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公开(公告)号:CN103168014B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201180050730.7
申请日:2011-10-11
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/581 , C04B35/04 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC classification number: H01L21/67 , B32B18/00 , C04B35/58 , C04B35/581 , C04B35/6261 , C04B35/62655 , C04B35/645 , C04B37/001 , C04B37/003 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3225 , C04B2235/3865 , C04B2235/5445 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C04B2237/08 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/36 , C04B2237/366 , C04B2237/58 , C04B2237/704 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , C23C14/3414 , H01L21/6831 , H05B1/00 , H05B3/283 , Y10T428/24942
Abstract: 一种加热装置,其包括具有加热半导体的加热面的基座(2)和接合到该基座(2)的背面的支撑部(3)。基座(2)由以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料构成,该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相,且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47~50°。
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公开(公告)号:CN103201236B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201180051354.3
申请日:2011-10-11
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/31 , C04B35/04 , C04B35/581
CPC classification number: H01L21/67 , B32B18/00 , C04B35/58 , C04B35/581 , C04B35/6261 , C04B35/62655 , C04B35/645 , C04B37/001 , C04B37/003 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3225 , C04B2235/3865 , C04B2235/5445 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C04B2237/08 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/36 , C04B2237/366 , C04B2237/58 , C04B2237/704 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , C23C14/3414 , H01L21/6831 , H05B1/00 , H05B3/283 , Y10T428/24942
Abstract: 加热装置(1A)包括具有加热半导体W的加热面(9a)的基座(9A)、设在加热面(9a)的外侧的环状部(6A)。环状部(6A)由以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料构成,该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相,且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47~50°。
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公开(公告)号:CN103201236A
公开(公告)日:2013-07-10
申请号:CN201180051354.3
申请日:2011-10-11
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/581 , C04B35/04 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC classification number: H01L21/67 , B32B18/00 , C04B35/58 , C04B35/581 , C04B35/6261 , C04B35/62655 , C04B35/645 , C04B37/001 , C04B37/003 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3225 , C04B2235/3865 , C04B2235/5445 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C04B2237/08 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/36 , C04B2237/366 , C04B2237/58 , C04B2237/704 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , C23C14/3414 , H01L21/6831 , H05B1/00 , H05B3/283 , Y10T428/24942
Abstract: 加热装置(1A)包括具有加热半导体W的加热面(9a)的基座部(9A)、设在加热面(9a)的外侧的环状部(6A)。环状部(6A)由以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料构成,该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相,且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47~50°。
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公开(公告)号:CN103180267A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201180051175.X
申请日:2011-10-11
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/581 , C04B35/04 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC classification number: H01L21/67 , B32B18/00 , C04B35/58 , C04B35/581 , C04B35/6261 , C04B35/62655 , C04B35/645 , C04B37/001 , C04B37/003 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3225 , C04B2235/3865 , C04B2235/5445 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C04B2237/08 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/36 , C04B2237/366 , C04B2237/58 , C04B2237/704 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , C23C14/3414 , H01L21/6831 , H05B1/00 , H05B3/283 , Y10T428/24942
Abstract: 本发明涉及一种加热装置(11A),其包括具有加热半导体的加热面(12a)的基座(12A)。基座(12A)包括板状主体部(13)和面向加热面的表面耐腐蚀层(14)。表面耐腐蚀层(14)由以镁、铝、氧以及氮为主成分的陶瓷材料构成,该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相,且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47~50°。
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公开(公告)号:CN102639464A
公开(公告)日:2012-08-15
申请号:CN201180004702.1
申请日:2011-10-11
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/581 , C04B35/04 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC classification number: H01L21/67 , B32B18/00 , C04B35/58 , C04B35/581 , C04B35/6261 , C04B35/62655 , C04B35/645 , C04B37/001 , C04B37/003 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3225 , C04B2235/3865 , C04B2235/5445 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C04B2237/08 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/36 , C04B2237/366 , C04B2237/58 , C04B2237/704 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , C23C14/3414 , H01L21/6831 , H05B1/00 , H05B3/283 , Y10T428/24942
Abstract: 本发明的陶瓷材料以镁、铝、氧及氮为主成分,主相为使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47~50°的镁-铝氮氧化物相。
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公开(公告)号:CN102010182A
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN201010277422.5
申请日:2010-09-03
Applicant: 日本碍子株式会社 , 公立大学法人首都大学东京
IPC: C04B35/01 , C04B35/50 , H01M10/0562 , H01M10/0525 , H01M12/06
CPC classification number: C01G25/006 , C01D15/02 , C01P2002/50 , C01P2002/72 , C01P2006/10 , C01P2006/40 , C04B35/486 , C04B2235/3203 , C04B2235/322 , C04B2235/3227 , C04B2235/658 , C04B2235/6583 , C04B2235/764 , C04B2235/77 , H01M6/185 , H01M10/0562 , Y02E60/122
Abstract: 本发明提供可以得到具有更高密度且良好的Li离子电导的颗粒的陶瓷材料。该陶瓷材料含有Li、La、Zr、Al及O,具有石榴石型或类似于石榴石型的结晶结构,Li与La的摩尔数之比为2.0以上、2.5以下。
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公开(公告)号:CN1852874A
公开(公告)日:2006-10-25
申请号:CN200480026617.5
申请日:2004-11-18
IPC: C04B38/00 , C04B35/624
CPC classification number: C04B38/0045 , B01J20/0211 , B01J20/0244 , B01J20/06 , B01J20/08 , B01J20/103 , B01J20/28085 , C04B35/46 , C04B35/624 , C04B35/62655 , C04B35/63 , C04B35/10 , C04B35/14 , C04B35/453 , C04B35/48 , C04B38/0054
Abstract: 本发明通过对含有无机粒子和溶剂的溶胶进行无机粒子的凝集和相分离,来制造含有开孔的多孔成型体。优选无机粒子为从氧化钛、二氧化硅、氧化铝、氧化锌及氧化锆组成的组中选出的一种或一种以上的无机物的粒子。另外,溶胶为强酸性,通过增加该溶胶的pH,进行凝集和相分离。或者溶胶为强碱性,通过降低该溶胶的pH,进行凝集和相分离。本发明提供能够制造出可适用于广泛的无机材料的共连续结构的多孔成型体以及烧结体的新方法。
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