公开(公告)号：CN108885187A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780019776.X

申请日：2017-01-27

申请人： 汉民微测科技股份有限公司

发明人： 任伟明 ,  刘学东 ,  胡学让 ,  陈仲玮

IPC分类号： G01N23/2251

CPC分类号： H01J37/06 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/6116 ,  H01J37/145 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2817

摘要： 提出了一种具有尺寸、取向和入射角可变的总FOV的新多束装置。新装置提供了加速样本观察和使得更多样本可观察的更大灵活性。更具体地，作为在半导体制造工业中检查和/或审查晶片/掩模上的缺陷的产量管理工具，新装置提供了实现高吞吐量和检测更多种类的缺陷的更多可能性。

公开(公告)号：CN104922804B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201510046560.5

申请日：2015-01-29

申请人： 住友重机械工业株式会社

发明人： 戸内豊 ,  井上淳一

IPC分类号： A61N5/10

CPC分类号： H01J37/304 ,  A61N5/1043 ,  A61N5/1067 ,  A61N5/1081 ,  A61N2005/1087 ,  H01J37/1474 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/30483

摘要： 本发明提供一种带电粒子线治疗装置，其在进行扫描时抑制带电粒子线的照射剂量的变动。本发明的带电粒子线治疗装置具备：回旋加速器，使带电粒子沿着规定轨道面进行回转的同时加速；照射部，使从回旋加速器射出的带电粒子线扫描的同时照射被照射体；测定部，测定从回旋加速器射出的带电粒子线的剂量；及控制部。回旋加速器具有：一对斩波电极，能够通过改变通过其之间的带电粒子的轨道来切换来自回旋加速器的带电粒子线的导通截止；及电源，对一对斩波电极施加电压。控制部根据由测定部测定的剂量来控制一对斩波电极中的至少一个的电压大小。

公开(公告)号：CN105023821B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201510148556.X

申请日：2015-03-31

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 椛泽光昭 ,  石川雅基 ,  上野勇介

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/141 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/31701

摘要： 本发明提供一种可减小向被处理物进行注入时的注入角度误差的离子注入装置及离子注入方法。离子注入装置(100)的射束线部具备转向电磁铁(30)、射束扫描器(34)及射束平行化器(36)。射束线部包含离子束的基准轨道，z方向表示沿基准轨道的方向，x方向表示与z方向正交的一个方向。转向电磁铁使离子束向x方向偏转。射束扫描器通过使离子束向x方向往复偏转，来扫描离子束。射束平行化器具备平行化透镜，该平行化透镜构成为使经扫描的离子束与z方向平行，平行化透镜在射束扫描器的扫描原点处具有焦点。控制部对转向电磁铁中x方向的偏转角度进行补正，以使偏转的离子束的实际轨道在xz面上于扫描原点处与基准轨道相交。

公开(公告)号：CN103383913B

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201310097345.9

申请日：2013-03-25

申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司

发明人： 黃至鸿 ,  张钧琳 ,  郑迺汉 ,  杨棋铭 ,  林进祥

IPC分类号： H01L21/265 ,  H01J37/32 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3023 ,  H01J37/3172 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/30477 ,  H01J2237/30483 ,  H01L21/265 ,  H01L21/68764

摘要： 提供了一种用于离子注入方法和装置的工艺控制方法以在衬底上提供诸如可以补偿明显非均匀性的高剂量区域。在离子注入工具中，提供单独可控电极作为设置于离子束外部的多组相对电极。离子束阻挡件可定位在离子束中。电极和离子束阻挡件都可控制地减少入射在衬底上的离子束的区域。电极和离子束阻挡件也改变入射在表面上的区域减小的离子束的位置。衬底扫描穿过离子束的速度可以在注入工艺期间动态改变以在衬底中生成各种剂量浓度。本发明还提供了离子注入工艺和装置的离子束尺寸控制以及先进工艺控制。

