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公开(公告)号：CN102239275B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201080003478.X
申请日：2010-02-23
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/24 , C23C16/448 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC classification number: C23C14/243 , B05D1/60 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/246 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 提供一种在发生槽内产生的有机化合物蒸汽不会倒流到将有机化合物向发生槽供给的内侧连接管中的技术。在具有配置有机材料的储存槽（31）、将有机材料加热而产生有机材料的蒸汽的发生槽（33）、和将储存槽（31）内的有机材料向发生槽（33）供给的输送装置（32）的有机薄膜制造装置（1）中，输送装置（32）设有：外侧连接管（37），将储存槽（31）的内部环境与发生槽（33）的内部环境气密地连接；气体导入口（42），将气体导入到配置在外侧连接管（37）的内部中而使有机材料从储存槽（31）内部移动到发生槽（33）内部的由石英构成的内侧连接管（38）的内部中。
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公开(公告)号：CN101946562B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN200980105786.0
申请日：2009-02-12
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/60 , C23C14/243 , H01L51/001
Abstract: 形成膜质良好的有机薄膜。本发明的蒸气产生装置(20)具有蒸发室(21)、吐出头(35)、箱(31)。蒸镀材料(39)为液状，容纳在箱(31)中，从箱(31)将蒸镀材料(39)向吐出头(35)供给。吐出头(35)将供给至内部的蒸镀材料(39)从吐出口(38)吐出，配置在蒸发室(21)内部的加热部件(25)。吐出头(35)正确地供给必要量的蒸镀材料(39)。由于仅加热必要量的蒸镀材料(39)，因而蒸镀材料(39)不劣化，形成膜质良好的有机薄膜。
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公开(公告)号：CN102639746A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201080055842.7
申请日：2010-12-08
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/564
Abstract: 逐次少量地向蒸发槽（41）内供给的有机材料与加热部（43）接触而被加热，成为蒸气并导入缓冲装置（50）中。在缓冲装置（50）中设有具有流路的缓冲部（52），在流路中流动的蒸气与缓冲部（52）碰撞，成为固体的有机材料而附着在缓冲部（52）上。当缓冲部（52）的表面被固体的有机材料覆盖时，蒸发槽（41）内的蒸气发生量的变动被缓冲部（52）抵消，蒸气从排放装置（12）的排放稳定。若在蒸气从排放装置（12）的排放稳定之前，预先将蒸气导入收集装置（60）中并使其在缓冲部（62）的表面上析出，则能够回收而再利用。
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公开(公告)号：CN101803462B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200880107222.6
申请日：2008-09-04
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0011
Abstract: 提供一种有机材料蒸镀技术，该有机材料蒸镀技术能够提升蒸发材料的使用效率，并且，防止蒸发材料的经时劣化，而且，可靠地防止由蒸镀时的热导致的掩模的变形。本发明的有机材料用蒸发源，具有：喷淋板型的放出部(11)，在面内排列有多个放出口(12)；供给管(14)，设在放出部(11)内，经由喷出口(15)而向着放出部(11)的底部(11a)放出被导入的有机蒸发材料的蒸气并供给至放出部(11)内；以及冷却装置(17)，至少设在放出部(11)的放出口(12)侧的部位。冷却装置(17)，例如以将放出部(11)整体地覆盖的方式形成，在与放出部(11)的放出口(12)相对应的部位，具有使该有机蒸发材料的蒸气通过的蒸气通过孔(17a)。
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公开(公告)号：CN101356296B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200780001375.8
申请日：2007-05-11
