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公开(公告)号:CN110998748B
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN201880049436.6
申请日:2018-08-01
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明是一种金属油墨,其含有由银构成的金属粒子、由胺化合物构成的保护剂A和由脂肪酸构成的保护剂B,其中,上述保护剂A由碳原子数为4以上且12以下的胺化合物中的至少一种构成,上述保护剂B由碳原子数为22以上且26以下的脂肪酸中的至少一种构成。在此,胺化合物的含量优选以银粒子的质量基准计为0.2mmol/g以上且1.5mmol/g以下。另外,脂肪酸的含量优选以银粒子的质量基准计设定为0.01mmol/g以上且0.06mmol/g以下。
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公开(公告)号:CN107921533B
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201680048902.X
申请日:2016-08-23
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种金属浆料,其通过将由银粒子构成的固体成分与溶剂进行捏合而成,在该金属浆料中,固体成分由以粒子数为基准含有30%以上的粒径为100至200nm的银粒子的银粒子所构成,并且,银粒子总体的平均粒径为60至800nm,构成固体成分的银粒子为与作为保护剂的碳原子数总和为4至8的胺化合物结合后的银粒子,此外,该金属浆料包含数均分子量为40000至90000的高分子量乙基纤维素作为添加剂。通过含有高分子量乙基纤维素,可在提高印刷性的同时保持低电阻的烧结体。根据本发明的金属浆料的印刷性良好,并且即使在150℃以下的低温范围中,也可形成低电阻的烧结体。
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公开(公告)号:CN115038810B
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202180011319.2
申请日:2021-01-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜的有机钌化合物原料。该有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)和3个羰基配体与2价钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物。在化学式1中,三亚甲基甲烷系配体L1由下述化学式2的式子表示,[化学式1]RuL1(CO)3[化学式2]#imgabs0#在上式中,配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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公开(公告)号:CN110998748A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201880049436.6
申请日:2018-08-01
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明是一种金属油墨,其含有由银构成的金属粒子、由胺化合物构成的保护剂A和由脂肪酸构成的保护剂B,其中,上述保护剂A由碳原子数为4以上且12以下的胺化合物中的至少一种构成,上述保护剂B由碳原子数为22以上且26以下的脂肪酸中的至少一种构成。在此,胺化合物的含量优选以银粒子的质量基准计为0.2mmol/g以上且1.5mmol/g以下。另外,脂肪酸的含量优选以银粒子的质量基准计设定为0.01mmol/g以上且0.06mmol/g以下。
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公开(公告)号:CN107921533A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201680048902.X
申请日:2016-08-23
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种金属浆料,其通过将由银粒子构成的固体成分与溶剂进行捏合而成,在该金属浆料中,固体成分由以粒子数为基准含有30%以上的粒径为100至200nm的银粒子的银粒子所构成,并且,银粒子总体的平均粒径为60至800nm,构成固体成分的银粒子为与作为保护剂的碳原子数总和为4至8的胺化合物结合后的银粒子,此外,该金属浆料包含数均分子量为40000至90000的高分子量乙基纤维素作为添加剂。通过含有高分子量乙基纤维素,可在提高印刷性的同时保持低电阻的烧结体。根据本发明的金属浆料的印刷性良好,并且即使在150℃以下的低温范围中,也可形成低电阻的烧结体。
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公开(公告)号:CN113166931B
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN201980079639.4
申请日:2019-12-02
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C07D471/04
Abstract: 本发明涉及在用于通过化学蒸镀法制备钌薄膜或钌化合物薄膜的化学蒸镀用原料中,由下述化学式1表示的钌配合物构成的化学蒸镀用原料。在化学式1中,与钌配位的配位体L1和配位体L2由下述化学式2表示。本发明的化学蒸镀用原料即使不使用包含氧原子的反应气体也能够制造高质量的薄膜。[化学式1]RuL1L2[化学式2]#imgabs0#(配位体L1、L2的取代基R1~R12各自独立地为氢原子、碳原子数为1以上4以下的直链状或支链状的烷基中的任意一种。)
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公开(公告)号:CN113166931A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201980079639.4
申请日:2019-12-02
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , H01L21/285 , C07F15/00
Abstract: 本发明涉及在用于通过化学蒸镀法制备钌薄膜或钌化合物薄膜的化学蒸镀用原料中,由下述化学式1表示的钌配合物构成的化学蒸镀用原料。在化学式1中,与钌配位的配位体L1和配位体L2由下述化学式2表示。本发明的化学蒸镀用原料即使不使用包含氧原子的反应气体也能够制造高质量的薄膜。[化学式1]RuL1L2[化学式2](配位体L1、L2的取代基R1~R12各自独立地为氢原子、碳原子数为1以上4以下的直链状或支链状的烷基中的任意一种。)
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公开(公告)号:CN118076702A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202280068180.X
申请日:2022-10-04
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C09D11/52 , B22F9/00 , C09D5/24 , C09D17/00 , C08L1/00 , H01B1/00 , H01B1/22 , C08K3/08 , H05K1/09 , B22F1/052 , B22F1/102 , B22F1/107
Abstract: 本发明涉及将由银粒子构成的固体成分在溶剂中混炼而成的金属布线形成用的金属糊。金属糊的固体成分具有规定的粒径分布和平均粒径,由以胺化合物为保护剂的银粒子构成。溶剂是将溶剂A和溶剂B这两种有机溶剂混合而成的混合溶剂。溶剂A为二氢松油醇或松油醇,溶剂B是沸点为240℃以上的至少一种有机溶剂。而且,该混合溶剂的相对于二氢松油醇的汉森溶解度参数距离Ra为3.0MPa1/2以下。进而,金属糊中包含作为第一添加剂的高分子量乙基纤维素和作为第二添加剂的聚乙烯醇缩醛树脂。根据本发明的金属糊,能够形成印刷描绘性和连续印刷性良好、密合性也良好的金属布线。
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公开(公告)号:CN115038810A
公开(公告)日:2022-09-09
申请号:CN202180011319.2
申请日:2021-01-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜的有机钌化合物原料。该有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)和3个羰基配体与2价钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物。在化学式1中,三亚甲基甲烷系配体L1由下述化学式2的式子表示,[化学式1]RuL1(CO)3[化学式2]在上式中,配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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