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公开(公告)号：CN110879435B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201911124487.3
申请日：2019-11-18
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明公开了一种以硒化锌晶体为基底的中长波红外宽光谱分色片，该分色片入射面即分色面的主膜系采用长波通滤光片式的膜系结构，以锗和硫化锌为高低折射率材料。使用双反射堆实现宽带反射，在主膜系两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层后提升透射波段透过率并压缩通带波纹；背面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射波段的高透过率。分色片在制备过程中采用了合适的沉积温度、沉积速率以及离子辅助沉积等特定工艺。光束45°角倾斜入射下，该分色片能实现对4.6～7.7μm宽波段内高反射，8.1～15.5μm宽波段内高透射。本发明的分色片性能稳定、可靠性好，适合于大气辐射超光谱探测技术中红外成像系统中的光谱分光使用。
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公开(公告)号：CN112162340A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010965503.8
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片，该分色片入射面采用长波通滤光片的膜系结构形式，实现短波红外反射，中长波红外透射的光谱分光功能，膜系采用锗和硫化锌作为高低折射率材料。通过使用双反射堆来实现多通道宽带反射，反射堆两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层压缩透射通道波纹；出射面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射通道高透射率。分色片在制备过程中采用合适的沉积速率、沉积温度与离子辅助沉积等工艺。该分色片能实现在1.29μm～1.38μm、1.58μm～1.83μm、1.95μm～2.32μm三个通道内高反射，3.70μm～12.50μm内多个通道高透射。本发明的分色片可靠性好、光学及物理性能稳定。
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公开(公告)号：CN110879435A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911124487.3
申请日：2019-11-18
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明公开了一种以硒化锌晶体为基底的中长波红外宽光谱分色片，该分色片入射面即分色面的主膜系采用长波通滤光片式的膜系结构，以锗和硫化锌为高低折射率材料。使用双反射堆实现宽带反射，在主膜系两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层后提升透射波段透过率并压缩通带波纹；背面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射波段的高透过率。分色片在制备过程中采用了合适的沉积温度、沉积速率以及离子辅助沉积等特定工艺。光束45°角倾斜入射下，该分色片能实现对4.6～7.7μm宽波段内高反射，8.1～15.5μm宽波段内高透射。本发明的分色片性能稳定、可靠性好，适合于大气辐射超光谱探测技术中红外成像系统中的光谱分光使用。
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公开(公告)号：CN106443853A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201611055641.2
申请日：2016-11-25
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/20
Abstract: 本发明公开了一种可见光近红外透射中长波红外反射的宽光谱分色片。该分色片由光学基片及基片一侧依次镀制的匹配膜层、诱导透射膜层构成。该分色片通过在基片与诱导透射膜层之间增加匹配膜层，来展宽分色片通带的宽度以及提高光谱过渡区的陡度。匹配膜层为多层非规整介质膜系结构，诱导透射膜层为两层介质膜之间加金属膜的组合结构。本发明分色片具有可见光近红外波段通带宽，中长波红外波段反射率高，光谱过渡区陡度大等特点。
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公开(公告)号：CN118210093A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410296985.0
申请日：2024-03-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于全介质薄膜的可见红外超宽光谱分色片，以反短透长的方式进行分光。分色片以硒化锌晶体为基底，在其一个表面设计分色膜，以硒化锌和氟化镱、硫化锌和氟化镱作为高、低折射率介质组合成不同反射堆，用五个反射堆能实现宽带反射，优化匹配层提升近红外至长波红外的透射率。为满足空间可靠性要求，膜系设计时限制了反射堆周期数，在满足光学性能时尽量减小膜层厚度。在合适的沉积温度、沉积速率和离子辅助沉积等条件下制备分色片。根据实测反射率与透射率曲线，在0.4μm～1.06μm波段实现了高反射，1.24～13.5μm多个波段实现了高透射。本发明的分色片通过了附着力、温湿度、温度交变、浸泡等环境试验，适用于多通道成像系统中光谱分光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106443840A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201611055862.X
申请日：2016-11-25
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于紫外固化的透紫外隔热膜。以Ta2O5和SiO2为高低折射率材料，采用后截止的膜系结构且以不同中心波长的膜堆叠加和交替折射率膜系设计方法展宽反射带带宽，同时通过匹配层优化获得满足要求的设计结果。该透紫外隔热膜在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺。该透紫外隔热膜能够实现紫外波段320-395nm高透射，同时在近红外波段1000-1500nm高反射。本发明透紫外隔热膜性能稳定，适用于紫外固化系统的光谱与能量调控从而降低其工作区温度。
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公开(公告)号：CN207965381U
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201820155328.4
申请日：2018-01-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本专利公开了一种大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的高精密装配系统，该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成，采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F-P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定，腔长调节分辨率可以达到10nm量级，腔内两反射镜面间平行度可以达到10-1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高，平行度调节能力强，能够确保大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的F-P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210270237U
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201921071037.8
申请日：2019-07-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/08 , G02B1/10 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/30 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
Abstract: 本专利公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体，功能设计上，银膜高效反射可见红外波段，长波通介质反射膜反射紫外波段，同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合，常温蒸镀技术保持银膜光学性能，原子层沉积技术镀制无针孔致密膜，对银膜形成有效保护。本专利的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度，适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206281994U
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201621276550.7
申请日：2016-11-25
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/20
Abstract: 本专利公开了一种可见光近红外透射中长波红外反射的宽光谱分色片。该分色片由光学基片及基片一侧依次镀制的匹配膜层、诱导透射膜层构成。该分色片通过在基片与诱导透射膜层之间增加匹配膜层，来展宽分色片通带的宽度以及提高光谱过渡区的陡度。匹配膜层为多层非规整介质膜系结构，诱导透射膜层为两层介质膜之间加金属膜的组合结构。本专利分色片具有可见光近红外波段通带宽，中长波红外波段反射率高，光谱过渡区陡度大等特点。
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公开(公告)号：CN206146527U
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201621119739.5
申请日：2016-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/04
Abstract: 本专利公开了一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝，该狭缝通过在蓝宝石片基底的入射面先镀制一层亚微米级厚的镍铬合金消光膜层形成狭缝图形，然后再分别在入射面和出射面镀制相应波段的增透膜。该狭缝可以使得在0.95～2.50微米光谱区间，透明狭缝区域的光谱透过率大于97％,不透明区域的光谱平均透过率低于0.1％。该狭缝宽度和形状可调，线性精度可达1微米。狭缝厚度仅为200～300纳米，可有效去除杂散光，狭缝结构简洁，定位精度高。该狭缝可应用于短波红外成像光谱仪等短波红外仪器中。
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