公开(公告)号：CN108666190B

公开(公告)日：2022-02-15

申请号：CN201810258355.9

申请日：2018-03-27

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 麻生拓笃 ,  上本敦 ,  麻畑达也 ,  铃木将人

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/06

Abstract: 本发明提供便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。本发明的便携式信息终端能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。该便携式信息终端是与通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI(Graphical User Interface：图形用户界面)的图像，该GUI是能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。

公开(公告)号：CN112563103A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN202011014963.9

申请日：2020-09-24

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 村木礼奈 ,  上本敦 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，能够使自动微采样高速化。带电粒子束装置是从试样自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置着所述试样移动；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离及摘出的所述试样片；保持器固定台，其保持供移设所述试样片的试样片保持器；以及计算机，其根据学习第1信息而得到的机器学习的模型和第2信息来进行与第2对象物相关的位置的控制，其中，所述第1信息包含第1对象物的第1图像，所述第2信息包含通过所述带电粒子束的照射而取得的第2图像。

公开(公告)号：CN112563101A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN202011007799.9

申请日：2020-09-23

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 村木礼奈 ,  上本敦 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，能够使自动MS稳定化。带电粒子束装置是从试样中自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载台，其载置试样而移动；试样片移设单元，其保持从试样中分离并摘出的试样片而进行输送；支架固定台，其保持用于移设试样片的试样片支架；以及计算机，其基于根据针对与对象物相关的位置的第1判定的结果而进行的针对位置的第2判定的结果、以及包括通过带电粒子束的照射而取得的图像在内的信息，进行位置的控制。

公开(公告)号：CN110176379A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201910126745.5

申请日：2019-02-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 山本洋 ,  酉川翔太 ,  铃木秀和 ,  铃木浩之 ,  冈部卫 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/244

Abstract: 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法。提供如下的带电粒子束装置和使用该带电粒子束装置的试样加工观察方法，该带电粒子束装置具备镓离子束镜筒、具有半浸没透镜型的物镜的电子束镜筒和气体离子束镜筒，能够在短时间内高效地进行试样的精加工和试样加工面的高精度的SEM像取得。带电粒子束装置的特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。