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公开(公告)号：CN103582607B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201180071239.2
申请日：2011-06-30
CPC分类号： B81B3/0064 , B81B2201/0235 , B81C99/003 , G01H11/00 , G01V1/162 , G01V13/00
摘要： 微电子机械系统（MEMS）传感器被激发（304）。该MEMS传感器的响应被测量（306）。该MEMS传感器被校准（310）。
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公开(公告)号：CN104749769A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310747059.2
申请日：2013-12-27
申请人： 光宝科技股份有限公司
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2201/042 , B81C99/003 , G02B26/105
摘要： 一种静电式微扫描镜的驱动校正装置及其驱动校正方法。驱动校正方法包括下列步骤。依序设定多个不同的参考电压以驱动静电式微扫描镜的一面镜摆动；感测激光束对应多个参考电压投射至投射表面的多个投射位置；依据这些参考电压与其对应的这些投射位置建立一驱动查找表；根据驱动查找表判断多个理想投射位置分别对应的校正驱动电压；以及，根据这些校正驱动电压来驱动面镜摆动。
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公开(公告)号：CN102095893A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010554560.3
申请日：2010-11-17
申请人： 罗伯特.博世有限公司
IPC分类号： G01P21/00 , G01P15/125 , G01R33/02
CPC分类号： G01R33/0286 , B81C99/003 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P21/00
摘要： 本发明涉及确定传感器灵敏度的方法，这传感器包括有基底，地震质量，第一电极装置用于使质量相对于基底沿着测量轴线偏离，和第二电极装置用于使质量相对于基底偏离。方法包括了方法步骤a)，在这步骤中将第一偏离电压加在第一电极装置上，第二偏离电压加在第一电极装置上，在质量上，通过第一电极装置作用第一静电力，通过第二电极装置作用第二静电力，并通过质量的弹簧装置施加复位力，其中在第一静电力，第二静电力和复位力之间实现了力的平衡，而且质量占有一个表示了力平衡特征的偏离位置，测量表示了力平衡和偏离位置特征的输出信号，方法步骤b)，基于第一和第二偏离电压来计算传感器的灵敏度。本发明还涉及用于该方法的传感器。
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公开(公告)号：CN101971239A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980104731.8
申请日：2009-02-06
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 阿洛科·戈维尔
IPC分类号： G09G3/34
CPC分类号： G09G3/3466 , B81B2201/042 , B81C99/003 , G09G3/006 , G09G2310/066 , G09G2320/0295 , G09G2320/0693
摘要： 本发明描述用于显示元件的电感测、测量及表征的方法及系统。一实施例包括将所述电感测、测量及表征与显示驱动方案集成。此实施例允许将干涉式调制器MEMS装置的DC或操作滞后电压及/或响应时间的测量例如与显示驱动器IC及/或所述显示驱动方案完全集成。另一实施例允许在不导致人类用户可见的显示假影的情况下执行及使用这些测量。另一实施例允许重新使用若干现有电路组件及特征将测量电路与所述显示驱动器IC及/或所述显示驱动方案集成，因而允许测量方法的集成。
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公开(公告)号：CN101276691A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810086194.6
申请日：2008-03-18
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： H01G5/16 , B81B7/008 , B81C99/003 , H01H2059/0018
摘要： 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
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