公开(公告)号：CN105900013A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201480072319.3

申请日：2014-12-11

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 高桥孝太郎 ,  土村智孝 ,  山口修平 ,  横川夏海 ,  望月英宏

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明提供一种感活性光线性或感放射线性树脂组合物，该组合物为含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂(A)、以及分子内合计具有2个以上的羟基甲基或烷氧基甲基的交联剂(C)的感活性光线性或感放射线性树脂组合物，其中，相对于包含交联剂(C1)的交联剂(C)的总量，以60摩尔％～100摩尔％的比例含有分子量为420以上且分子内合计具有2～4个羟基甲基或烷氧基甲基的交联剂(C1)，且相对于感活性光线性或感放射线性树脂组合物中的固体成分1g，交联剂(C)所具有的羟基甲基或烷氧基甲基的合计的浓度0.30mmol/g以上。

公开(公告)号：CN102741748A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201180007857.0

申请日：2011-12-22

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 松田知树 ,  涩谷明规 ,  德川叶子 ,  山口修平 ,  藤田光宏

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C381/12 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供一种光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物，其具有优异的灵敏度、粗糙度特性和曝光宽容度，以及一种使用其形成图案的方法。所述组合物包含(A)当与酸作用时分解从而增加其在碱性显影剂中溶解度的树脂，以及(B)当曝光于光化射线或辐射时分解从而产生酸的化合物，所述化合物为下述通式(1-1)的任何化合物。

公开(公告)号：CN102483569A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080038279.2

申请日：2010-08-27

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 片冈祥平 ,  涩谷明规 ,  山口修平 ,  留场恒光

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0758 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2041

Abstract: 根据一个实施方案，光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物包含：下面通式(I)的化合物中的任意一个，当暴露于光化射线或辐射时生成酸的化合物以及疏水树脂。(通式(I)中所使用的符号具有说明书中所提到的含义)。RN-A-X+ (I)。