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公开(公告)号：CN103493171A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280019911.8
申请日：2012-04-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/006 , H01J2237/2003 , H01J2237/2065
Abstract: 本发明的电子显微镜用试样保持装置（80），具有：通过对上部隔膜保持部（20）、试样保持板（30）以及下部隔膜保持部（40）的3个部件进行组装而形成的试样保持组件（10）；可更换地保持该试样保持组件的保持部（80A）。试样保持组件具有在上部隔膜保持部的隔膜（25）与下部隔膜保持部的隔膜（45）之间形成的小室（15）和与该小室连接的流路（49a），将在试样保持板的突起部（31）上安装的试样（61）配置于小室内地构成。上部隔膜保持部的隔膜、试样以及下部隔膜保持部的隔膜，沿着电子束的光轴（11）配置。由此，能够提供在气体、液体等特殊环境中的显微镜观察中，易于进行特定部位的观察，且不需要每次观察时都进行隔膜更换等作业的电子束显微镜用试样保持装置。
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公开(公告)号：CN103477415A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201280017689.8
申请日：2012-03-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/16 , H01J2237/164 , H01J2237/1825 , H01J2237/2007 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。
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公开(公告)号：CN107710377A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201580081062.2
申请日：2015-06-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明涉及在具有带电粒子光学镜筒(2)、第一试样设置部(419)和隔膜(10)的带电粒子线装置中调整隔膜和试样的距离的方法，所述隔膜(10)用于将配置试样(6)的空间从所述带电粒子光学镜筒(2)内部隔离。调整中，使用具有第二试样设置部(400)的光学式装置(402)以及是能够在所述第一试样设置部和所述第二试样设置部共通地设置的形状的高度调整构件(403)。在光学式装置(402)内使用高度调整构件(403)来再现试样(6)与隔膜(10)的位置关系。并且，调整带电粒子显微镜装置的带有Z轴驱动机构的试样台(410)的高度以使试样(6)的表面位于光学式装置(402)的焦点位置。然后，将带有Z轴驱动机构的试样台(410)配置于带电粒子显微镜装置，进行观察。由此，能够安全且简便地调整隔膜与试样的距离。
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公开(公告)号：CN105103262B
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201480019441.4
申请日：2014-03-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/026 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。
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公开(公告)号：CN105874558B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201480072130.4
申请日：2014-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/221 , H01J2237/2608 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备：数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103477415B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201280017689.8
申请日：2012-03-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/16 , H01J2237/164 , H01J2237/1825 , H01J2237/2007 , H01J2237/2608
Abstract: 提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。
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公开(公告)号：CN104756223B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201380055784.1
申请日：2013-10-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20235 , H01J2237/28
Abstract: 本发明的试样收纳容器具备：将试样(6)收纳在与外部的环境状态不同的环境状态下的收纳容器(100)；带电粒子线能通过或透过的隔膜(10)；试样载物台(103)，其设于收纳容器(100)的内部，能在将收纳容器(100)的内外环境状态保持为不同的环境状态的状态下，使试样(6)相对于隔膜(10)的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部(104)，其从收纳容器(100)的外部操作试样载物台(103)的移动，以收纳试样(6)的状态设于带电粒子线装置的真空房间内。
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公开(公告)号：CN105940478A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580005384.9
申请日：2015-02-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/164 , H01J2237/182 , H01J2237/2605
Abstract: 在能在大气压下进行观察的带电粒子线装置中，使用使带电粒子线透过的隔膜，对配置试样的大气压空间和带电粒子光学系统侧的真空空间进行隔离。该隔膜非常薄，因此破损的情况多。因此，产生隔膜的更换频率增加，由更换作业带来的便利性下降、运转费用增加之类的问题。为了解决该课题，参照图1，扫描电子显微镜的特征在于，具备：电子光学镜筒(2)，其将一次电子线照射至试样(6)上；箱体(7)，其与电子光学镜筒内部直接连结，至少在一次电子线的照射中，使内部与上述电子光学镜筒内部相比为低真空的状态；以及隔膜(10)，其对载置试样(6)的大气压环境的空间和低真空状态的箱体的内部进行隔离，并且供上述一次电子线透过。
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公开(公告)号：CN104798173A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060092.6
申请日：2013-11-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/224 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
Abstract: 带电粒子线装置具备产生一次带电粒子线的带电粒子光学镜筒(2)、内部通过真空泵(4)真空排气的机箱(7)、构成机箱(7)的一部分并能够维持其内部空间的气密状态的第一隔膜(10)、配置于第一隔膜(10)与试样(6)之间的第二隔膜(50)，使在带电粒子光学镜筒(2)中产生的一次带电粒子线透过或通过第一隔膜(10)以及第二隔膜(50)，并照射到与第二隔膜(50)接触的状态的试样(6)上。
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公开(公告)号：CN104685602A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380051004.6
申请日：2013-09-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/164 , H01J2237/2608
Abstract: 在进行大气压或与大气压大致同等压力的气体环境下的观察的带电粒子束装置中，将载置有试样的大气压空间与电子光学镜筒内部的真空空间隔离的隔膜由于使电子束透射因此非常薄，破损的可能性较高。更换隔膜时需要调整隔膜位置，在现有技术的方法中，无法容易地进行该隔膜位置的调整。在采用将真空环境与大气环境或气体环境分隔的薄膜的结构的带电粒子束装置中，具备：隔膜，其能够拆装，并以将载置有试样的空间的压力保持为比机箱内部的压力大的方式将载置有试样的空间隔离，并能够使一次带电粒子束透射或通过，以及可动部件，能够以保持载置有试样的空间的压力和机箱内部的压力的状态移动上述隔膜。
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