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公开(公告)号：CN110132125A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910300212.4
申请日：2019-04-15
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B9/02 , G01N21/95 , G01N21/958
摘要： 一种光栅剪切干涉光学元件缺陷检测装置与检测方法，检测装置包括光纤、分束镜、第一准直透镜、被测样品组、光阑、第二准直透镜、光栅剪切干涉波前传感器和平移调节台。本发明具有能够测量光学元件反射或透射相位缺陷或者缺陷的相位信息，与干涉仪相比不需要参考光、系统结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN109031686A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810895303.2
申请日：2018-08-08
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号： G02B27/48 , G02B26/0875
摘要： 一种降低激光相干性的装置，包括激光器、运动执行机构、第一电机驱动器、第二电机驱动器、运动控制器、上位机、第一透镜、透镜固定座、散射体材料、电机、第二透镜、分光镜、双缝板、相机；上位机分别与所述的运动控制器、相机通信连接；所述的运动控制器的第一输出端与第一电机驱动器的输入端相连。本发明通过运动执行机构沿着激光器输出的准直光束传播方向进行直线运动，调节经过第一透镜形成的光斑宽度，控制光斑被旋转的散射体材料散射的程度大小，不仅降低了激光的相干性，并对部分相干光的相干度进行实时可调，使得部分相干光的相干度满足干涉测量、全息及投影等系统中对部分相干光的需求。
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公开(公告)号：CN108844454A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810663273.2
申请日：2018-06-25
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 一种干涉仪相移装置，包括气体密闭容器、第一光纤耦合器和第二光纤耦合器、连接在光纤耦合器上的第一光纤传输线和第二光纤传输线、气压控制模块或者温度控制模块，第一光纤耦合器和第二光纤耦合器相互准直。本发明利用改变容器内气体的气压或者温度从而改变气体折射率的方法在测量成像系统光路以外产生连续相移，消除了传统相移产生的系统误差，具有成本低、结构简单以及易组装操作的优点。
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公开(公告)号：CN110736544B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201910948566.X
申请日：2019-10-08
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及标定方法。该标定装置包括准直光源、圆形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的差分波前信息，并根据差分波前的特征图形面积大小，计算剪切量的标定结果。本发明采用圆形相位台阶标定板，基于差分波前的特征图形对剪切量进行标定，对相位板的摆放角度无特殊要求，从而在简化了标定装置的同时，提高了剪切量标定的精度。
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公开(公告)号：CN108106818B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201711310720.8
申请日：2017-12-11
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种光学成像系统倍率与畸变高精度测量装置，包括至少两个点光源、面阵探测器、物方工作台、像方工作台，其中：由物方工作台承载的两个点光源位于待测光学成像系统的物方视场内，出射光来自同一光源并可相互干涉；而由像方工作台承载的面阵探测器位于待测光学成像系统的像方区域。采用上述装置测量待测光学成像系统的倍率与畸变：首先，测量成像系统中心视场沿物方工作台X和Y方向的倍率作为这两个方向上的理想倍率βx0和βy0；然后，通过测量相邻两个点光源间距及其经过成像系统后所成的两个像点间距，得到成像系统全视场X和Y方向的倍率分布；最后利用各视场点的倍率和坐标值，得到全视场X和Y方向上相对畸变分布。
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公开(公告)号：CN108036720B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201711098310.1
申请日：2017-11-09
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 一种精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、待测精密转台和反射球面光学元件；所述的反射球面光学元件安装在待测精密转台上，待测精密转台的旋转轴通过反射球面光学元件的标准球面的曲率中心；通过波面测量干涉仪测量结果是Fringe Zernike多项式第Z2(X倾斜)、Z3(Y倾斜)，和Z4(离焦)项的系数，计算反射球面光学元件曲率中心与波面测量干涉仪输出球面光波的汇聚中心间的偏离，精确得到待测精密转台轴向与径向跳动。本发明具有装置结构简单、操作方便、测量精度不依赖于标准样品精度的优点。
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公开(公告)号：CN108955905A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810247425.0
申请日：2018-03-23
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明涉及一种基于圆形透光区域改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法。该波前传感器包括衍射元件、探测器，其中，衍射元件是由棋盘型相位光栅与透光区域为圆形的振幅光栅所组成的混合光栅，在用于四波前剪切干涉时，具有比目前广泛使用的改进型哈特曼掩模(Modified Hartmann Mask,MHM)更好的衍射频谱特性，即更高的±1级衍射效率，从而进一步降低差分波前提取过程中的系统误差，提升测量精度；通过适当选择振幅光栅的量化因子，可以在保证衍射效率的前提下简化光栅结构，降低元器件的加工难度。该装置可用于高精度波前检测领域。
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公开(公告)号：CN104267556B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201410491343.2
申请日：2014-09-24
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种可补偿光程差的光纤相移装置，包括底座、分别固定在该底座两端的第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块，第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块相互准直，第一光纤耦合器模块包括第一光纤传输线、第一五自由度加旋转调整光纤耦合器和第一支架，第一五自由度加旋转调整光纤耦合器通过第一支架固定在底座上，第一光纤传输线与第一五自由度加旋转调整光纤耦合器相接。本发明在测量成像系统光路以外产生相移，消除了传统相移产生的系统误差，能够补偿特殊光程差，简化了测量系统整体结构，且具有结构简单、组装容易的优点。
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公开(公告)号：CN105466668A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510982725.X
申请日：2015-12-24
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01J9/02 , G01J1/0437 , G01J2009/0223 , G01J2009/0226 , G01J2009/0261 , G01M11/0271
摘要： 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出，降低了系统复杂性，提高了光能利用率；该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。
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公开(公告)号：CN204166257U
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201420550029.2
申请日：2014-09-24
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种光纤相移装置，包括底座、分别固定在该底座两端的第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块，第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块相互准直，第一光纤耦合器模块包括第一光纤传输线、第一五自由度加旋转调整光纤耦合器和第一支架，第一五自由度加旋转调整光纤耦合器通过第一支架固定在底座上，第一光纤传输线与第一五自由度加旋转调整光纤耦合器相接。本实用新型在测量成像系统光路以外产生相移，消除了传统相移产生的系统误差，能够补偿特殊光程差，简化了测量系统整体结构，且具有结构简单、组装容易的优点。
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