公开(公告)号：CN110268093A

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201880010245.9

申请日：2018-01-30

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 藤井博文

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  F16J9/26

Abstract: 本发明提供能够控制工件的周向的膜厚分布的成膜装置。成膜装置包括：工件旋转装置(5)，保持多个工件(100)并使其自转公转；具有出射面(3a)的靶材(3)，从出射面(3a)飞出用于对工件(100)的外周面进行成膜的材料的粒子；电源(4)，将用于粒子从靶材(3)飞出的电弧电流供应给靶材(3)；以及控制部(23)，以在自转的工件(100)的特定部分(102)朝向出射面(3a)的期间的至少一部分即特定期间，使电弧电流成为比基准输出高的输出的方式控制电源(4)。

公开(公告)号：CN108495948A

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201780007847.4

申请日：2017-01-06

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 藤井博文 ,  龟泽英明 ,  谷藤信一 ,  白根英树

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供一种能够长期准确地进行靶材是否存在于规定的位置的检测的电弧蒸发装置。电弧蒸发装置(1)包括：具有远端面(3a)和与其连续地沿轴向延伸的侧面(3b)，通过电弧放电从远端面(3a)起熔解并蒸发的棒状的靶材(3)；电弧电源(8)；让靶材(3)在远端面(3a)前进的输送方向上沿轴向移动的靶材输送部(4)；在靶材(3)的输送方向上的规定的位置，呈可从与输送方向交叉的交叉方向接触于靶材(3)的侧面(3b)的形状的点火杆(6)；让点火杆(6)以从退避位置沿交叉方向进入到靶材(3)被送入的搬送区域的方式移动的旋转致动器(7)，其中，该退避位置是从侧面(3b)向交叉方向离开的位置；以及在点火杆(6)的移动过程中，检测点火杆(6)是否接触于靶材(3)的侧面(3b)的检测部(9)。

公开(公告)号：CN105102672B

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201480019564.8

申请日：2014-03-11

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 藤井博文

IPC: C23C14/52 ,  C23C16/44 ,  G01K5/50

CPC classification number: G01K5/50 ,  C23C14/52 ,  C23C14/541 ,  C23C16/52 ,  G01N25/00

Abstract: 本发明提供一种能够准确地计测被收容在腔室的内部并被加热的工件的实际温度的处理装置(1)以及方法。处理装置(1)具备收容工件(W)的腔室(2)、被设置在腔室(2)的内部的测量件(6)以及计测部(8)。测量件(6)在腔室(2)的内部的温度的影响下热伸缩。计测部(8)通过计测测量件(6)的热伸缩量来计测工件(W)的实际温度。

公开(公告)号：CN104651794B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201410656005.X

申请日：2014-11-18

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 藤井博文

IPC: C23C14/50

CPC classification number: C23C14/505

Abstract: 本发明的成膜装置的旋转工作台单元具备旋转工作台和拆装自如地安装在旋转工作台上的第1更换单元及第2更换单元。载置在第2更换单元上的工件的直径与载置在第1更换单元上的工件的直径不同。为了将不同大小的工件与靶的距离维持为一定，将载置在第1更换单元上的工件的对置于靶射出面的位置与旋转工作台的旋转中心的距离设定为，与载置在第2更换单元上的工件的对置于靶射出面的位置与上述旋转中心的距离相同。

公开(公告)号：CN105102672A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480019564.8

申请日：2014-03-11

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 藤井博文

IPC: C23C14/52 ,  C23C16/44 ,  G01K5/50

CPC classification number: G01K5/50 ,  C23C14/52 ,  C23C14/541 ,  C23C16/52 ,  G01N25/00

Abstract: 本发明提供一种能够准确地计测被收容在腔室的内部并被加热的工件的实际温度的处理装置(1)以及方法。处理装置(1)具备收容工件(W)的腔室(2)、被设置在腔室(2)的内部的测量件(6)以及计测部(8)。测量件(6)在腔室(2)的内部的温度的影响下热伸缩。计测部(8)通过计测测量件(6)的热伸缩量来计测工件(W)的实际温度。

公开(公告)号：CN100419117C

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200510005755.1

申请日：2005-01-25

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 山本兼司 ,  久次米进 ,  高原一树 ,  藤井博文

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/22 ,  C23C14/54 ,  C23C14/56 ,  C23C14/35 ,  C23C14/34

CPC classification number: C23C14/0063 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/06 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/0647 ,  C23C14/0652 ,  C23C14/0664 ,  C23C14/0676 ,  C23C14/16 ,  C23C14/22 ,  C23C14/325 ,  C23C14/35 ,  C23C14/568 ,  C23C28/044 ,  C23C28/322 ,  C23C28/34 ,  C23C28/341 ,  C23C28/347 ,  C23C28/42 ,  C23C28/44 ,  C23C30/00 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/26

Abstract: 一种硬质叠层被膜，以层A和层B的组成不相同的方式，交替叠层由特定组成构成的层A和层B。每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，而且，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下。由此，本发明提供一种能够用于以超硬合金、金属陶瓷或高速工具钢等为基材的切削工具，或者汽车用滑动部件等的耐磨损性被膜。

公开(公告)号：CN101254674A

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200810081819.X

申请日：2005-01-25

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 山本兼司 ,  久次米进 ,  高原一树 ,  藤井博文

IPC: B32B33/00 ,  B32B9/00 ,  C23C30/00 ,  C23C14/06

CPC classification number: C23C14/025

Abstract: 一种硬质叠层被膜，以层A和层B的组成不相同的方式，交替叠层由特定组成构成的层A和层B。每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，而且，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下。由此，本发明提供一种能够用于以超硬合金、金属陶瓷或高速工具钢等为基材的切削工具，或者汽车用滑动部件等的耐磨损性被膜。