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公开(公告)号：CN110431253B
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN201880019340.5
申请日：2018-03-05
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/16 , C07F15/00 , C23C16/18 , H01L21/285
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公开(公告)号：CN114008238A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080042968.4
申请日：2020-06-15
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , H01L21/768 , C07F13/00
Abstract: 本发明涉及一种化学蒸镀用原料，其是用于通过化学蒸镀法制造锰薄膜或锰化合物薄膜的化学蒸镀用原料，其由在锰上配位有环戊二烯基配体(L1)和异腈配体(L2)的下述化学式所示的有机锰化合物构成。本发明具有作为化学蒸镀用原料的基本特性，并且能够以氢气等还原性气体作为反应气体来进行锰薄膜的成膜。(所述式中，环戊二烯基配体(L1)的取代基R1～R5各自为氢或者直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。异腈配体(L2)的取代基R6为直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。Mn(L1)(L2)3
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公开(公告)号：CN107923038A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048587.0
申请日：2016-08-23
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/16 , C07F15/00 , H01L21/28 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及一种由双核钌配合物构成的化学蒸镀用原料，其用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜，其中，该双核钌配合物由下式(1)表示，其是通过羰基及含氮的有机配位体(L)配位于金属键结的2个钌而成的。根据本发明的原料可以制造高纯度的钌薄膜，且熔点较低，并兼具适度的热稳定性。因此，适合应用于各种设备的电极等。
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公开(公告)号：CN107923038B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201680048587.0
申请日：2016-08-23
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/16 , C07F15/00 , H01L21/28 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及一种由双核钌配合物构成的化学蒸镀用原料，其用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜，其中，该双核钌配合物由下式(1)表示，其是通过羰基及含氮的有机配位体(L)配位于金属键结的2个钌而成的。根据本发明的原料可以制造高纯度的钌薄膜，且熔点较低，并兼具适度的热稳定性。因此，适合应用于各种设备的电极等。
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公开(公告)号：CN106164033A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201480072704.8
申请日：2014-12-16
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 田中贵金属工业株式会社
CPC classification number: C07F15/0033 , C07C49/92 , C07F15/004
Abstract: 本发明涉及一种环金属化铱配合物的原料，并提供一种相较于使用三(2,4‑戊二酮)合铱(III)的情况，能在低反应温度中以高收率得到环金属化铱配合物的技术。本发明涉及一种环金属化铱配合物的原料，在由用于制造环金属化铱配合物的有机铱材料所构成的原料中，上述有机铱材料为非对称β‑二酮配位于铱上的三(β‑二酮)合铱(III)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104350061A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201380029958.7
申请日：2013-06-06
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C07F15/00 , B01J23/44 , C07C7/12 , C07C7/163 , C07C13/263 , C07C13/42 , C07C45/79 , C07C45/85 , C07C49/92
CPC classification number: C07F15/0046 , B01J23/42 , B01J23/44 , B01J23/462 , B01J25/02 , C07C45/79 , C07C45/85 , C07F15/0053 , C07C49/92
Abstract: 本发明提供一种化学蒸镀用有机钌化合物的回收再利用方法，其从经过了薄膜形成工序的、已用过的原料中提取未反应的有机钌化合物，所述方法包括以下工序(a)～(c)。(a)改质工序，其中，在氢气氛中，使所述已用过的原料与加氢催化剂接触，从而对已用过的原料中氧化了的有机钌化合物进行加氢。(b)吸附工序，其中，通过使所述已用过的原料与吸附剂接触，从而除去已用过的原料中的杂质。(c)复原工序，其中，在相对于有机钌化合物的分解温度为-100℃以上且-10℃以下的温度下，对所述已用过的原料加热8小时以上，从而调整已用过的原料中的有机钌化合物的异构体比率。
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公开(公告)号：CN103874705A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201280050214.9
申请日：2012-10-12
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C07F15/00 , C07C13/263 , C23C16/18
CPC classification number: C23C16/18 , C07F15/0086 , C23C16/4485 , C23C16/46
Abstract: 本发明提供一种化学气相沉积用原料，其用于通过化学气相沉积法制造铂薄膜或铂化合物薄膜，该化学气相沉积用原料包含由下式所示的、环辛二烯及烷基阴离子与2价铂配位的有机铂化合物。在此，R1和R2特别优选丙基和甲基、丙基和乙基、或乙基和甲基的组合中的任一种。式中，R1、R2为烷基，R1和R2不同。另外，R1、R2的碳原子数合计为3～5。
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公开(公告)号：CN106715376B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201580050429.4
申请日：2015-08-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种三(β‑二酮)合铱的制造方法，其为使铱化合物与β‑二酮反应的三(β‑二酮)合铱的制造方法，其特征在于，对所述铱化合物进行包含下述的(a)碱处理和(b)酸处理的活化处理而将铱化合物活化之后，再与β‑二酮反应，(a)碱处理：在所述铱化合物的溶液中添加碱，使溶液的pH与碱添加前相比为更碱性侧，且使pH为10以上的处理；(b)酸处理：在进行了所述碱处理的所述溶液中添加酸，使溶液的pH与酸添加前相比为更酸性侧，且使酸添加前后的溶液的pH差成为0.1以上10以下的处理。根据本发明，可以利用广泛的β‑二酮制造三(β‑二酮)合铱。
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公开(公告)号：CN107532294B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201680026945.8
申请日：2016-05-09
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07C211/21 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及下述所示的由在2价铂上配位有烯基胺及烷基阴离子的有机铂化合物构成的化学蒸镀用原料。在下述中，n为1以上5以下。烯基胺的取代基R1至R5分别为氢原子、烷基等，并且它们的碳原子数均为4以下。烷基阴离子R6及R7分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。本发明的原料的蒸气压较高，可在低温下制造铂薄膜，同时也兼具适度的热稳定性。
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公开(公告)号：CN106715376A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580050429.4
申请日：2015-08-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
CPC classification number: C07F15/004 , C07C45/77 , C07C49/92 , C07F15/00 , C09K11/06 , C09K2211/185 , C23C16/18 , H01L51/0002 , H01L51/0085 , H01L51/5016
Abstract: 本发明提供一种三(β‑二酮)合铱的制造方法，其为使铱化合物与β‑二酮反应的三(β‑二酮)合铱的制造方法，其特征在于，对所述铱化合物进行包含下述的(a)碱处理和(b)酸处理的活化处理而将铱化合物活化之后，再与β‑二酮反应，(a)碱处理：在所述铱化合物的溶液中添加碱，使溶液的pH与碱添加前相比为更碱性侧，且使pH为10以上的处理；(b)酸处理：在进行了所述碱处理的所述溶液中添加酸，使溶液的pH与酸添加前相比为更酸性侧，且使酸添加前后的溶液的pH差成为0.1以上10以下的处理。根据本发明，可以利用广泛的β‑二酮制造三(β‑二酮)合铱。
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