基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法

    公开(公告)号:CN107061493A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710306562.2

    申请日:2017-05-04

    IPC分类号: F16C32/04 F16C32/06

    摘要: 本发明涉及一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法,属于精密设备技术领域。包括基座、隔震平台等部件,复合电磁包括单电磁铁、工业航空铝Ⅰ,工业航空铝Ⅰ包裹在单电磁铁外部,复合轴承包括单电磁铁、工业航空铝Ⅱ,工业航空铝Ⅱ7‑2包裹在单电磁铁7‑1外部,控制方法为先为复合电磁、复合轴承供电,使二者产生气膜Ⅰ,然后通过气缸为复合轴承施加压力,控制气膜Ⅰ的厚度,最后对复合轴承供气,适当的调整气缸施加的压力,使复合电磁、复合轴承之间形成新的气模Ⅱ,气膜Ⅰ可以满足复合轴承7启动阶段无机械摩擦的要求,且气膜Ⅰ厚度基本均匀,这就有效的减少了试验中由于振动导致常导气浮轴承发生损坏。本发明模型简单,可靠性高且易于实现。

    径向箔片空气轴承
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106795917A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201680001443.X

    申请日:2016-03-14

    发明人: 金庆秀

    摘要: 本发明涉及一种径向箔片空气轴承,用于支撑在绕中心线旋转的旋转轴的径向方向上施加的重量。径向箔片空气轴承具有:顶箔,面对旋转轴的外部周向表面并围绕旋转轴;波箔,是可弹性变形的构件并围绕顶箔;以及基箔,围绕波箔,其中,顶箔的一个端部和波箔的一个端部布置在基箔的一个端部与基箔的另一端部之间,并且还包括用于耦接顶箔的一个端部、波箔的一个端部、基箔的一个端部以及基箔的另一端部的耦接装置。本发明可通过预先装配容易模块化成一个件,因此使得能在工作场地简单安装到轴承箱上或从轴承箱上拆卸,以及容易储存和维护轴承。另外,基箔维持并支撑顶箔和波箔的外部形状。而且,即使当轴承箱的内侧的表面加工状态不良时,轴承也可以容易安装并且轴承的性能可以几乎不受影响。

    气悬浮系统的多气足过定位水平共面调节方法

    公开(公告)号:CN106382301A

    公开(公告)日:2017-02-08

    申请号:CN201610901985.4

    申请日:2016-10-17

    IPC分类号: F16C32/06

    摘要: 气悬浮系统的多气足过定位水平共面调节方法,属于多气足共面调节技术领域。本发明是为了解决多气足支撑的气悬浮系统由于过定位问题,使设备的水平调节与多气足的共面调节相互耦合,调节难度大的问题。它采用三气足支撑调水平度、多气足悬空调共面的方式,使水平度调节和共面调节解耦,实现水平度和共面的快速调节;本发明首先建立多气足共面和设备基座水平度的初步基准;在气足非承载状态下调节气足共面,使所有气足都处于悬空状态;再通过安装辅助支撑,使每个气足与气浮平台之间的间隙为预设高度值;最后使三个辅助支撑脱离设备底座,给所有气足供气并浮起,完成水平共面调节。本发明用于多气足的水平共面调节。

    一种无油润滑线性压缩机

    公开(公告)号:CN106089632A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610578795.3

    申请日:2016-07-21

    摘要: 根据本发明所涉及的无油润滑线性压缩机,具有这样的特征,包括压缩单元和直线电机,其中压缩单元包括气缸组件、活塞组件、至少一个板弹簧、板弹簧支架以及复数个圆柱弹簧,直线电机被连接板弹簧支架与气缸的螺栓组固定,活塞组件的一端连接板弹簧,另一端设置在直线电机与气缸组件之间,圆柱弹簧设置在活塞组件与气缸组件之间,永久磁铁在受到直线电机的电磁力作用后带动活塞在气缸内做直线往复运动用于压缩制冷介质。本发明的线性压缩机使用板弹簧和圆柱弹簧结合支撑,大大提高了压缩机的轴向刚度和径向刚度;同时采用气体轴承支撑技术,实现了压缩机无油润滑和间隙密封;使得压缩机具有摩擦阻力小、噪音低、结构紧凑、稳定性好的特点。

    工作台装置及输送装置
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104396000A

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201380003286.2

    申请日:2013-12-18

    发明人: 佐藤俊德

    IPC分类号: H01L21/677

    摘要: 工作台装置(100)包括:第1构件(1),其能够在规定面内移动;第2构件(2),其能够相对于第1构件相对移动;第1引导装置(4),其至少一部分配置于第1构件,并以通过第1构件的移动使第2构件沿与同规定面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导第2构件;工作台(10),其支承于第2构件;第3构件(3),其连接于工作台的至少一部分;轴承构件(5),其具有能够向该轴承构件与第3构件之间供给气体的第1供给口,利用从第1供给口供给的气体在该轴承构件与第3构件之间形成气体轴承,并以能够使上述第3构件沿与第1轴线平行的方向移动的方式支承第3构件;以及支承装置(19),其包括平行销(20),并用于支承工作台,该平行销(20)配置为与第1轴线平行,并用于连结第2构件与工作台,工作台借助支承装置支承于第2构件。

    空气轴承单元
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103827527A

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:CN201280046551.0

    申请日:2012-05-16

    IPC分类号: F16C32/06

    CPC分类号: F16C32/0614

    摘要: 提供一种用于紧凑的空气轴承单元的结构,该紧凑空气轴承单元具有简单的构造,没有接触地且更稳定地支撑以高速转动的部件。流体(t)从多孔绕结层(102)供给到径向轴承间隙(60),以在径向轴承间隙(60)内形成流体膜,并且呈气体形式的流体(t)从径向轴承间隙(60)排出到推力轴承间隙(61a、61b),这些推力轴承间隙连接到径向轴承间隙(60)。流体膜利用排出气体(t1)形成在推力轴承间隙(61a、61b)内。由于从径向轴承间隙(60)排出的呈气体形式的流体(t)供给到推力轴承间隙(61a、61b),所以没有必要将空气轴承单元另外设有凹槽和推力轴承表面,其中凹槽从径向轴承间隙(60)排出呈气体形式的流体(t),推力轴承表面将流体(t)喷射到推力轴承间隙(61a、61b)。