公开(公告)号：CN102105701A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200880130531.5

申请日：2008-07-31

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 水野纯一 ,  饭田知良 ,  田中尚志 ,  佐桥俊克

IPC: F15B11/00 ,  F16K27/00

CPC classification number: F16K27/003 ,  F15B21/048

Abstract: 气动控制器单元10的构成要素包括流体控制器块20(201～204)和接头块30(301～303)。通过连接突出部26、36，一对槽部25、35，和2个具备固定孔以及扣合凹部的连结部件40来对构成要素进行连结。

公开(公告)号：CN101349355B

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN200810128152.4

申请日：2008-07-21

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 正村彰规

IPC: F16K7/16 ,  F16K27/00 ,  F16K37/00

CPC classification number: F16K27/0236 ,  F16K31/122 ,  F16K31/1223

Abstract: 本发明涉及一种流体控制阀，其可防止阀主体和阀上体之间的螺旋部分的松动，该流体控制阀包括树脂阀主体以及与所述阀主体接合的树脂阀上体，在所述阀主体中阀座与隔膜接触或脱离。该流体控制阀包括保持部件以保持所述阀主体和所述阀上体螺纹拧紧在一起。

公开(公告)号：CN101424948B

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN200810173857.8

申请日：2008-10-29

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 中田明子 ,  加藤启介 ,  杉野彰仁 ,  土居广树

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/34

CPC classification number: G01F25/0038 ,  G01F25/0053

Abstract: 流量检验故障诊断设备。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统，该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元，该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件，该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式，由此能够增强流量检验的可靠性。

公开(公告)号：CN101210317B

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200710194075.8

申请日：2007-11-30

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 荻原立典 ,  井上贵史 ,  稻垣竹矢

IPC: C23C16/44 ,  H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明提供一种可以减小底座空间的气体集成单元。在气体集成单元中，设有：第一气体单元(72A、72B、72C)，控制第一气体的供给；第二气体单元(73)，与第一气体单元(72A、72B、72C)连接并通过多个流体控制部件(31～34、38A～43A、38B～43B、38C～43C)控制汇合至第一气体单元(72A、72B、72C)的清扫气体；和层叠块(61A、61B、61C)，叠置在第一气体单元(72A、72B、72C)上，并且，将流体控制部件的一部分(38A、38B、38C)叠置在层叠块(61A、61B、61C)上。

公开(公告)号：CN101377255B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200810214921.2

申请日：2008-08-29

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 渡边雅之 ,  宫原诚 ,  梅泽俊祐

IPC: F16K41/10 ,  F16K1/48 ,  F16K31/122 ,  F16K27/02 ,  F16K51/02

Abstract: 一种可以连接真空腔和真空泵的耐用的真空开/关阀，所述真空开/关阀设置为通过改变作为阀元件的O形圈相对于阀座的开度来控制所述真空腔中的真空压力。活塞的外周表面和气缸的内周表面之间的预定间隙被波纹密封件密封，所述波纹密封件根据通过移动打开或者关闭所述阀的活塞的运动而改变形状。所述波纹密封件包括具有预定倾斜角的倾斜表面，所述活塞的外周包括具有预定倾斜角的倾斜表面，这样，当所述阀元件与所述阀座接触时，与活塞接触的波纹密封件的内直径等于活塞的外直径。

公开(公告)号：CN101738330A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200910206886.4

申请日：2009-10-27

Applicant: 关东化学株式会社 ,  日曹工程股份有限公司 ,  喜开理株式会社

Inventor： 西郡和弘 ,  小宫三男 ,  吉田启幸 ,  田村元 ,  宫下路生 ,  国立善弘 ,  饭田裕树

IPC: G01M19/00 ,  F16K31/12 ,  F16K37/00

Abstract: 本发明提供一种气动阀诊断方法、气动阀诊断装置及气动阀，用于确认气动阀的动作状态。所述气动阀诊断方法用于确认气动阀(10)的动作状态，包括：预备工序，在气动阀(10)的初始状态，使AE传感器(2)抵接于气动阀(10)，在将操作流体供给到气动阀(10)的操作口(7)时，或在排出操作流体时，对开闭时发出的声音进行计测、记录；第一工序，在气动阀(10)重复动作后，使AE传感器(2)抵接于气动阀(10)，在将操作流体供给到气动阀(10)的操作口(7)时，或在排出操作流体时，对开闭时发出的声音进行计测、记录；以及确认工序，对在第一工序计测到的值和在预备工序计测到的值进行比较，以确认气动阀(10)的动作状态的变化。

公开(公告)号：CN101438091A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200680054549.2

申请日：2006-06-02

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 守谷修司 ,  长冈秀树 ,  冈部庸之 ,  板藤宽 ,  土居广树 ,  伊藤稔

IPC: F16L41/02 ,  F16K27/00 ,  F17D5/00

CPC classification number: F17D1/04 ,  Y10T137/87177 ,  Y10T137/87885

Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12－17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2－6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。

公开(公告)号：CN101414162A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200810166192.8

申请日：2008-10-15

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 伊藤一寿 ,  西村康典 ,  西川桂一 ,  杉野彰仁

IPC: G05B19/04 ,  G05D7/01 ,  G05D7/06 ,  H01L21/00 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45523 ,  C23C16/45561 ,  Y10T137/877

Abstract: 一种用于分配和供应流体的流体分流和供应单元，其适合于及时控制要被分配的流体的流量并迅速地以预先确定好的分流比输出该流体。该流体分流和供应单元包括用于控制流体流量的流量控制装置和多个连接到所述流量控制装置次级侧的开关阀。通过确定与所述开关阀的操作周期相对应的一个循环并以所述分流比对所述一个循环进行时间分割来占空控制所述开关阀打开和关闭。

公开(公告)号：CN100454200C

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN200480016146.X

申请日：2004-06-04

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 河野哲儿郎 ,  土居广树 ,  伊藤稔 ,  长冈秀树 ,  伊藤惠贵 ,  远藤宏纪 ,  岛津强 ,  广濑润 ,  胜又治 ,  三浦和幸 ,  北泽贵

IPC: G05D16/20

CPC classification number: G05D16/206 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87877

Abstract: 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。

公开(公告)号：CN100434783C

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200480036690.0

申请日：2004-11-09

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 丹羽庸夫 ,  渡边雅之 ,  小泽幸生 ,  西田成伸 ,  西村康典 ,  高阪明子

IPC: F16K31/06

CPC classification number: F16K31/0655 ,  F16K31/0672

Abstract: 一种电磁阀(1)，其能够处理腐蚀性控制流体并且能够产生增加的吸力，其中设于缠绕线圈(29)内的固定铁芯突出到该缠绕线圈(29)的下侧；支持阀片(17)的柱塞(16)被板簧(18)支撑在该固定铁芯下方，该阀片(17)在板簧(18)的弹簧力的作用下而一直与阀座(13)保持接触；且通过给缠绕线圈(29)通电，该阀片(17)克服板簧(18)的弹簧力而与阀座(13)分离开。该固定铁芯被分成上下两个部分，设于缠绕线圈(29)内且不与控制流体接触的第一固定铁芯(26)由具有高磁导率的材料制成，而从该缠绕线圈(29)向下突出的第二固定铁芯(27)由抗腐蚀性的材料制成，该材料适应高腐蚀控制流体。