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    一种斑点图像相关的光学位置传感器
    21.
    发明公开
    一种斑点图像相关的光学位置传感器 失效

    公开(公告)号：CN1334439A

    公开(公告)日：2002-02-06

    申请号：CN01123182.3

    申请日：2001-05-30

    申请人： 株式会社三丰

    发明人： M·内厄姆 ,  K·G·马斯雷里兹

    IPC分类号： G01B11/00

    CPC分类号： G01B11/002 ,  G01B3/205 ,  G01D5/347 ,  G01D5/34715

    摘要： 斑点读出头包括向光学粗糙表面发出光的光源。从该表面散射的光包含斑点。散射光在图像检测器上成象,并被捕获和存储。接着,捕获并存储第二图像。在位移方向上以不同偏移反复地比较这两个图像。具有最高值的比较表示两次取象间产生的读出头与表面之间的位移量。读出头的光学系统包括透镜和孔径。孔径可以为圆形,选择其直径使斑点的平均尺寸约等于或大于图像检测器元件的尺寸。垂直于位移方向的方向上的孔径尺寸可以减小。由此,该方向上成象的斑点将大于该方向上图像检测器元件的尺寸。这样的读出头对横向偏移不敏感。透镜可以是柱形透镜,该透镜能放大位移方向上的相对运动,但不会放大垂直于位移方向的方向上的相对运动。光学系统也可以是远心的。由此,读出头对读出头与表面之间的相对运动和间距不敏感。调整光源以避免斑点在图像检测器上产生的拖尾。可选通光源以稳定图像。

    一种光电编码器
    23.
    发明授权
    一种光电编码器 有权

    公开(公告)号：CN105651320B

    公开(公告)日：2017-12-29

    申请号：CN201610169406.1

    申请日：2016-03-23

    申请人： 海安县申菱电器制造有限公司

    发明人： 范小斌 ,  顾建国 ,  仲晓伟 ,  毛剑

    IPC分类号： G01D5/347

    CPC分类号： G01D5/347

    摘要： 本发明提供了一种光电编码器，该光电编码器内部包括依次放置的光源、透镜、中心设置有旋转轴的光学盘、设置有固定光栅的标尺和受光元件，其创新点在于：所述光学盘主体为可旋转圆盘，该光学盘的盘基正中央设有中心通孔，所述旋转轴通过该中心通孔与光学盘贯穿连接，盘基上设有光栅透过区，光栅透过区内设有矩形光栅道，矩形光栅道从一端的宽度到另一端的宽度呈线性变化；矩形光栅道的一端与另一端首尾连接，一端的宽度为光栅宽度，呈线性变化的另一端宽度趋向于无限小。本发明可以在不提高制造成本的前提下，除去高次谐波，实现高效、高精度化。

    光刻设备及器件制造方法
    24.
    发明授权
    光刻设备及器件制造方法 有权

    公开(公告)号：CN104272191B

    公开(公告)日：2017-06-09

    申请号：CN201380022023.6

    申请日：2013-03-18

    申请人： ASML荷兰有限公司

    发明人： H·巴特勒 ,  M·范德威吉斯特

    IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00

    CPC分类号： G03F7/70775 ,  G01D5/347 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/7085 ,  G03F7/709 ,  G03F9/7015 ,  G03F9/7096

    摘要： 公开了一种光刻设备和器件制造方法。光刻设备包括支撑台(16)以及包括传感器部分(13)和参考部分(12、14)的测量系统(12‑14)，所述测量系统被配置为通过使用所述传感器部分(13)与所述参考部分(12、14)相互作用来确定所述支撑台(16)相对于参考框架(6、8、10)的位置和/或方向或所述支撑台上安装的部件相对于参考框架(6、8、10)的位置和/或方向，其中：所述参考框架(6、8、10)包括N个子框架(6、8)，所述N个子框架耦接在一起以便针对低于第一参考频率的振动主要表现为单个刚性体，并且针对高于第二参考频率的振动主要表现为N体系统，其中N是大于1的整数。

