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公开(公告)号：CN108374148A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201710003710.3
申请日：2017-01-04
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/0021 , C23C14/0605 , C23C14/0641 , C23C14/0664 , C23C14/14
摘要： 本发明公开了一种基于弧靶中毒效应的类金刚石薄膜（简称DLC薄膜）制备方法，利用弧靶中毒效应，采用阴极弧沉积设备，连续进行DLC薄膜多层结构的制备，调控润滑层与基体材料的结合状态，提高结合强度，降低DLC薄膜的脆性、增加其承载能力；同时在DLC薄膜中均匀掺杂金属相，进一步提高DLC薄膜的韧性达到提高薄膜耐磨、润滑性、承载能力及结合强度的目的。所述DLC薄膜多层结构，包括金属结合层（a）、承载层及过度层（b）、金属掺杂DLC润滑层（c）。本发明制备过程连续性好，设备简单、工艺实施方便，不需要多个弧靶及气体离子源系统，填补了国内外进行相关模具防护涂层的市场空白，具有巨大的潜在应用及推广价值。
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公开(公告)号：CN108330460A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810225652.3
申请日：2018-03-19
申请人： 西北大学
CPC分类号： C23C14/352 , C23C14/0664 , C23C14/5806
摘要： 本发明提供一种SiCN薄膜热处理方法，包括以下步骤，在磁控溅射沉积时，Si3N4和C作为靶材，同时Si3N4靶材为Si源和N源，C靶材为C源，氩气为溅射气体，在硅片和石英片衬底上溅射SiCN薄膜；对硅片和石英片衬底进行磁控溅射沉积SiCN薄膜；对SiCN薄膜放入管式气氛炉内进行热退火处理；将管式气氛炉抽真空至低于-0.1MPa，调节控制面板参数，设置升温速率为1～30℃/min，退火温度为500～1200℃，保温时间5～60min；待退火结束自然冷却至室温，取出样品即可。本发明所述制备SiCN薄膜的热处理方法，在现有制备SiCN薄膜的基础上，增加热处理这一步骤。
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公开(公告)号：CN105980092B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201580008117.7
申请日：2015-04-17
申请人： 韩国冶金株式会社
CPC分类号： B23C5/1009 , B23B51/048 , B23B2224/04 , B23B2224/32 , B23B2228/10 , B23B2228/36 , B23C5/16 , B23C2224/04 , B23C2224/32 , B23C2228/10 , C23C14/0664 , C23C14/081 , C23C14/325 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C30/005
摘要： 本发明涉及一种切割工具，其类似于钻头或者球头铣刀在末端的中心接触作业材料的状态下进行旋转的同时执行切割，并且包括形成在切割工具的末端处的耐磨层，其中，通过从钻头或者球头铣刀的末端的中心到预定区域进行末端抛光，耐磨层的一部分被选择性地去除，以便约束在超低速区域产生的微脆性磨损，因而显著提高切割工具(钻头或者球头铣刀)的切割使用寿命。
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公开(公告)号：CN106163708B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201580017416.7
申请日：2015-04-10
申请人： 株式会社泰珂洛
CPC分类号： C23C14/0664 , B23B27/14 , B23B27/148 , B23B51/00 , B23B2228/105 , B23C5/16 , C23C14/06 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/32 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/42 , C23C28/44 , C23C30/005
摘要： 本发明提供能够长期供于切削加工的包覆工具。包覆工具包含基材和形成在所述基材表面上的包覆层，包覆层包含第1层叠结构和第2层叠结构。第1层叠结构和第2层叠结构连续交替地层叠2次以上。第1层叠结构包含组成不同的至少2种层，所述2种层交替地层叠2次以上。第1层叠结构中所含的层的平均厚度为60nm以上且500nm以下。第2层叠结构包含组成不同的至少2种层，所述2种层交替地层叠2次以上。第2层叠结构中所含的层的平均厚度为2nm以上且小于60nm。第1层叠结构及第2层叠结构中所含的层包含含有选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Sr、Y、Sn及Bi中的至少1种金属元素和选自碳、氮、氧及硼中的至少1种非金属元素的化合物。第1层叠结构和/或第2层叠结构的平均厚度从基材侧向着包覆层的表面侧连续地或阶段地增加。
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公开(公告)号：CN107675129A
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201710886635.X
申请日：2017-09-27
申请人： 常州弗列德立鼎自动化技术有限公司
发明人： 周小玉
CPC分类号： C23C14/0635 , C23C14/0036 , C23C14/0057 , C23C14/0641 , C23C14/0664 , C23C14/165 , C23C14/35
摘要： 本发明公开了一种用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层及制备方法，其复合涂层包括过渡层和功能层，过渡层由铬、钛或镍纯金属制备且位于功能层和工件表面之间。复合涂层的制备方法，包括以下工艺步骤：①工件经清洗并烘干后，置于非平衡磁控溅射镀膜设备的真空室中；②真空压力设为3×10-3Pa；温度设为200℃~500℃并保温30分钟；保温同时对工件进行等离子体清洗；③通入氩气利用非平衡磁控溅射方法制备过渡层；④使用氩气作为工作气体，通入氮气反应气体制备功能层；⑤工件随炉冷却到100℃以内，取出即可。本发明采用复合材料表面设计方法，采用两层结构(过渡层、功能层)来用于提高机械零部件表面性能。
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公开(公告)号：CN107419229A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710533154.0
