申请日：2014-08-06
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/317 , H01J37/30
Abstract: 本发明公开了一种SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置，包括地电位区配电柜和高压区配电柜；所述地电位区配电柜将市电送入电动机；所述电动机的输出轴与绝缘传动轴一端的法兰连接，所述绝缘传动轴另一端的法兰与发电机的输入轴连接；所述发电机的电能通过高压区配电柜输送至高压区需电部件。本发明通过两次能量形式转化做到高压隔离输电，装置结构简单，能节省该种SiC高温高能离子注入机的制造成本，缩小设备体积，且节省了后期维护费用。
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公开(公告)号：CN103715048A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310685659.0
申请日：2013-12-16
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/244 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开了一种离子注入机竖直方向离子束角度测控系统及测量方法，测控系统包括法拉第筒，所述法拉第筒与固定杆一端固定连接，所述固定杆另一端与一根垂直于所述固定杆的连接杆固定连接，所述连接杆与能带动所述连接杆轴向转动的传动装置连接；所述传动装置与驱动电机的输出轴连接；所述固定杆与连接杆连接处安装有用于测量所述固定杆与水平面夹角的旋转编码器；所述驱动电机、旋转编码器均与运动控制器电连接；所述运动控制器通过束流实时测量控制器与所述法拉第筒电连接。本发明的测控系统结构简单，测量可靠；本发明的方法能精确检测离子注入机的离子束在竖直面的束角度，从而保证注入工件的离子束注入角度精确可测可控。
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公开(公告)号：CN102719805A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210118106.2
申请日：2012-04-21
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种用于PECVD设备的炉门机构，为了解决石英管的密封问题，本发明包括两个双作用气缸，一个底座，一连杆，一个炉门法兰，两个导轨。其中两个双作用气缸实现炉门法兰的开关运动，并且通过炉门法兰和连杆之间的挠性连接来实现简单可靠的真空密封，从而确保设备真空良好和设备的可靠性。
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公开(公告)号：CN111199859B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201811381277.8
申请日：2018-11-20
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种扫描宽带离子束注入机，包括旋转靶盘以及用于形成扫描宽带离子束的扫描宽带离子束形成组件，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，扫描宽带离子束形成组件形成的扫描宽带离子束的宽度为a、所述环形注入区域的半径为b，则a≥b。本发明具有能够降低在大剂量注入、高产能的应用场景下的晶片表面的温升，满足一些对温度敏感的特殊材料的注入工艺要求的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111128650B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201811276370.2
申请日：2018-10-30
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/08 , H01J37/24 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种直热式固体金属离子源，包括离子源弧室、灯丝部件和含铝部件，灯丝部件包括灯丝端面、螺旋侧面和导电部，灯丝端面由单根灯丝径向盘旋形成，螺旋侧面由单根灯丝轴向螺旋形成，导电部与灯丝端面和螺旋侧面连接，含铝部件包括相互连接的第一环体和第二环体，离子源弧室一端具有安装孔，第二环体装于安装孔内，第一环体伸入离子源弧室内，灯丝端面和螺旋侧面设于第一环体内，导电部穿出第二环体位于离子源弧室外。本发明简化了离子源本身和其外围配电的结果，提高了离子源运行的可靠性，同时Al离子源的寿命有较大程度的提升。
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公开(公告)号：CN111118597B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201811287220.1
申请日：2018-10-31
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: C30B19/06
Abstract: 本发明公开了一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括舟底座、设于舟底座内的舟滑块、以及与舟底座相连的舟盖板，所述舟底座底部于左右两侧设有供机械手取放的取放部，两所述取放部之间设有支撑部，所述支撑部下方设有舟托板，所述舟托板顶部设有下凹槽，所述支撑部底部设有上凹槽，所述下凹槽与所述上凹槽配合形成内控热耦放置孔。本发明具有结构简单、使用方便、避免对拉杆和内控热耦反复操作、有利于降低内控热耦和拉杆损坏风险等优点。
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公开(公告)号：CN111118597A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201811287220.1
申请日：2018-10-31
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: C30B19/06
Abstract: 本发明公开了一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括舟底座、设于舟底座内的舟滑块、以及与舟底座相连的舟盖板，所述舟底座底部于左右两侧设有供机械手取放的取放部，两所述取放部之间设有支撑部，所述支撑部下方设有舟托板，所述舟托板顶部设有下凹槽，所述支撑部底部设有上凹槽，所述下凹槽与所述上凹槽配合形成内控热耦放置孔。本发明具有结构简单、使用方便、避免对拉杆和内控热耦反复操作、有利于降低内控热耦和拉杆损坏风险等优点。
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公开(公告)号：CN107513761B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201710537755.9
申请日：2017-07-04
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
Abstract: 本发明公开了一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔、以及用于密封锁腔的外门和内门，所述锁腔内设有滑轨以及用于承载石墨舟的托盘，所述滑轨位于所述外门和内门之间，所述托盘通过一滑块装设于所述滑轨上，所述锁腔上设有用于驱动所述滑轨的驱动机构。一种石墨舟进出上述负载锁的方法，包括以下步骤：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；关闭外门，将锁腔内抽真空；达到设计指标要求后，打开内门，驱动机构带动滑轨向内门移动，滑轨带动滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。本发明具有自动化程度高、操作便利、效率高、不影响石墨舟使用寿命等优点。
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公开(公告)号：CN109872938A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201711269543.3
申请日：2017-12-05
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/317 , H01J37/09
Abstract: 本发明公开了一种适用于微纳器件制造的离子注入机，包括依次相连的离子源、质量分析器、束流聚焦电透镜系统、束流静电扫描系统及载片腔室，还包括用于调节束斑形状和和束流大小的光阑组件、以及用于点注入的点注入掩膜板，所述光阑组件包括设于离子源和质量分析器之间的可调光阑、设于质量分析器和束流聚焦电透镜系统之间的限束光阑以及设于束流静电扫描系统和载片腔室之间的终端注入光阑，所述点注入掩膜板位于载片腔室内，所述终端注入光阑和所述点注入掩膜板上开设点注入微孔。本发明具有可简化工艺过程，能够实现微米级的低剂量、高精度注入等优点。
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