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公开(公告)号：CN103700681B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201310737987.0
申请日：2007-08-20
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置（1）包括对入射光进行光电转换的光接收部分（12）。该固态成像装置（1）具有形成在光接收部分（12）的光接收表面（12s）上以降低界面态的膜（21），以及形成在形成为降低界面态的膜（21）上且具有固定负电荷的膜（22）。空穴积聚层（23）形成在光接收部分（12）的光接收表面（12s）上。
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公开(公告)号：CN103390627B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201310232383.0
申请日：2007-02-25
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L31/0224
CPC classification number: H01L27/14609 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14685 , H01L31/022466 , H01L31/022475
Abstract: 本发明提供一种固态成像装置，包括具有第一表面和第二表面的衬底，光入射在第二表面侧；设置在第一表面侧的布线层；形成在衬底中且包括第一导电类型的第一区的光电检测器；设置在衬底的第一表面上且邻近光电检测器的转移栅极，转移栅极传输积累在光电检测器中的信号电荷；设置在衬底的第一表面且叠置在光电检测器上的至少一个控制栅极，控制栅极控制第一表面附近该光电检测器的电势。
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公开(公告)号：CN102254926B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201110226436.9
申请日：2007-08-20
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/1461 , H01L27/1462 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14645 , H01L27/14683 , H01L27/14818 , H01L27/14868
Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置(1)包括对入射光进行光电转换的光接收部分(12)。该固态成像装置(1)具有形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上以降低界面态的膜(21)，以及形成在形成为降低界面态的膜(21)上且具有固定负电荷的膜(22)。空穴积聚层(23)形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上。
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公开(公告)号：CN102324431B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201110304563.6
申请日：2007-08-20
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/1461 , H01L27/1462 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14645 , H01L27/14683 , H01L27/14818 , H01L27/14868
Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置(1)包括对入射光进行光电转换的光接收部分(12)。该固态成像装置(1)具有形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上以降低界面态的膜(21)，以及形成在形成为降低界面态的膜(21)上且具有固定负电荷的膜(22)。空穴积聚层(23)形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上。
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公开(公告)号：CN103050501A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210551421.4
申请日：2007-02-25
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L31/0224 , H04N5/374 , H04N5/225
CPC classification number: H01L27/14609 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14685 , H01L31/022466 , H01L31/022475
Abstract: 本发明提供一种固态成像装置，包括具有第一表面和第二表面的衬底，光入射在第二表面侧；设置在第一表面侧的布线层；形成在衬底中且包括第一导电类型的第一区的光电检测器；设置在衬底的第一表面上且邻近光电检测器的转移栅极，转移栅极传输积累在光电检测器中的信号电荷；设置在衬底的第一表面且叠置在光电检测器上的至少一个控制栅极，控制栅极控制第一表面附近该光电检测器的电势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102324431A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110304563.6
申请日：2007-08-20
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/1461 , H01L27/1462 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14645 , H01L27/14683 , H01L27/14818 , H01L27/14868
Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置(1)包括对入射光进行光电转换的光接收部分(12)。该固态成像装置(1)具有形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上以降低界面态的膜(21)，以及形成在形成为降低界面态的膜(21)上且具有固定负电荷的膜(22)。空穴积聚层(23)形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上。
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公开(公告)号：CN102201424A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110121898.4
申请日：2008-09-27
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 大岸裕子
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H04N5/361 , H01L27/1462 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14687 , H01L27/14806 , H01L27/14887 , H04N5/369 , H04N5/378
Abstract: 本发明提供了一种固态成像装置及其制造方法以及成像设备，其中，该固态成像装置包括：形成在半导体衬底中以将入射光转换为电信号的多个传感器部；形成在半导体衬底中以位于传感器部旁边的外围电路部；以及形成在传感器部的光入射侧上以在传感器部的光接收表面上形成空穴累积层的具有负固定电荷的层，其中，所述具有负固定电荷的层形成在背部照明成像装置的光电二极管之上。
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公开(公告)号：CN102176460A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110121829.3
申请日：2008-09-27
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 大岸裕子
IPC: H01L27/146 , H01L27/148 , H04N5/225
CPC classification number: H04N5/361 , H01L27/1462 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14687 , H01L27/14806 , H01L27/14887 , H04N5/369 , H04N5/378
Abstract: 本发明提供了一种固态成像装置及其制造方法以及成像设备，其中，该固态成像装置包括：形成在半导体衬底中以将入射光转换为电信号的多个传感器部；形成在半导体衬底中以位于传感器部旁边的外围电路部；以及形成在传感器部的光入射侧上以在传感器部的光接收表面上形成空穴累积层的具有负固定电荷的层，其中，所述固态成像装置是背部照明的固态成像装置。
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公开(公告)号：CN101669205A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200780052901.3
申请日：2007-08-20
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/148 , H01L31/10
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/1461 , H01L27/1462 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14645 , H01L27/14683 , H01L27/14818 , H01L27/14868
Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置(1)包括对入射光进行光电转换的光接收部分(12)。该固态成像装置(1)具有形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上以降低界面态的膜(21)，以及形成在形成为降低界面态的膜(21)上且具有固定负电荷的膜(22)。空穴积聚层(23)形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上。
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公开(公告)号：CN101409301A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810161899.X
申请日：2008-10-13
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/822 , H04N5/225
Abstract: 本发明公开了一种具有执行入射光的光电转换的感光部的固态成像装置及其制造方法和成像装置，该固态成像装置包括：形成在所述感光部的光接收面上的绝缘层；形成在所述绝缘层上的具有负电荷的层；以及形成在所述感光部的所述光接收面上的空穴聚集层。利用本发明的固态成像装置，因为暗电流能够被抑制，所以成像图像中的噪声能够被减小。结果，具有能够获得高质量图像的优势。
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