公开(公告)号：CN113166931A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980079639.4

申请日：2019-12-02

Applicant: 田中贵金属工业株式会社

Inventor： 原田了辅 ,  岩井辉久 ,  重富利幸 ,  大武成行 ,  李承俊

IPC: C23C16/18 ,  H01L21/285 ,  C07F15/00

Abstract: 本发明涉及在用于通过化学蒸镀法制备钌薄膜或钌化合物薄膜的化学蒸镀用原料中，由下述化学式1表示的钌配合物构成的化学蒸镀用原料。在化学式1中，与钌配位的配位体L1和配位体L2由下述化学式2表示。本发明的化学蒸镀用原料即使不使用包含氧原子的反应气体也能够制造高质量的薄膜。[化学式1]RuL1L2[化学式2](配位体L1、L2的取代基R1～R12各自独立地为氢原子、碳原子数为1以上4以下的直链状或支链状的烷基中的任意一种。)

公开(公告)号：CN106164033B

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201480072704.8

申请日：2014-12-16

Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 ,  田中贵金属工业株式会社

Inventor： 今野英雄 ,  谷内淳一 ,  原田了辅 ,  重富利幸 ,  政广泰

IPC: C07C49/92 ,  C07F15/00

Abstract: 本发明涉及一种环金属化铱配合物的原料，并提供一种相较于使用三(2,4‑戊二酮)合铱(III)的情况，能在低反应温度中以高收率得到环金属化铱配合物的技术。本发明涉及一种环金属化铱配合物的原料，在由用于制造环金属化铱配合物的有机铱材料所构成的原料中，上述有机铱材料为非对称β‑二酮配位于铱上的三(β‑二酮)合铱(III)。

公开(公告)号：CN108463465A

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201680078542.8

申请日：2016-12-22

Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 ,  田中贵金属工业株式会社

Inventor： 今野英雄 ,  谷内淳一 ,  原田了辅 ,  重富利幸 ,  小林琉美 ,  政广泰

IPC: C07F15/00 ,  C09K11/06

Abstract: 本发明为使用非氯系的铱原料以制造环金属化铱配合物的方法。本发明的环金属化铱配合物的制造方法的特征在于：在使由铱化合物构成的原料与能形成铱-碳键的芳香族杂环双齿配位体反应以制造环金属化铱配合物的方法中，使具有强酸的共轭碱作为配位体的非卤化铱作为所述原料来反应。在此，非卤化铱优选具有pKa在3以下的强酸的共轭碱作为配位体。