-
公开(公告)号:CN111640796A
公开(公告)日:2020-09-08
申请号:CN202010485711.8
申请日:2020-06-01
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L29/778 , H01L21/335 , H01L29/20
摘要: 本发明涉及一种5G民用射频GaN基HEMT器件、MOS-HEMT器件及制备方法,GaN基HEMT器件制备方法包括:在Si衬底上依次生长碳掺杂GaN缓冲层、非故意掺杂GaN缓冲层、AlN插入层和InAlN势垒层,碳掺杂GaN缓冲层和非故意掺杂GaN缓冲层组成GaN缓冲层;在InAlN势垒层上制备源电极和漏电极;在InAlN势垒层、AlN插入层和非故意掺杂GaN缓冲层中制备GaN基HEMT器件的电学隔离;在InAlN势垒层上制备钝化层;在钝化层中制备栅脚凹槽,使栅脚凹槽贯穿钝化层;在栅脚凹槽中和钝化层上制备栅电极。该制备方法属于传统制备工艺,生产效率高,避免高成本复杂工艺如再生长技术的引入,从优化异质结材料的角度以较低成本实现高性能低电压器件,有利于GaN基HEMT器件在5G低成本民用市场中的推广。
-
公开(公告)号:CN103237323B
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201310165257.8
申请日:2013-05-07
申请人: 西安电子科技大学
摘要: 本发明公开了一种基于多通道的并行节点接纳方法,主要解决现有节点接纳方法接纳效率不高的问题。其实现步骤是:分配信道资源,划分接纳周期;在每个接纳周期内规划不同用途的时隙;利用下行和上行探测帧时隙,构成双向信令通道;利用下行探测帧,完成下行功率控制和下行信道训练;从属节点选择空闲的双向信令通道,并发送上行探测帧;中心节点根据收到的上行探测帧,发送下行探测帧;从属节点接收下行探测帧,查询所选择的双向信令通道的状态;根据查询到的状态,完成节点接纳过程。本发明具有接纳时间短,从属节点多时不易发生冲突,接纳效率高的优点,可应用于各种采用时分复用/时分多址机制分配信道的局域网和接入网领域。
-
公开(公告)号:CN116825830A
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202310729525.8
申请日:2023-06-19
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L29/423 , H01L21/335 , H01L29/778 , H01L29/20
摘要: 本发明公开了一种多维栅控高线性N面GaN基射频功率器件及其制备方法,包括:衬底,依次设置于衬底上的缓冲层、势垒层和沟道层;源极和漏极,位于沟道层上,源极和漏极间隔设置;氮化硅层,位于沟道层上,且位于源极和漏极之间,氮化硅层包括栅脚区域,栅脚区域暴露出沟道层;沟道阵列结构,沟道阵列结构的投影位于栅脚区域,沟道阵列结构包括多个间隔排布的刻蚀部分,刻蚀部分由刻蚀掉至少部分沟道层形成,或由刻蚀掉沟道层和至少部分势垒层形成;沿垂直于衬底的方向,刻蚀部分的投影为矩形或梯形;栅极,覆盖于沟道阵列结构上、以及部分氮化硅层上。本发明能够提供高频、高线性N面GaN基Fin/Fin‑like HEMT器件。
-
公开(公告)号:CN116741635A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310737736.6
申请日:2023-06-20
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L21/335 , H01L29/423 , H01L29/778
摘要: 本发明公开了一种基于无掩膜再生长低阻延伸层的HEMT器件制备方法,包括:在衬底上外延生长N面GaN/AlGaN异质结结构;在所述N面GaN/AlGaN异质结结构的表面定义HEMT器件的源区和漏区并形成源区沟槽和漏区沟槽;低温外延生长n+GaN材料或n+InGaN材料,形成无掩膜再生长低阻延伸层;制作器件隔离区;形成源电极和漏电极;形成钝化层;形成栅极凹槽;表面沉积介质层;基于所述栅极凹槽制作浮空T型栅,得到制备完成的HEMT器件。本发明制备出的HEMT器件能够用于6G太赫兹频段。
-
公开(公告)号:CN107544550B
公开(公告)日:2021-01-15
申请号:CN201610473714.3
申请日:2016-06-24
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: G05D1/12
摘要: 本发明公开了一种基于视觉引导的无人机自动着陆方法,其实现方案是:1.GPS导航引导无人机进入降落平台上空;2.根据机载相机的拍摄图像检测粗定位标志,计算降落平台相对于无人机的位置坐标;3.使用无人机双层PID控制器控制无人机开始降落;4.更新降落平台相对于无人机的位置坐标,从而更新双层PID控制器的输入量;5.当无人机降落达到能够识别精确定位标志的条件时,使用Apriltags技术实时检测,得出新的降落平台的中心坐标,更新双层PID控制器输入量,完成无人机的精确着陆。本发明解决了GPS引导无人机着陆精度低的问题,可用于无人机的精确自主着陆。
-
公开(公告)号:CN111430456A
公开(公告)日:2020-07-17
