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公开(公告)号:CN1855711A
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:CN200610078162.2
申请日:2006-04-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/0428 , H03H2003/0457
Abstract: 压电薄膜谐振器和具有其的滤波器。压电薄膜谐振器包括置于基板上的下电极、置于下电极上的压电薄膜,以及置于压电薄膜上的上电极。由其中上电极和下电极相互交叠以把压电薄膜夹在其间的区域来限定一隔膜区域,并且该隔膜区域具有椭圆形状,并且,下电极还被设置到其中未设有上电极的引出电极和下电极的引出电极的区域中的隔膜区域的外侧。
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公开(公告)号:CN1767380A
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200510117007.2
申请日:2005-10-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02149 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/0428
Abstract: 压电薄膜谐振器及使用该压电薄膜谐振器的滤波器。一种压电薄膜谐振器,其包括:基板;形成在该基板上的下电极;形成在该下电极和基板上的压电薄膜;以及形成在该压电薄膜上的上电极,该压电薄膜部分地插入在彼此相对的下电极和上电极之间。在这种压电薄膜谐振器中,插入在该上电极和下电极之间的压电薄膜的外部周边的至少一部分与由彼此相对的上电极和下电极形成的区域的外部周边相交叠。
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公开(公告)号:CN1716768A
公开(公告)日:2006-01-04
申请号:CN200510076089.0
申请日:2005-05-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器,其包括:器件基板;以及层状体,设置在所述器件基板上,并由下电极、上电极,以及夹在该上电极和下电极之间的压电膜构成。该层状体具有膜部分,其中所述上电极通过所述压电膜与所述下电极彼此重叠,在所述器件基板和所述下电极之间形成穹顶形的间隙,并且该间隙位于该膜部分的下方。
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公开(公告)号:CN1677852A
公开(公告)日:2005-10-05
申请号:CN200510063776.9
申请日:2005-03-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/02094 , H03H9/02149 , H03H9/174 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023 , H03H2003/0428
Abstract: 谐振器、滤波器以及谐振器的制造。该谐振器包括:设置在基板主表面上的压电薄膜;设置在压电薄膜的第一表面上的第一电极膜;设置在压电薄膜第二表面上的第二电极膜;设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜其中之一上的频率调整膜;所述频率调整膜包括膜叠层,该膜叠层包括设置在第一电极膜和第二电极膜其中之一上的第一调整膜,以及设置在第一调整膜上的第二调整膜。第一调整膜用于Δf调整,第二调整膜用于校正滤波器制造工艺中生成的频率偏移。由此,可以准确地控制其中连接有多个谐振器的滤波器的中心频率。
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公开(公告)号:CN1968012B
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200610146539.3
申请日:2006-11-15
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/706 , H03H9/0571 , H03H9/0576 , H03H9/72 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种双工器。该双工器包括:发送滤波器,其为梯型滤波器,连接在公共端子和发送端子之间;和接收滤波器,其为梯型滤波器,连接在所述公共端子和接收端子之间。所述发送滤波器中的一个或更多个并联谐振器通过发送电感接地,并且所述接收滤波器中的多个并联谐振器的一部分通过第一接收电感接地,而所述多个并联谐振器的其余部分通过第二接收电感接地。
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公开(公告)号:CN101795118A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN200910174902.6
申请日:2009-10-29
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H03H7/075 , H03H7/42 , H03H7/01 , H03K19/0175
CPC classification number: H03H9/0028 , H03H7/42 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种高频器件、滤波器、双工器、通信模块和通信设备。在高频器件中,起电容器作用的谐振器(IDT电容器)被包含在滤波器或双工器中包含的集总常数平衡-不平衡转换器中,并且,IDT电容器的谐振频率被设置成高于滤波器的通带频率。这改善了电容器Q值,从而能够实现低损耗的平衡滤波器。
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公开(公告)号:CN101064500B
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200710107701.5
申请日:2007-04-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种滤波器和双工器,该滤波器包括:压电薄膜谐振器,所述压电薄膜谐振器具有基板、由所述基板支承的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜、以及设在所述压电膜上的上部电极。所述压电薄膜谐振器中的至少一个压电薄膜谐振器具有其中所述上部电极隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。上述部分的形状与其他压电薄膜谐振器的相应部分的形状不同,从而所述压电薄膜谐振器中的上述至少一个压电薄膜谐振器中的寄生成分在与所述其他压电薄膜谐振器中出现寄生成分的频率不同的频率处出现。
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公开(公告)号:CN100576734C
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200610137474.6
申请日:2006-10-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供了压电薄膜谐振器及滤波器。该压电薄膜谐振器包括构建于基板上的下电极,在该下电极和基板之间限定了圆形穹状空腔;设置于下电极之上的压电膜,以及设置于压电膜上的上电极。隔膜区域是下电极和上电极隔着压电膜的交叠区域,空腔在所述基板上的投影区域包含了该隔膜区域。
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公开(公告)号:CN100557969C
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN200710107742.4
申请日:2007-04-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种压电薄膜谐振器和采用该压电薄膜谐振器的滤波器。该压电薄膜谐振器包括基板、设在所述基板上的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜以及上部电极,该上部电极设在所述压电膜上,以便具有隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。所述压电膜在谐振部分中的外端比其中所述上部电极和所述下部隔着所述压电膜彼此交叠的相对区域的外端更靠内,并且所述谐振部分是其中所述上部电极和所述下部电极隔着所述压电膜彼此交叠的部分。
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公开(公告)号:CN101527551A
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200910117841.X
申请日:2009-03-06
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H9/02133 , H03H9/173
Abstract: 本发明公开了压电薄膜谐振器、滤波器和通信设备。一种压电薄膜谐振器包括基板、形成在基板上的下电极、形成在基板和下电极上的压电膜以及形成在压电膜上并且与下电极相对的上电极。上电极具有主体部份和连接到该主体部份的扩展部份,该主体部份与下电极以及被布置在基板和下电极之间的开孔相对,该扩展部份具有与该开孔和基板相对的部份。
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