用于线路的蚀刻液、制造线路的方法和包括此方法的制造薄膜晶体管阵列板的方法

    公开(公告)号:CN1547680A

    公开(公告)日:2004-11-17

    申请号:CN02816648.5

    申请日:2002-07-03

    Inventor: 朴弘植 姜圣哲

    CPC classification number: H01L27/124 G02F1/136286

    Abstract: 在制造TFT阵列基板的方法中,在绝缘基板上形成栅线路。栅线路含有栅线、栅电极和与栅线相连的栅垫。依次形成栅绝缘层和半导体层。形成包括多个与栅线交叉的数据线、多个与数据线相连并位于栅电极附近的源电极、多个依照栅电极与源电极正对的漏电极以及与数据线相连的数据垫的数据线路。沉积形成保护层,在保护层上形成图案以形成至少使漏电极暴露的接触孔。在保护层上沉积银或银合金导电层。用包括磷酸、硝酸、醋酸、过氧一硫酸钾和超纯水的蚀刻液或包括硝酸、醋酸、乙二醇和超纯水的蚀刻液在保护层上形成图案,因此形成反射层。反射层是通过接触孔与漏电极连接的。

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