    一种编码器
    25.
    发明公开
    一种编码器 有权

    公开(公告)号：CN106679702A

    公开(公告)日：2017-05-17

    申请号：CN201611078638.2

    申请日：2016-11-30

    申请人： 济南轲盛自动化科技有限公司

    发明人： 刘文龙 ,  李重材

    IPC分类号： G01D5/347

    CPC分类号： G01D5/347

    摘要： 本发明提供一种编码器，包括转轴、轴承、主体、固定垫块、码盘和电路板；轴承安装在主体上，转轴穿设在轴承上；转轴具有两端，转轴的第一端用于连接待测设备，在待测设备的驱动下带动转轴随待测设备同步转动；转轴的第二端具有螺纹，固定垫块具有与螺纹配合的第一螺纹孔；固定垫块通过第一螺纹孔旋紧在转轴上，随转轴同步转动；码盘套接在转轴上，随转轴同步转动；电路板固定支撑在主体上，电路板连接有发光器件和光电检测器件，发光器件和光电检测器件分别位于码盘的两侧，发光器件发出的光通过码盘后被光电检测器件检测。采用螺纹锁紧固定垫块的方式代替传统编码器采用的顶丝涂胶或者直接涂胶锁紧固定垫块的方式，节省了空间，降低了厚度。

    光电编码器及其光电转化芯片与定光栅的贴合结构
    28.
    发明公开
    光电编码器及其光电转化芯片与定光栅的贴合结构 有权 转让

    公开(公告)号：CN106092163A

    公开(公告)日：2016-11-09

    申请号：CN201610616664.X

    申请日：2016-07-28

    申请人： 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司

    发明人： 胡涛 ,  彭玉礼 ,  周溪 ,  钟成堡

    IPC分类号： G01D5/38 ,  G01D5/347

    CPC分类号： G01D5/38 ,  G01D5/347

    摘要： 本发明公开一种光电编码器及其光电转化芯片与定光栅的贴合结构。该贴合结构包括第一定位标记和用于在贴合时与所述第一定位标记对位的第二定位标记，所述第一定位标记形成在所述光电转化芯片上，所述第二定位标记形成在所述定光栅上，第一定位标记由光电转化芯片的多个增量码道之间的光窗分界线构成。当光电转化芯片与定光栅之间进行贴合时，只需要将第一定位标记与第二定位标记几何重合，即便实现两者之间的精确贴合,进而保证了光电编码器的测量精度和工作可靠性，具有结构简单、成本低的特点。

    一种光电码盘和编码器
    29.
    发明公开
    一种光电码盘和编码器 有权 转让

    公开(公告)号：CN105953824A

    公开(公告)日：2016-09-21

    申请号：CN201610402051.6

    申请日：2016-06-08

    申请人： 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司

    发明人： 彭玉礼 ,  钟成堡 ,  周溪 ,  胡涛 ,  黄侠昌 ,  陈世国

    IPC分类号： G01D5/347

    CPC分类号： G01D5/347

    摘要： 本发明公开了一种光电码盘和编码器，该码盘包括：码盘基体，相位码道，零位码道和增量码道；其中，相位码道、零位码道和增量码道，同心加载于码盘基体的不同直径圆周上；零位码道，包括：第一零位序列(Z)和第二零位序列(/Z)，第一零位序列(Z)和第二零位序列(/Z)位于增量码道的两侧；第一零位序列(Z)的刻线，包括：2～5条亮栅和4～10条暗栅；第二零位序列(/Z)的刻线，包括：与第一零位序列(Z)的亮栅条数相同的暗栅，以及与第一零位序列(Z)的暗栅条数相同的亮栅。本发明的方案，可以克服现有技术中对比度低、测量精度低和可靠性差等缺陷，实现对比度高、测量精度高和可靠性好的有益效果。