申请日：2017-07-03
申请人： 济宁学院
CPC分类号： C23C14/352 , C23C14/0036 , C23C14/022 , C23C14/025 , C23C14/0635 , C23C14/0664 , C23C28/347 , C23C28/40
摘要： 本发明涉及一种CrMoC/CrMoCN叠层涂层刀具及其制备工艺。采用非平衡磁控溅射+中频磁控溅射镀膜方法，用非平衡磁控溅射CrMoC复合靶作碳源，沉积温度300℃以下，可在更广泛的刀具基体制备。所制备刀具，刀具基体最外层为CrMoCN涂层，刀具基体与CrMoCN涂层间有Cr过渡层，CrMoCN涂层与Cr过渡层之间是CrMoC涂层与CrMoCN涂层交替的复合叠层结构，综合了碳氮化合物涂层、碳化物涂层及叠层结构的优点，可提高涂层的硬度，改善涂层的抗氧化性能，降低涂层的摩擦系数，并能阻止涂层裂纹的扩展，提高涂层刀具的切削性能及使用寿命，可广泛应用于各种难加工材料的干切削和高速加工。
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公开(公告)号：CN107419223A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710586485.0
申请日：2017-07-18
申请人： 西安热工研究院有限公司
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/0021 , C23C14/0641 , C23C14/0664 , C23C14/16 , C23C28/347
摘要： 本发明一种滚刀刀圈的TiSi基纳米复合结构硬质薄膜及其制备方法，所述薄膜包括依次沉积于滚刀刀圈表面的Cr底层、TiSi过渡层、TiSiN耐氧化过渡层及TiSiCrCN耐磨薄膜层；所述的TiSiCrCN耐磨薄膜层为(TiCr)(CN)和CrN纳米晶与非晶相(Si3N4和C)的纳米复合结构。所述制备方法包括以下步骤：清洗滚刀刀圈的表面，再将滚刀刀圈放置到真空腔室内的旋转装置上进行旋转，并进行等离子体清洗，然后再在滚刀刀圈表面采用多弧离子镀物理气相沉积法，依次沉积Cr底层、TiSi过渡层、TiSiN耐氧化过渡层及TiSiCrCN耐磨薄膜层，完成滚刀刀圈的TiSi基纳米复合结构硬质薄膜制备。
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公开(公告)号：CN107400865A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710532651.9
申请日：2017-07-03
申请人： 济宁学院
CPC分类号： C23C14/352 , C23C14/0084 , C23C14/022 , C23C14/025 , C23C14/0635 , C23C14/0664 , C23C14/325 , C23C28/347 , C23C28/36
摘要： 本发明属于机械制造切削刀具领域，涉及一种ZrAlCN梯度复合涂层刀具及其制备方法，涂层刀具由内至外依次为刀具基体、Ti过渡层、ZrAlC过渡层和氮含量梯度渐变的ZrAlCN梯度复合涂层，首先采用非平衡磁控溅射沉积Ti过渡层，然后采用中频磁控溅射方法依次沉积ZrAlC过渡层和氮含量梯度渐变的ZrAlCN梯度复合涂层。该ZrAlCN超硬碳氮化合物涂层由于在涂层中同时增加了Zr、Al等两种金属，且涂层结构成分氮含量梯度渐变，可改善涂层刀具的物理机械性能。该涂层具有极高的强度和硬度，较低的摩擦系数，良好的抗磨损及热冲击性。切削过程中该刀具可有效防止切削刃崩刃及热裂纹的产生，减小刀具表面的摩擦和粘结，降低刀具磨损30-40％，提高涂层刀具使用寿命50％以上。
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公开(公告)号：CN107400864A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710532631.1
申请日：2017-07-03
申请人： 济宁学院
CPC分类号： C23C14/352 , C23C14/0036 , C23C14/022 , C23C14/025 , C23C14/0635 , C23C14/0664 , C23C14/325 , C23C28/347 , C23C28/40
摘要： 本发明属于机械制造切削刀具领域，特别是涉及一种AlMoC/AlMoCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺。本发明采用非平衡磁控溅射与电弧镀复合沉积的方法制备，且沉积温度控制在300℃以下，可在更为广泛的刀具或工具基体上制备。所制备的AlMoC/AlMoCN叠层复合涂层刀具，刀具基体最外层为AlMoCN涂层，AlMoCN涂层与刀具基体之间有Ti过渡层，AlMoCN涂层与Ti过渡层之间是AlMoC涂层与AlMoCN涂层交替的复合叠层结构。所制备AlMoC/AlMoCN叠层复合涂层刀具综合了AlMoCN碳氮化合物涂层、AlMoC碳化物涂层及叠层结构的优点，可明显改善传统碳氮化合物涂层刀具的物理机械性能；同时，AlMoC/AlMoCN叠层复合结构通过叠层之间的界面可减缓涂层裂纹扩展。所述AlMoC/AlMoCN叠层复合涂层刀具可广泛应用于各种淬硬材料的切削加工。
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公开(公告)号：CN107338416A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710532625.6
申请日：2017-07-03
申请人： 济宁学院
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/0084 , C23C14/0635 , C23C14/0664 , C23C14/16 , C23C14/18 , C23C14/352
摘要： 本发明属于机械加工切削刀具领域，特别是涉及一种ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法，该涂层采用非平衡磁控溅射和电弧镀的复合镀膜方法制备的ZrMoCN梯度涂层刀具，涂层刀具由内至外依次为刀具基体、Ti过渡层、ZrMoC过渡层以及氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层。该ZrMoCN超硬碳氮化合物涂层由于在涂层中同时增加了Zr、Mo等两种元素，且涂层结构成分氮含量梯度渐变，可提高刀具的综合使用性能。该涂层刀具具有很高的硬度和韧性，良好的抗氧化性能和摩擦磨损特性，并能阻止涂层裂纹的扩展。切削过程中该刀具可减小干切削过程中刀具与工件之间的摩擦和粘结，降低切削力和切削温度30％以上，提高涂层刀具抗氧化性能45％以上，延长刀具使用寿命和耐用度40％以上。
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