一种刹车盘跳动、DTV检测工装及应用方法

    公开(公告)号:CN107843166A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201710994311.8

    申请日:2017-10-23

    IPC分类号: G01B5/00 G01B5/06

    摘要: 一种刹车盘跳动、DTV检测工装及应用方法。一种刹车盘跳动、DTV检测工装,其组成包括:操作平台,所述的操作平台上放置底座,所述的底座的顶部连接定位柱,所述的底座的上部具有圆台面,所述的圆台面卡入碗状底座的底部,所述的碗状底座具有夹角为90°的4个卡口,所述的碗状底座插入刹车盘,所述的定位柱连接锥形头,所述的锥形头压住固定所述的刹车盘,所述的底座、所述的碗状底座、所述的锥形头同圆心。本发明用于刹车盘跳动、DTV检测工装。

    一种静电吸盘的制备方法
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117646185A

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202311671318.8

    申请日:2023-12-07

    IPC分类号: C23C16/02 C23C16/34 C23C16/26

    摘要: 本发明属于化学气相沉积制作加热技术领域,具体涉及一种静电吸盘的制备方法,通过以石墨作为基板,基板整体依次沉积一定厚度的氮化硼涂层和热解石墨涂层,将一面热解石墨涂层加工成加热电路形态,另一面加工成在吸附电路形态;最后对加热面沉积一层氮化硼涂层,而对吸附面的PBN涂层则进行掺C沉积。热解氮化硼涂层和热解石墨导电层均具有很高的致密性及稳定性,在使用过程中静电吸盘本体不会造成污染;采用了和热解氮化硼膨胀系数相近的石墨材质作为基体,避免了反复升温、降温因不同材质膨胀系数差异大造成的应力应变而导致的形变;通过对吸附面PBN涂层中掺杂C,提高了PBN涂层的致密度、抗击穿能力。

    一种用于水平横置的陶瓷点源

    公开(公告)号:CN114836721B

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202210439860.X

    申请日:2022-04-25

    IPC分类号: C23C14/26 C23C14/54

    摘要: 本发明涉及一种用于水平横置的陶瓷点源,属于点蒸发源技术领域,包括法兰盘,法兰盘一侧设有冷却筒,冷却筒内部设有加热部件,坩埚位于加热部件内,加热部件外部设有热电偶,冷却筒内设有循环冷却水,加热部件为陶瓷复合加热器,加热部件上开设通槽,加热部件外部设有支撑环,支撑环内侧设有支撑弧台,支撑弧台顶部穿过通槽,形成对坩埚埚身的支撑。本发明采用贯穿陶瓷复合加热器的支撑环组件,将坩埚负载从陶瓷复合加热器转移到金属反射筒上,提高了陶瓷复合加热器的使用寿命,实现对坩埚的支撑定位,满足点源以水平横置方式进行蒸镀的工艺要求。

    一种T型夹持杆的加工方法
    36.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112264648B

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202010920011.7

    申请日:2020-09-04

    IPC分类号: B23C3/00 B23P13/02

    摘要: 本发明涉及一种T型夹持杆的加工方法,该方法包括1)先利用刀具切削出长方体形氮化硼毛坯;2)将毛坯安装在铣床上,利用磨削刀具对毛坯的六个面磨削铣平加工出T型面,加工过程中要先加工台阶面,再加工两侧面;3)将加工出T型面的毛坯上下颠倒,再次安装在铣床上,利用铣床磨具将高度方向的余量磨削掉,得到最终的T型夹持杆成品。本发明T型夹持杆的加工方法,实现了夹持杆加工的国产化,同时保证了加工精度要求,实现慢波电路的可靠装配。利用铣床磨削刀具进行高速切削加工,具备可靠优良的加工效果,同时加工效率高,加工成本低。

    一种弧型夹持杆的加工方法

    公开(公告)号:CN112264647B

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202010919999.5

    申请日:2020-09-04

    IPC分类号: B23C3/00 B23P13/02

    摘要: 本发明涉及一种弧型夹持杆的加工方法,该方法包括1)先利用刀具切削出长方体形氮化硼毛坯;2)将毛坯安装在铣床上,利用磨削刀具对毛坯的六个面磨削铣平加工出T型面;3)将加工出T型面的毛坯上下颠倒,再次安装在铣床上,利用铣床磨具将高度方向的余量磨削掉,得到T型夹持杆成品;4)将T型夹持杆成品上下颠倒,再次安装在铣床上,利用弧形刀具将T型夹持杆的小端加工出凹弧面;5)将步骤4)加工后的T型夹持杆成品上下颠倒,再次安装在铣床上,利用拉削刀具将T型夹持杆的大端加工出凸弧面,最终得到弧型夹持杆成品。本发明实现了弧型夹持杆加工的国产化,保证了加工精度要求,实现慢波电路的可靠装配。

    一种氮化硼板材的高产量生产装置及方法

    公开(公告)号:CN112226741A

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN202011021206.4

    申请日:2020-09-25

    摘要: 本发明涉及一种氮化硼板材的高产量生产装置及方法,生产装置包括气相沉积炉,气相沉积炉包含上炉盖和下炉盖,上炉盖设置有上进气管,下炉盖设置有下进气管,气相沉积炉侧壁的上部和下部分别设置有上出气口和下出气口,气相沉积炉的上下两端分别通过旋转轴设置有模具单元,旋转轴连接电机;模具单元包括六面体结构的板材模具,板材模具的一个面通过石墨螺钉与石墨板连接,石墨板连接有吊杆,吊杆设置有螺栓孔,并且通过螺栓孔与旋转轴连接。本发明还提供氮化硼板材的高产量生产方法和模具单元。本发明的板材模具采用长方体形状或正方体形状,每个板材模具可以在相同的生产周期内生产出六块板材,大大提高了生产效率。

    一种掺B的PG制备方法
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111809163A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN202010624958.3

    申请日:2020-07-02

    IPC分类号: C23C16/34 C23C16/02 C23C16/26

    摘要: 本发明涉及一种掺B的PG制备方法,该方法包括以下步骤:1)用化学气相沉积法生产出PBN基体2)将步骤1)修磨后的PBN基体放入CVD反应炉内,向炉内通入含硼化合物、甲烷或丙烷以及惰性气体,在PBN基体的表面形成一种B掺杂的PG涂层3)对步骤2)中的PG涂层通过机械加工或激光加工方式加工成特定花纹4)将步骤3)加工完花纹后的PBN基体再次放入CVD反应炉内,通入含有氮源和硼源的气体,在高温低压的环境下沉积一层PBN保护层。本发明创造性的将B掺入到PG层内,可以实现随着温度的升高,加热器电阻值升高,抵消一部分高温下散失的更多热量,这样电源的功率调节幅度很小,同时在高温下的加热速率会更快。