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/56 , H01L51/0002 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不会发生有机蒸镀材料的组成变化、分解、变质的蒸镀装置。在输送装置(30a、30b)上载置一张基板量的有机蒸镀材料，将其搬入到预先加热的蒸镀容器(12)内。由于有机蒸镀材料按每个基板而少量地被加热，放出有机材料蒸汽而用尽，所以，缩短了被加热的时间，不会发生基于水分的分解与变质。即使混合有不同的有机化合物，混合组成也不会变化，因此，可以预先将混合有母材和发色剂的有机蒸镀材料贮留在贮留槽(34a、34b)中，然后配置到输送装置(30a、30b)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101960190A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106393.1
申请日：2009-02-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: F16K17/38 , F16K1/42 , F16K13/10 , F16K25/00 , Y10T137/4643 , Y10T137/86879
Abstract: 本发明提供一种寿命长的开闭阀。本发明的开闭阀(70)具有低熔点金属(76)，当在使低熔点金属(76)熔融的状态下使遮蔽部件(72)与该低熔点金属(76)的表面相接触时，则成为开闭阀(70)的内部空间分离成遮蔽部件(72)的内部空间与外部空间的关闭状态。如果分别预先连接开闭阀(70)的内部空间中的遮蔽部件(72)的内部空间与外部空间，则在关闭状态时外部装置彼此被隔断。在使遮蔽部件(72)的下端从低熔点金属(76)的表面离开的打开状态下，外部装置彼此连接在一起。
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公开(公告)号：CN101960041A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106406.5
申请日：2009-02-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/564 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供一种能够成膜膜质良好的薄膜的成膜源。各开闭阀(70)通过使遮蔽部件(72)与熔融的金属紧贴来成为关闭状态，因此关闭状态的气体遮蔽性高，而且不会起尘。当在多个蒸气产生装置(20)中产生各自的蒸镀材料(39)的蒸气的情况下，选定的蒸气产生装置(20)中产生的蒸气不会与来自其他蒸气产生装置的蒸气混合，因此不会混入成膜目的以外的蒸镀材料(39)，也不会由于起尘导致污染。因此能够获得膜质良好的薄膜。
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公开(公告)号：CN1834285B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200610059671.0
申请日：2006-03-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明的目的在于不破坏有机薄膜表面地在其上形成溅射膜。在配置了靶(113a)的筒状侧壁(103)的开口中配置有粒子通路(130a)，在其两侧配置有第1、第2捕集磁铁(121a、122a)，在粒子通路(130a)中形成磁力线。在欲通过粒子通路(130a)的喷溅粒子中，只有中性粒子直行，因此，在成膜对象物的有机薄膜表面上形成溅射膜。由于带电粒子、电子因磁力线的作用而其飞行方向弯曲，不会到达有机薄膜表面上，所以对有机薄膜的破坏较小。
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公开(公告)号：CN101641457A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200880009698.6
申请日：2008-03-17
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246
Abstract: 本发明提供一种能够成膜膜质良好的有机薄膜的蒸镀装置。本发明的蒸镀装置(1)在蒸发室(15)内配置有承接皿(41)，供给装置(30)将蒸镀材料(16)供给至该承接皿(41)上。承接皿(41)搭载在质量计(49)上，并对配置在承接皿(41)上的蒸镀材料(16)的质量进行测量，控制装置(45)比较该测量值和基准值，使供给装置(30)供给必要的量的蒸镀材料(16)。由于在必要时补充蒸镀材料(16)，因而，在成膜的途中蒸镀材料(16)不会耗尽，另外，由于大量的蒸镀材料(16)不会被长时间加热，因而，蒸镀材料(16)不变质。
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公开(公告)号：CN101622372A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200880006232.0
申请日：2008-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , H01L51/001
Abstract: 本发明提供一种能够成膜膜质佳的有机薄膜的蒸镀装置。本发明的蒸镀装置(1)具有蒸发室(15)和蒸镀容器(21)，蒸镀容器(21)和蒸发室(15)由小孔(38)连接。由于每次向蒸发室(15)供给必需的量的蒸镀材料(16)，因而大量的蒸镀材料(16)不会被长时间加热。蒸镀材料(16)在蒸发室(15)蒸发，因而即使发生突沸，液滴也不会到达基板(6)。如果在激光的照射下使蒸镀材料(16)蒸发，那么，蒸镀材料(16)的化学变性少。
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