申请号:CN202010177072.9
申请日:2020-03-13
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L29/778 , H01L21/335 , H01L29/06
摘要: 本发明涉及一种基于跨导补偿法的类Fin侧墙调制的HEMT器件及其制备方法,该HEMT器件包括:衬底层;插入层,位于衬底层上;缓冲层,位于插入层上;源电极,位于缓冲层的一端;漏电极,位于缓冲层的另一端;势垒层,位于缓冲层上,且位于源电极和漏电极之间,其中,势垒层上设置有沿栅宽方向排列的若干凹槽,凹槽的深度小于势垒层的厚度;钝化层,覆盖在源电极、漏电极和势垒层上,其中,沿栅宽方向上,钝化层中贯穿有栅槽,且若干凹槽位于栅槽下;栅电极,位于若干凹槽和栅槽中,且位于钝化层表面;金属互联层,贯穿钝化层且位于源电极、漏电极上。该HEMT器件通过沿栅宽方向排列若干凹槽形成类Fin结构,可以满足高频高线性和高压高线性的应用需求。
-
公开(公告)号:CN107544550A
公开(公告)日:2018-01-05
申请号:CN201610473714.3
申请日:2016-06-24
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: G05D1/12
摘要: 本发明公开了一种基于视觉引导的无人机自动着陆方法,其实现方案是:1.GPS导航引导无人机进入降落平台上空;2.根据机载相机的拍摄图像检测粗定位标志,计算降落平台相对于无人机的位置坐标;3.使用无人机双层PID控制器控制无人机开始降落;4.更新降落平台相对于无人机的位置坐标,从而更新双层PID控制器的输入量;5.当无人机降落达到能够识别精确定位标志的条件时,使用Apriltags技术实时检测,得出新的降落平台的中心坐标,更新双层PID控制器输入量,完成无人机的精确着陆。本发明解决了GPS引导无人机着陆精度低的问题,可用于无人机的精确自主着陆。
-
公开(公告)号:CN114942418B
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202210658266.X
申请日:2022-06-10
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: G01S7/41
摘要: 本发明公开了基于邻近距离的单脉冲测角方法,主要解决现有技术测角精度较低、抗噪性能差的问题。其实现方案是:接收宽带雷达的和通道、方位差通道和俯仰差通道回波信号;获取各通道回波信号的高分辨一维距离像;对一维像门限检测,选取扩展目标的散射点并测出对应散射点距雷达的距离;测量扩展目标对应散射点的方位角和俯仰角;计算每个散射点的坐标以及其距离其他散射点的平均欧式距离;对平均欧式距离升序排序,剔除平均欧式距离相对较大的散射点,计算剩余散射点的几何中心坐标;根据几何中心坐标计算扩展目标的中心方位角和中心俯仰角。本发明测角精度高,抗噪性能强,测角稳定,抑制角闪烁效应效果好,可用于目标跟踪和探测。
-
公开(公告)号:CN116598350A
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN202310330757.6
申请日:2023-03-30
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L29/778 , H01L21/335
摘要: 本发明公开了一种基于原位SiNx的GaN HEMT器件及其制备方法,包括:衬底,以及依次设置于衬底上的GaN缓冲层、高极化强度薄势垒层、原位SiNx层;隔离区,位于器件两端,并贯穿原位SiNx层和高极化强度薄势垒层,直至部分GaN缓冲层内;钝化层,位于隔离区和原位SiNx层上;源、漏电极,位于靠近隔离区的器件两端,并贯穿钝化层直至部分原位SiNx层内;其中,源、漏电极在退火过程中下渗,直至部分GaN缓冲层内;T型栅电极,贯穿钝化层和原位SiNx层,直至高极化强度薄势垒层的上表面,以及位于部分钝化层上。本发明可以低成本实现低欧姆接触电阻,并设计制备高频GaN HEMT器件,满足5G及6G应用要求。
-
公开(公告)号:CN108830860B
公开(公告)日:2022-03-25
申请号:CN201810332846.3
申请日:2018-04-13
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: G06T7/11 , G06T7/194 , G06K9/62 , G06V10/74 , G06V10/762
摘要: 本发明提供了一种基于RGB‑D约束的双目图像目标分割方法和装置,通过获得双目图像的视差信息;获得所述双目图像的颜色数据模型;根据所述视差信息获得视差图的深度数据模型;计算所述双目图像相邻像素点的相似性;获得所述双目图像目标分割的网络流图与能量函数表达式;根据计算所述能量函数的最小解获得所述网络流图的分割结果,其中,所述网络流图的分割结果即所述双目图像的目标分割结果。解决现有技术中双目图像目标分割的准确率较低、实时性差、完整性不太理想的技术问题,实现了减少概率计算的依赖性,增强概率模型的通用性,有助于提升分割的结果,同时考虑像素点的视差信息,利用前景和背景处于不同深度中的特征,提升分割结果的技术效果。
-
-
-
-
-
-
-
-
-