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公开(公告)号：CN104658831A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201510094671.3
申请日：2015-03-03
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J1/3042 , H01J2201/30403 , H01J2201/3048
Abstract: 一种小型化、集成化的硅基场发射-接收器件，包括：一n型硅衬底；一纳米尖端结构，其制作于n型硅衬底上表面的中间部位，其材料与n型硅衬底的材料相同；一二氧化硅绝缘层，其制作于n型硅衬底上，其中间有一电子发射-接收窗口，该电子发射-接收窗口围绕在纳米尖端结构的周围；一n型掺杂硅片，其制作在二氧化硅绝缘层上，且覆盖二氧化硅绝缘层上的电子发射-接收窗口；一高压源，其正极与n型掺杂硅片连接；一电流表，其正极与高压源连接，负极与n型硅衬底连接。本发明有利于提高大规模研制真空微纳器件过程中的性能和成品率。
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公开(公告)号：CN1146002C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN00105457.0
申请日：1995-10-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , H01J1/3042 , H01J9/025 , H01J2201/30403 , H01J2201/30457 , H01J2329/00
Abstract: 一种电子发射阴极包括：一个导电膜；形成在该导电膜上的一个n型半导体膜；形成在该n型半导体膜上的多个岛状p型半导体膜，及与导电膜对置的一个阳极并在这两者之间设有真空，其中利用在阳极及该多个p型半导体膜之间施加一电压使电子发射。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1092395C
公开(公告)日：2002-10-09
申请号：CN95190982.7
申请日：1995-02-27
Applicant: 工程吸气公司
CPC classification number: H01J9/39 , H01J7/183 , H01J29/94 , H01J2201/30403 , H01J2209/385 , H01J2329/00
Abstract: 具有一内部真空空间的场发射平板显示器，真空空间内有：a)一层活性荧光粉和大量可在高电场作用下发射电子的微阴极(MT)；b)大量电极引线(P)和一真空稳定器(G)。所述真空稳定器基本上是由一多孔不挥发消气材料的多孔被支撑层组成，有20～180μm厚，放置在一个基本上独立于微阴极、荧光粉和引线的区域中。
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公开(公告)号：CN1086505C
公开(公告)日：2002-06-19
申请号：CN95190581.3
申请日：1995-06-27
Applicant: 工程吸气公司
CPC classification number: H01J7/183 , H01J7/18 , H01J29/94 , H01J2201/30403 , H01J2329/00
Abstract: 公开了一种在FED内产生与保持基本上无氧化性气体并包含10-5～10-1Pa 压力氢气的受控气氛的方法，该方法包括以下步骤：在熔封以前将负载有氢气的吸气剂放入FED内。随后，沿着组成FED的两个部件的边缘进行熔封，在该操作期间或以后，通过适宜安装的尾部对FED本身进行抽气，在抽空后通过“熔下”操作气密地封装该尾部。通过将吸气剂曝露于10-4～2×105Pa压力的氢气中使吸气剂负载氢气。
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公开(公告)号：CN1311894A
公开(公告)日：2001-09-05
申请号：CN99809180.4
申请日：1999-07-30
Applicant: 可印刷发射体有限公司
CPC classification number: H01J1/304 , H01J2201/30403
Abstract: 一种场致电子发射材料,具有一带导电表面的基底(1700)。导电表面上的电子发射点分别包括一层电绝缘材料(1703)来确定一在导电表面和绝缘层(1703)之间的第一界面区(1702),以及一在绝缘层(1703)和真空环境之间的第二界面区。处理或生成每一第一界面区(1702)以增强电子从导电表面注入绝缘层(1703)的概率。每一第一界面区(1702)经过这种处理或生成后,要么成为一绝缘体,要么从邻近导电表面的导电性渐变为邻近绝缘层(1703)的绝缘性。
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公开(公告)号：CN1150700A
公开(公告)日：1997-05-28
申请号：CN96111409.6
申请日：1996-08-23
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G09G3/2011 , B82Y10/00 , G09G3/2014 , G09G3/22 , G09G2310/027 , G09G2310/0275 , G09G2320/0223 , H01J2201/30403 , H01J2201/3165 , H01J2329/00
Abstract: 一种电子产生器件，包括一个具有以简单矩阵形式通过多个数据布线条，和多个扫描布线条布线连接的多个电子发射器的多电子源，以及一个驱动电路，用于驱动所述的多电子源，所述的驱动电路包括：第一驱动装置，用于向连接有发射电子的扫描布线条施加第一电压，并向连接有不发射电子的扫描布线条施加第二电压；第二驱动装置，用于向连接有发射电子的数据布线条施加第三电压，并向连接有不发射电子的数据布线条施加第四电压；其中所述的第二电压大体等于第三电压。
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公开(公告)号：CN1136364A
公开(公告)日：1996-11-20
申请号：CN95190982.7
申请日：1995-02-27
Applicant: 工程吸气公司
CPC classification number: H01J9/39 , H01J7/183 , H01J29/94 , H01J2201/30403 , H01J2209/385 , H01J2329/00
Abstract: 具有一内部真空空间的场发射平板显示器，真空空间内有：a)一层活性荧光粉和大量可在高电场作用下发射电子的微阴极(MT)：b)大量电极引线(P)和一真空稳定器(G)。所述真空稳定器基本上是由一多孔不挥发消气材料的多孔被支撑层组成，有20～180μm厚，放置在一个基本上独立于微阴极、荧光粉和引线的区域中。
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