公开(公告)号：CN104246965B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201380020619.2

申请日：2013-04-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  河西晋佐 ,  大泷智久 ,  安岛雅彦 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/261 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。

公开(公告)号：CN104246965A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380020619.2

申请日：2013-04-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  河西晋佐 ,  大泷智久 ,  安岛雅彦 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/261 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。

公开(公告)号：CN103367087A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310104256.2

申请日：2013-03-28

Applicant: FEI公司

Inventor： T.米勒 ,  S.克罗格 ,  J.兹布拉内克

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/045 ,  H01J37/243 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种用于关闭和恢复离子束系统中的离子束的改进的方法和设备。优选实施例提供了一种用于改善对聚焦离子束源的功率控制的系统，其利用自动检测带电粒子射束系统何时空闲（即射束本身未在使用中），并且之后使射束电流自动降低至在离子柱中的任何孔径面处发生很少或不发生离子铣削的程度。优选实施例包括控制器，其可操作成在检测到带电粒子射束系统的离子源的空闲状态时修改施加到提取器电极的电压和/或降低施加到源电极的电压。

公开(公告)号：CN103050361A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201210543969.4

申请日：2012-10-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J·比伯格 ,  R·普尔韦 ,  V·维乔雷克

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J37/045 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2487 ,  H01J2237/2602

Abstract: 一种运行粒子束系统的方法，其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间；产生包括多个数据记录的数据结构，其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模块的指令的命令，以及表示将指令发送给数据网络的时间的命令时间；按照命令时间将数据结构的记录分类；基于数据结构，产生一组数字命令；以及以与分类的记录的顺序相应的顺序发送该组的数字命令至网络。