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公开(公告)号：CN115038810B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202180011319.2
申请日：2021-01-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜的有机钌化合物原料。该有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)和3个羰基配体与2价钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体L1由下述化学式2的式子表示，[化学式1]RuL1(CO)3[化学式2]#imgabs0#在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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公开(公告)号：CN114008238A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080042968.4
申请日：2020-06-15
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , H01L21/768 , C07F13/00
Abstract: 本发明涉及一种化学蒸镀用原料，其是用于通过化学蒸镀法制造锰薄膜或锰化合物薄膜的化学蒸镀用原料，其由在锰上配位有环戊二烯基配体(L1)和异腈配体(L2)的下述化学式所示的有机锰化合物构成。本发明具有作为化学蒸镀用原料的基本特性，并且能够以氢气等还原性气体作为反应气体来进行锰薄膜的成膜。(所述式中，环戊二烯基配体(L1)的取代基R1～R5各自为氢或者直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。异腈配体(L2)的取代基R6为直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。Mn(L1)(L2)3
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公开(公告)号：CN115003855B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202180011325.8
申请日：2021-01-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及化学蒸镀法用的有机钌化合物原料。有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)、2个羰基配体以及配体X与2价的钌配位而得的由下述化学式1的式子表示。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体(L1)由下述化学式2的式子表示。另外，配体X为异氰配体、吡啶配体、胺配体、咪唑配体、哒嗪配体、嘧啶配体、吡嗪配体中的任一者，[化学式1]RuL1(CO)2X[化学式2]#imgabs0#在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115003855A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202180011325.8
申请日：2021-01-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及化学蒸镀法用的有机钌化合物原料。有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)、2个羰基配体以及配体X与2价的钌配位而得的由下述化学式1的式子表示。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体(L1)由下述化学式2的式子表示。另外，配体X为异氰配体、吡啶配体、胺配体、咪唑配体、哒嗪配体、嘧啶配体、吡嗪配体中的任一者，[化学式1]RuL1(CO)2X[化学式2]在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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公开(公告)号：CN114008238B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202080042968.4
申请日：2020-06-15
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , H01L21/768 , C07F13/00
Abstract: 本发明涉及一种化学蒸镀用原料，其是用于通过化学蒸镀法制造锰薄膜或锰化合物薄膜的化学蒸镀用原料，其由在锰上配位有环戊二烯基配体(L1)和异腈配体(L2)的下述化学式所示的有机锰化合物构成。本发明具有作为化学蒸镀用原料的基本特性，并且能够以氢气等还原性气体作为反应气体来进行锰薄膜的成膜。(所述式中，环戊二烯基配体(L1)的取代基R1～R5各自为氢或者直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。异腈配体(L2)的取代基R6为直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。Mn(L1)(L2)3#imgabs0#
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公开(公告)号：CN113166931B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN201980079639.4
申请日：2019-12-02
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C07D471/04
Abstract: 本发明涉及在用于通过化学蒸镀法制备钌薄膜或钌化合物薄膜的化学蒸镀用原料中，由下述化学式1表示的钌配合物构成的化学蒸镀用原料。在化学式1中，与钌配位的配位体L1和配位体L2由下述化学式2表示。本发明的化学蒸镀用原料即使不使用包含氧原子的反应气体也能够制造高质量的薄膜。[化学式1]RuL1L2[化学式2]#imgabs0#(配位体L1、L2的取代基R1～R12各自独立地为氢原子、碳原子数为1以上4以下的直链状或支链状的烷基中的任意一种。)
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公开(公告)号：CN113166931A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980079639.4
申请日：2019-12-02
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , H01L21/285 , C07F15/00
Abstract: 本发明涉及在用于通过化学蒸镀法制备钌薄膜或钌化合物薄膜的化学蒸镀用原料中，由下述化学式1表示的钌配合物构成的化学蒸镀用原料。在化学式1中，与钌配位的配位体L1和配位体L2由下述化学式2表示。本发明的化学蒸镀用原料即使不使用包含氧原子的反应气体也能够制造高质量的薄膜。[化学式1]RuL1L2[化学式2](配位体L1、L2的取代基R1～R12各自独立地为氢原子、碳原子数为1以上4以下的直链状或支链状的烷基中的任意一种。)
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公开(公告)号：CN115038810A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202180011319.2
申请日：2021-01-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜的有机钌化合物原料。该有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)和3个羰基配体与2价钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体L1由下述化学式2的式子表示，[化学式1]RuL1(CO)3[化学式2]在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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