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公开(公告)号：CN102447452A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110020466.4
申请日：2011-01-07
申请人： 立积电子股份有限公司
CPC分类号： H03H9/02228 , H03H3/04 , H03H9/132 , H03H9/584 , H03H2003/0457 , Y10T29/42
摘要： 本发明公开了一种体声波共振组件，其包括一基底、堆栈于基底上的两电极，以及设置于两电极之间的至少一压电层。两电极与压电层在一垂直投影方向上至少部分重叠，且两电极之一具有多个开口。本发明还公开了体声波滤波器及其方法。
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公开(公告)号：CN1855711B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200610078162.2
申请日：2006-04-28
申请人： 太阳诱电株式会社
CPC分类号： H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/0428 , H03H2003/0457
摘要： 压电薄膜谐振器和具有其的滤波器。压电薄膜谐振器包括置于基板上的下电极、置于下电极上的压电薄膜，以及置于压电薄膜上的上电极。由其中上电极和下电极相互交叠以把压电薄膜夹在其间的区域来限定一隔膜区域，并且该隔膜区域具有椭圆形状，并且，下电极还被设置到其中未设有上电极的引出电极和下电极的引出电极的区域中的隔膜区域的外侧。
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公开(公告)号：CN102265514B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN200980152643.5
申请日：2009-12-24
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H01L41/332 , B01D2325/02 , C23C8/40 , C23C12/00 , H01L23/3731 , H01L23/3732 , H01L23/3733 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L41/23 , H01L41/25 , H01L41/29 , H01L41/33 , H01L2924/0002 , H03H3/02 , H03H9/0547 , H03H9/0552 , H03H9/1035 , H03H9/19 , H03H2003/045 , H03H2003/0457 , Y10T29/42 , H01L2924/00
摘要： 在压电振动设备中，设有形成激励电极的压电振动板和将所述激励电极进行气密密封的上盖构件及下盖构件，在所述压电振动板的表背主面具有所述上盖构件及所述下盖构件的各接合区域，在所述上盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域，在所述下盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域。在所述压电振动板的接合区域、所述上盖构件的接合区域及所述下盖构件的接合区域中分别形成有接合材料。所述压电振动板的接合区域和所述上盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合，所述压电振动板的接合区域和所述下盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合。另外，所述压电振动板的接合区域的基体、所述上盖构件的接合区域的基体及所述下盖构件的接合区域的基体中的至少一个被面粗化。
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公开(公告)号：CN1205742C
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN01802166.2
申请日：2001-05-23
申请人： TDK株式会社
CPC分类号： H03H9/02094 , H03H3/04 , H03H9/605 , H03H2003/0435 , H03H2003/0457
摘要： 电气滤波器具有包括串联和并联排列的作业区域(L)不同的电极(24，25)和厚度(T)不同的压电层(23)的多个薄膜体波谐振器(10，11)。
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公开(公告)号：CN102447452B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201110020466.4
申请日：2011-01-07
申请人： 立积电子股份有限公司
CPC分类号： H03H9/02228 , H03H3/04 , H03H9/132 , H03H9/584 , H03H2003/0457 , Y10T29/42
摘要： 本发明公开了一种体声波共振组件，其包括一基底、堆栈于基底上的两电极，以及设置于两电极之间的至少一压电层。两电极与压电层在一垂直投影方向上至少部分重叠，且两电极之一具有多个开口。
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公开(公告)号：CN102265514A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152643.5
申请日：2009-12-24
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H01L41/332 , B01D2325/02 , C23C8/40 , C23C12/00 , H01L23/3731 , H01L23/3732 , H01L23/3733 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L41/23 , H01L41/25 , H01L41/29 , H01L41/33 , H01L2924/0002 , H03H3/02 , H03H9/0547 , H03H9/0552 , H03H9/1035 , H03H9/19 , H03H2003/045 , H03H2003/0457 , Y10T29/42 , H01L2924/00
摘要： 在压电振动设备中，设有形成激励电极的压电振动板和将所述激励电极进行气密密封的上盖构件及下盖构件，在所述压电振动板的表背主面具有所述上盖构件及所述下盖构件的各接合区域，在所述上盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域，在所述下盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域。在所述压电振动板的接合区域、所述上盖构件的接合区域及所述下盖构件的接合区域中分别形成有接合材料。所述压电振动板的接合区域和所述上盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合，所述压电振动板的接合区域和所述下盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合。另外，所述压电振动板的接合区域的基体、所述上盖构件的接合区域的基体及所述下盖构件的接合区域的基体中的至少一个被面粗化。
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公开(公告)号：CN1855711A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200610078162.2
申请日：2006-04-28
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/0428 , H03H2003/0457
摘要： 压电薄膜谐振器和具有其的滤波器。压电薄膜谐振器包括置于基板上的下电极、置于下电极上的压电薄膜，以及置于压电薄膜上的上电极。由其中上电极和下电极相互交叠以把压电薄膜夹在其间的区域来限定一隔膜区域，并且该隔膜区域具有椭圆形状，并且，下电极还被设置到其中未设有上电极的引出电极和下电极的引出电极的区域中的隔膜区域的外侧。
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公开(公告)号：CN1386320A
公开(公告)日：2002-12-18
申请号：CN01802166.2
申请日：2001-05-23
申请人： TDK株式会社
CPC分类号： H03H9/02094 , H03H3/04 , H03H9/605 , H03H2003/0435 , H03H2003/0457
摘要： 电气滤波器具有包括串联和并联排列的作业区域(L)不同的电极(24,25)和厚度(T)不同的压电层(23)的多个薄膜体波谐振器(10,11)。
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