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公开(公告)号：CN115494375A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211307056.2
申请日：2022-10-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种超导器件的常温检测方法及系统，包括：选择参考超导器件，测定参考超导器件的常温电阻值以及低温下的工作状态；若参考超导器件在低温条件下的工作状态正常，则将参考超导器件的常温电阻值作为参考值；若参考超导器件的状态不正常，则重新选择参考超导器件；在常温条件下，测试被测超导器件的常温电阻值并与参考值进行对比，判断被测超导器件是否损害。本发明利用了超导器件的常温特性进行检测，检测方法快速高效，能适用于晶圆上的超导芯片的批量检测。
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公开(公告)号：CN113325353A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110777426.8
申请日：2021-07-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种磁强计空间姿态标定方法及系统，方法至少包括：S1：基于总场磁力仪标定线圈装置的误差模型中的正交度、线圈系数和零偏；S2：将待测磁强计放置在已完成误差模型标定的线圈装置的均匀磁场区中，在所述待测磁强计空间姿态未知的前提下标定所述待测磁强计的灵敏度系数；S3：改变已校正的所述线圈装置的激励磁场，在标定所述待测磁强计的灵敏度系数的基础上，根据所述待测磁强计的测量输出，求解所述待测磁强计相对所述线圈装置的校正参考坐标系的方向余弦，并解算各所述待测磁强计法向量的夹角，从而获得所述待测磁强计的空间姿态。
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公开(公告)号：CN110133544B
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201910399862.9
申请日：2019-05-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/025 , G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种航空超导全张量磁补偿系数的获取方法、终端及存储介质，所述获取方法包括：基于动态测量数据获取平面梯度计关于涡流干扰的磁补偿系数近似值，并以此获取平面梯度计关于涡流干扰的磁补偿系数取值约束范围；在飞行器携带置于其内的航空超导全张量磁梯度测量系统进行高空机动飞行时，获取航空超导全张量磁梯度测量系统输出的磁梯度测量值及三轴磁场分量测量值；以平面梯度计关于涡流干扰的磁补偿系数取值约束范围作为约束条件，并将磁梯度测量值及三轴磁场分量测量值代入具有约束条件的磁补偿模型中，从而获取航空超导全张量磁补偿系数的最优值。通过本发明解决了现有方法无法获取航空超导全张量磁补偿系数最优解的问题。
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公开(公告)号：CN109633491B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201910061775.2
申请日：2019-01-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种全张量磁梯度测量系统安装误差的标定装置及标定方法，所述标定装置包括：激励源，电连接于所述激励源的标定源，设于所述标定源下方的无磁安置台，设于所述标定源一侧的安装支架，设于所述安装支架上的全张量磁梯度测量组件，刚性连接于所述全张量磁梯度测量组件的组合惯导，电连接于所述全张量磁梯度测量组件及所述组合惯导的测控组件，及设于所述标定源一侧的姿态调整装置。通过本发明提供的全张量磁梯度测量系统安装误差的标定装置及标定方法，解决了现有技术无法提供一种简单、便捷的标定装置及标定方法的问题。
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公开(公告)号：CN111413651A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010235929.8
申请日：2020-03-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/032 , G01R33/025
Abstract: 本申请公开了一种磁场总场的补偿方法、装置、系统及存储介质，通过超导三轴磁强计获取磁场在坐标系下的分量值，通过光泵传感器获取磁场的光泵总场值，对分量值进行校正，得到校正后的分量值。利用磁干扰补偿模型、校正后的分量值和光泵总场值得到方向余弦特征矩阵，通过惯导传感器获取姿态信息，基于姿态信息确定姿态特征矩阵，对方向余弦特征矩阵，姿态特征矩阵进行滤波处理，得到滤波后的方向余弦特征矩阵和滤波后的姿态特征矩阵。将滤波后的方向余弦特征矩阵和滤波后的姿态特征矩阵输入已训练好的磁场补偿模型，得到补偿的磁干扰值，根据光泵总场值和补偿的磁干扰值得到目标磁场总场值。如此，可以得到精度更高的磁场总场值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111077595A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911274147.9