公开(公告)号：CN101019203A

公开(公告)日：2007-08-15

申请号：CN200580021202.3

申请日：2005-04-29

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： 皮特·克鲁特

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/06316

摘要： 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的带电粒子束曝光装置，包括：射束发生器，它包括基本在一个平面中的多个n个带电粒子源(1)，每个源适合于产生带电粒子束；第一孔径阵列(4)，它包括多组孔径，每组孔径对准一个源，以将每个射束分裂成多个细射束m，从而导致总共n×m个细射束；以及偏转器阵列(6)，它包括多组偏转器，每组偏转器对准一个源和一组孔径，一个组中的每个偏转器对准相应组的孔径，并且每组偏转器可用于确证对其相应射束的准直影响。

公开(公告)号：CN107768220A

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201710859427.0

申请日：2017-09-21

申请人： 北京中科科仪股份有限公司

发明人： 孟祥良

IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/1474 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28

摘要： 本发明的一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置，其中扫描线圈包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外。封装胶体层将所述骨架、线圈、电路板封装一体，该扫描线圈为一体结构，在镜筒内安装固定方便，相对于中心轴线旋转对称性较高。灌封装置设有对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构，能保证灌封后的扫描线圈相对于中心轴线具有较高的旋转对称性。

公开(公告)号：CN105304442A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201510310676.5

申请日：2015-06-09

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 椛泽光昭 ,  八木田贵典

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/21

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474

摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置(300)具备：射束扫描部(306)；及配设于射束扫描部(306)的下游的射束平行化部(308)。射束扫描部(306)在入射离子束的中心轴上的射束扫描部(306)的中央部具有扫描原点。射束平行化部(308)在扫描原点具有作为平行化透镜的焦点。离子注入装置(300)构成为，向射束扫描部(306)入射的入射离子束的焦点位置沿着入射离子束的中心轴而位于扫描原点的上游侧。向射束扫描部(306)入射的入射离子束的焦点位置被调整为，沿着入射离子束的中心轴而位于扫描原点的上游侧，以便补正由从射束平行化部(308)射出的出射离子束的空间电荷效应引起的发散现象。

公开(公告)号：CN103050361A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201210543969.4

申请日：2012-10-08

申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

发明人： J·比伯格 ,  R·普尔韦 ,  V·维乔雷克

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/265 ,  H01J37/045 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2487 ,  H01J2237/2602

摘要： 一种运行粒子束系统的方法，其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间；产生包括多个数据记录的数据结构，其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模块的指令的命令，以及表示将指令发送给数据网络的时间的命令时间；按照命令时间将数据结构的记录分类；基于数据结构，产生一组数字命令；以及以与分类的记录的顺序相应的顺序发送该组的数字命令至网络。

公开(公告)号：CN102005358B

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201010520806.5

申请日：2005-04-29

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： 皮特·克鲁特

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/06316

摘要： 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的带电粒子束曝光装置，包括：射束发生器，它包括基本在一个平面中的多个n个带电粒子源(1)，每个源适合于产生带电粒子束；第一孔径阵列(4)，它包括多组孔径，每组孔径对准一个源，以将每个射束分裂成多个细射束m，从而导致总共n×m个细射束；以及偏转器阵列(6)，它包括多组偏转器，每组偏转器对准一个源和一组孔径，一个组中的每个偏转器对准相应组的孔径，并且每组偏转器可用于确证对其相应射束的准直影响。

公开(公告)号：CN100589225C

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200580009834.8

申请日：2005-11-14

申请人： 株式会社爱发科

发明人： 小方诚司 ,  樱田勇藏 ,  关口雅行 ,  西桥勉

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  H01J37/147

CPC分类号： H01L21/265 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/30483

摘要： 本发明的课题是提供能抑制离子束的发散、能进行精细的扫描波形的控制、可得到约10°的大的扫描角的离子注入装置。在离子注入装置中，作成了具备如下的离子束扫描机构(10A)的结构：在离子束线上的规定部位上配置第1、第2、第3室(12A、14A、16A)，第2室(14A)，相对于第1、第3室(12A、16A)间隔第1、第2间隙(20A、22A)配置，第2室(14A)经在第1、第2间隙(20A、22A)中安装了的第1、第2这2对电极对(26A、28A)与第1、第3室(12A、16A)电绝缘，而且，第1、第2这2对电极对(26A、28A)以规定的角度与离子束的基准轴J在相反的方向上倾斜地相交，并且施加所希望的扫描波形的电位的扫描电源(40A)与第2室(14A)连接。