申请日：2019-12-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种超导磁测系统角度误差的校正方法及存储介质，采用一套磁测装置来确定全张量磁梯度测量组件与组合惯导之间的角度安装误差，所述方法包括：利用总场探测器获取外界磁场总场；根据所述外界磁场总场，对三轴磁强计磁场进行校正，获得校正后的三轴磁强计的磁场分量信息；将所述三轴磁强计的磁场分量信息与地球磁场模型信息进行对比，获得三轴磁强计的磁场姿态信息；将组合惯导获取的姿态信息与所述三轴磁强计的磁场姿态信息进行对比，即可获得两组姿态间的目标安装误差；根据所述目标安装误差值进行角度安装误差的校正。本校正方法简单、精准度高，特别适合在实际的超导磁测量领域中应用。
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公开(公告)号：CN110850341A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911184593.0
申请日：2019-11-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种SQUID探测模块及SQUID传感器，包括：SQUID器件及超导线圈环，所述SQUID器件感应所述超导线圈环探测到的磁通并转换为电信号；其中，所述超导线圈环包括首尾相连的第一超导线圈单元及第二超导线圈单元，所述第一超导线圈单元及所述第二超导线圈单元的连接节点作为引线端子接收反馈信号。本发明的SQUID探测模块及SQUID传感器无需反馈线圈，节省端口、成本，简化版图设计难度，降低工艺难度，提高了成品率；且采用直接电反馈，减少了磁通泄露，对于多通道应用具有重要意义，可以大大降低通道间磁通干扰和耦合，解决多通道间信号串扰问题，降低了系统信号提取的难度。
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公开(公告)号：CN108539004A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810375704.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法，包括如下步骤：1）提供一衬底，并于衬底的上表面形成底层超导薄膜层、绝缘薄膜层及顶层超导薄膜层；2）刻蚀去除部分顶层超导薄膜层、部分绝缘薄膜层及部分底层超导薄膜层；3）于步骤2）所得到结构的表面形成一第一绝缘层；4）于步骤3）所得到结构的表面形成第二绝缘层；5）于步骤4）所述得到结构的表面形成附加超导薄膜层，并刻蚀附加超导薄膜层以形成第二亚微米线条，第二亚微米线条至少与第一亚微米线条呈十字交叉连接。本发明可以有效解决现有技术中存在的电极窗口问题；双层绝缘层不仅改善了边缘效应、降低了台阶过渡处漏电流的产生，还有利于提高约瑟夫森结的质量及可靠性。
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公开(公告)号：CN108011033A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711401031.8
申请日：2017-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L39/24 , H01L27/18 , H01L39/04 , G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种SQUID平面梯度计芯片的封装结构及封装方法，所述封装方法包括：提供一SQUID平面梯度计芯片；于所述SQUID平面梯度计芯片的下方设置至少一层缓冲层；于所述缓冲层的下方设置一基板，并于所述基板上制作与所述SQUID平面梯度计芯片的电极电性连接的引出电极；以及于所述基板上设置一封装盖板，其中，所述SQUID平面梯度计芯片及所述缓冲层均封装于所述封装盖板内。通过本发明提供的SQUID平面梯度计芯片的封装结构及封装方法，解决了现有SQUID平面梯度计芯片封装结构的不平衡度指标较差的问题。
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公开(公告)号：CN107870262A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201711058842.2
申请日：2017-11-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R23/10 , G01R33/032 , G04R20/02
Abstract: 本发明涉及一种基于GPS授时的高精度光泵磁力仪计频装置及方法，其中，所述装置包括：依次连接的一用于提供GPS秒脉冲信号的GPS接收机、一FPGA板卡、一频率计算模块和一晶振修正模块，以及一与所述FPGA板卡连接的多路选择器以及一与所述多路选择器和所述晶振修正模块连接的用于提供时钟脉冲信号的恒温晶振。本发明可以在解除因使用GPS授时所带来的测量地点限制的同时，很方便地通过多路协同计数方法提高频率测量的精度。此外，按本方法构建的高精度计频装置实现简单、适应性强、灵活度高、电磁兼容好，非常适合于光泵磁力仪等以频率输出测试结果的传感器。
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